JPS5915942U - 半導体圧力変換器 - Google Patents
半導体圧力変換器Info
- Publication number
- JPS5915942U JPS5915942U JP10942082U JP10942082U JPS5915942U JP S5915942 U JPS5915942 U JP S5915942U JP 10942082 U JP10942082 U JP 10942082U JP 10942082 U JP10942082 U JP 10942082U JP S5915942 U JPS5915942 U JP S5915942U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- pressure transducer
- mounting base
- sensitive element
- semiconductor pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例を示す半導体圧力変換器の断面図、第２
図は本考案の一実施例の半導体圧力変換器のセンサチッ
プ部を示す断面図である。 １・・・感圧素子、１５・・・取付台、１６・・・ガラ
ス膜。
図は本考案の一実施例の半導体圧力変換器のセンサチッ
プ部を示す断面図である。 １・・・感圧素子、１５・・・取付台、１６・・・ガラ
ス膜。
Claims (1)
- シリコン単結晶よりなるグイアワラム形感圧素子を取付
台に接着した圧力変換器において、前記取付台はシリコ
ン基板を基材とし、前記シリコン取付台の少なくとも前
記シリコンダイアフラム形感圧素子との接着面と端面の
一部がガラス膜でおおわれており、かつ前記シリコンダ
イアフラム形感圧素子とシリコン取付台とを陽極接合し
てなることを特徴とする半導体圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10942082U JPS5915942U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 半導体圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10942082U JPS5915942U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 半導体圧力変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915942U true JPS5915942U (ja) | 1984-01-31 |
Family
ID=30254896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10942082U Pending JPS5915942U (ja) | 1982-07-21 | 1982-07-21 | 半導体圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915942U (ja) |
-
1982
- 1982-07-21 JP JP10942082U patent/JPS5915942U/ja active Pending
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