JPS58140446U - 静電容量型圧力検出器 - Google Patents

静電容量型圧力検出器

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JPS58140446U
JPS58140446U JP3714182U JP3714182U JPS58140446U JP S58140446 U JPS58140446 U JP S58140446U JP 3714182 U JP3714182 U JP 3714182U JP 3714182 U JP3714182 U JP 3714182U JP S58140446 U JPS58140446 U JP S58140446U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
diaphragm
plate
opposite
capacitor
Prior art date
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Pending
Application number
JP3714182U
Other languages
English (en)
Inventor
徳岡　洋祐
Original Assignee
株式会社コスモ計器
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Filing date
Publication date
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Priority to JP3714182U priority Critical patent/JPS58140446U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の検出器の断面図、第２図は同上のブリッ
ジ回路の回路図、−第３図は従来の他の検出器の断面図
、第４図は同上のブリッジ回路の回路図、第５図は本考
案の検出器の断面図、第６図は同上のブリッジ回路の回
路図、第７図は本考案の他の実施例の断面図である。 ２０・・・・・・検出器、２１・・・・・・枠体、２２
・・・・・・圧力導入室、２３・・・・・・ダイヤフラ
ム、２４・・・・・・電極板、２５・・・・・・スペー
サー、２６・・・・・・固定板、２９・・・・・・ブリ
ッジ回路、Ｃ８・・・・・・可変コンデンサー、Ｃｆ・
・・・・・固定コンデンサー、Ｃｖ・・・・・・零点調
整角コンデンサー、Ｃ，Ｃ・・・・・・標準コンデンサ
ー、Ｅ・・・・・・電源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 測定しようとする流体圧が導入される圧力導入室の一面
    をダイヤフラムをもって構成し、該ダイヤプラムに対向
    させて電極板を備え、該電極板と、ダイヤフラムとの対
    向面にそれぞれブリッジ回路の被測定辺に接続する可変
    コンデンサーの電極を備えてなる静電容量型圧力検出器
    において、前記電極板のダイヤフラム側とは反対側の面
    に対し一定間隔を隔てて固定板を備え、該固定板と電極
    板との対向面にブリッジ回路の標準辺に接続する固定コ
    ン、デンサーの電極を備えたことを特徴としてなる静電
    容量型圧力検出器。
JP3714182U 1982-03-18 1982-03-18 静電容量型圧力検出器 Pending JPS58140446U (ja)

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Family

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113227741A (zh) * 2018-12-21 2021-08-06 罗伯特·博世有限公司 微机械传感器装置和用于制造微机械传感器装置的方法

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