JPS5810041U - 半導体圧力変換器 - Google Patents

半導体圧力変換器

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Publication number
JPS5810041U
JPS5810041U JP10394181U JP10394181U JPS5810041U JP S5810041 U JPS5810041 U JP S5810041U JP 10394181 U JP10394181 U JP 10394181U JP 10394181 U JP10394181 U JP 10394181U JP S5810041 U JPS5810041 U JP S5810041U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure transducer
semiconductor pressure
strain gauge
circuit board
electrically connected
Prior art date
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Pending
Application number
JP10394181U
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English (en)
Inventor
良一 小林
実 高橋
御法川　斉
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP10394181U priority Critical patent/JPS5810041U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の半導体圧力変換器の実施例の断面図、
第２図ないし第４図はそれぞれ本考案の半導体圧力変換
器の異なる他の実施例の断面図である。 １・・・・・・ダイヤフラム、２・・・・・・ピエゾ抵
抗式歪ゲージ、３・・・・・・電極、４・・・・・・グ
イ、５・・・・・・半田ボール、６・・・・・・厚膜回
路基板、１５・・・・・・圧力導入ポート。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 片面にピエゾ抵抗式歪ゲージを形成し、その反対側に薄
    肉のダイヤフラムを形成したシリコンチップ、さらに該
    シリコンチップにダイを接合したチップクミ、一方前記
    歪ゲージと電気的に接続された回路基板よりなる半導体
    圧力変換器で歪ゲージの入出力電極上に形成された半田
    ボールで回路基板に直接フェイスダウンボンディングさ
    れ電気的に接続されることを特徴とした半導体圧力変換
    器。
JP10394181U 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器 Pending JPS5810041U (ja)

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JP10394181U JPS5810041U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器

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JP10394181U JPS5810041U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器

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Publication Number Publication Date
JPS5810041U true JPS5810041U (ja) 1983-01-22

Family

ID=29898546

Family Applications (1)

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JP10394181U Pending JPS5810041U (ja) 1981-07-15 1981-07-15 半導体圧力変換器

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JP (1) JPS5810041U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005345305A (ja) * 2004-06-03 2005-12-15 Denso Corp 圧力センサ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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