JPS6074029U - 半導体圧力変換器 - Google Patents

半導体圧力変換器

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Publication number
JPS6074029U
JPS6074029U JP16594283U JP16594283U JPS6074029U JP S6074029 U JPS6074029 U JP S6074029U JP 16594283 U JP16594283 U JP 16594283U JP 16594283 U JP16594283 U JP 16594283U JP S6074029 U JPS6074029 U JP S6074029U
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JP
Japan
Prior art keywords
strain gauge
chip
pressure transducer
hybrid
conductor
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Pending
Application number
JP16594283U
Other languages
English (en)
Inventor
実 高橋
照美 仲沢
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本案の一実施例を示す圧力変換器の断面構造図
、第２図はその下面図、第３図は電子制御ユニットの断
面図である。 １・・・歪ゲージ、之・・・グイ、３・・・チップブク
ミ、４・・・リードフレーム、５・・・圧力導入用ポー
ト、６・・・ケーシング、１０・・・ケーシング、１１
・・・増巾用オペアンプ、１２・・・ハイブリッドＩＣ
，１３・・・セラミック基板、１６・・・導体、１７・
・・クリップ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 片面に不純物拡散により形成した歪ゲージを有するシリ
    コンチップの前記歪ゲージの反対面を、エツチングによ
    り薄肉の感圧ダイヤフラムを形成し、さらにグイへ接合
    したチップブクミと、該チップブクミを固定し、かつ前
    記歪ゲージの入出力取出し用のリードフレームと圧力導
    入用ポートを有するプラスチックのケーシングより成る
    ケーシングと、増巾用オペアンプを有するハイブリッド
    ’ＩＣの基板、および入出力取出し用のクリップより構
    成されるプリント基板搭載形の半導体圧力変換器におい
    て、前記ハイブリッドＩＣの基板の片面全面を導体によ
    り被覆し、かつその導体を回路上のアースに短絡したこ
    とを特徴とする半導体圧力変換器。
JP16594283U 1983-10-28 1983-10-28 半導体圧力変換器 Pending JPS6074029U (ja)

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JP16594283U JPS6074029U (ja) 1983-10-28 1983-10-28 半導体圧力変換器

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JPS6074029U true JPS6074029U (ja) 1985-05-24

Family

ID=30363416

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JP16594283U Pending JPS6074029U (ja) 1983-10-28 1983-10-28 半導体圧力変換器

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