JPS5810041U - 半導体圧力変換器 - Google Patents

半導体圧力変換器

Info

Publication number
JPS5810041U
JPS5810041U JP10394181U JP10394181U JPS5810041U JP S5810041 U JPS5810041 U JP S5810041U JP 10394181 U JP10394181 U JP 10394181U JP 10394181 U JP10394181 U JP 10394181U JP S5810041 U JPS5810041 U JP S5810041U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure transducer
semiconductor pressure
strain gauge
circuit board
electrically connected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10394181U
Other languages
English (en)
Inventor
良一 小林
実 高橋
御法川　斉
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP10394181U priority Critical patent/JPS5810041U/ja
Publication of JPS5810041U publication Critical patent/JPS5810041U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の半導体圧力変換器の実施例の断面図、
第２図ないし第４図はそれぞれ本考案の半導体圧力変換
器の異なる他の実施例の断面図である。 １・・・・・・ダイヤフラム、２・・・・・・ピエゾ抵
抗式歪ゲージ、３・・・・・・電極、４・・・・・・グ
イ、５・・・・・・半田ボール、６・・・・・・厚膜回
路基板、１５・・・・・・圧力導入ポート。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 片面にピエゾ抵抗式歪ゲージを形成し、その反対側に薄
    肉のダイヤフラムを形成したシリコンチップ、さらに該
    シリコンチップにダイを接合したチップクミ、一方前記
    歪ゲージと電気的に接続された回路基板よりなる半導体
    圧力変換器で歪ゲージの入出力電極上に形成された半田
    ボールで回路基板に直接フェイスダウンボンディングさ
    れ電気的に接続されることを特徴とした半導体圧力変換
    器。
JP10394181U 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器 Pending JPS5810041U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10394181U JPS5810041U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10394181U JPS5810041U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5810041U true JPS5810041U (ja) 1983-01-22

Family

ID=29898546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10394181U Pending JPS5810041U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5810041U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005345305A (ja) * 2004-06-03 2005-12-15 Denso Corp 圧力センサ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005345305A (ja) * 2004-06-03 2005-12-15 Denso Corp 圧力センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5827935U (ja) 混成集積回路装置
JPS5810041U (ja) 半導体圧力変換器
JPS6133258B2 (ja)
JPS6015643U (ja) Ｐｃｂオンボ−ド形圧力変換器
JPS619840U (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPS61259533A (ja) 半導体装置
JPS62180738U (ja)
JPS58150852U (ja) 半導体圧力変換器
JPS58159764U (ja) 磁電変換素子
JPS602849U (ja) 集積回路装置
JPS60167349U (ja) 半導体素子
JPS6018546U (ja) 半導体装置
JPS6068446U (ja) 真空基準形圧力変換器
JPS59107155U (ja) 半導体回路装置
JPS6048136U (ja) 完全差圧形圧力変換器
JPS5881940U (ja) 半導体素子の取付構造
JPS6074029U (ja) 半導体圧力変換器
JPS60191950U (ja) 半導体圧力センサ
JPS6029254U (ja) 圧力計
JPS585347U (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPS56148837A (en) Electron device
JPS5895045U (ja) 集積回路
JPS60190062U (ja) 混成集積回路装置
JPS5814136U (ja) シリコン感圧ダイヤフラム形圧力センサ
JPS60174399U (ja) 圧電発音装置