JPS6048136U - 完全差圧形圧力変換器 - Google Patents
完全差圧形圧力変換器Info
- Publication number
- JPS6048136U JPS6048136U JP14027483U JP14027483U JPS6048136U JP S6048136 U JPS6048136 U JP S6048136U JP 14027483 U JP14027483 U JP 14027483U JP 14027483 U JP14027483 U JP 14027483U JP S6048136 U JPS6048136 U JP S6048136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- silicon
- gauge
- pressure transducer
- gauge chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は本考案実施例の説明図、第３区はＡ−
Ａ部を示す図である。 １・・・シリコンゲージチップ、２・・・ガラスダイ、
３・・・ゲージクミウケ、５・・・リードフレーム、６
・・・ケーシングクミ、７・・・金細線、１０・・・補
助ダイヤフラム、１３・・・補助ダイヤフラム、１４・
・・圧力導入パイプ、１５・・・圧力導入パイプ、１８
・・・厚膜回路基板。
Ａ部を示す図である。 １・・・シリコンゲージチップ、２・・・ガラスダイ、
３・・・ゲージクミウケ、５・・・リードフレーム、６
・・・ケーシングクミ、７・・・金細線、１０・・・補
助ダイヤフラム、１３・・・補助ダイヤフラム、１４・
・・圧力導入パイプ、１５・・・圧力導入パイプ、１８
・・・厚膜回路基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 表面には、拡散により形成したピエゾ抵抗素子、他
面には、エツチング等により薄肉化した凹部を有するシ
リコンゲージチップを貫通穴のあいたシリコンと熱膨張
係数の類似した台座に接合し、該台座は同様に圧力導入
穴のあいたゲージクミウケに固着され、該ゲージクミウ
ケには、ゲージチップの入出力取出し用のリードフレー
ムが設けられ、シリコンゲージチップ上のピエゾ抵抗素
子の入出力端子と前記リードフレームは、細線により電
気的に接続されており、ゲージクミウケには、シリコン
ゲージチップの−表面と裏面の両側に圧力印加可能な圧
力導入パイプがそれぞれに接続されており、さらに前記
リードフレームと電気的に接続されたシリコンゲージチ
ップ駆動向路、増巾回路からなる厚膜回路基板からなる
完全差圧膨圧力変換器におい−でそれぞれの圧力導入パ
イプとシリコンゲージチップの間に補助ダイヤフラムを
有することを特徴とする完全差圧膨圧力変換器。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、それぞれ
の補助ダイヤフラムとシリコンゲージチップとの間に形
成される空間の体積がほぼ同一であることを特徴とする
完全差圧膨圧力変換器。 ３ 実用新案登録請求の範囲第１項において、それぞれ
の補助ダイヤフラムとシリコンゲージチップとの間に形
成される空間を非導伝性の液体で充てんしであることを
特徴とする完全差圧膨圧力変換器。 ４ 実用新案登録請求の範囲第１項において、補助ダイ
ヤプラムと圧力導入パイプが金属で形成され溶接により
接合されていることを特徴とする完全差圧膨圧力変換器
。 ５ 実用新案登録請求の範囲第１項において、補 −助
ダイヤフラムと圧力導入パイプがプラスチックで形成さ
れ、溶着されていることを特徴とする完全差圧膨圧力変
換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14027483U JPS6048136U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 完全差圧形圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14027483U JPS6048136U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 完全差圧形圧力変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6048136U true JPS6048136U (ja) | 1985-04-04 |
Family
ID=30314126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14027483U Pending JPS6048136U (ja) | 1983-09-12 | 1983-09-12 | 完全差圧形圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6048136U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009186467A (ja) * | 2008-02-11 | 2009-08-20 | Sensata Technologies Inc | 差動流体圧力測定装置 |
-
1983
- 1983-09-12 JP JP14027483U patent/JPS6048136U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009186467A (ja) * | 2008-02-11 | 2009-08-20 | Sensata Technologies Inc | 差動流体圧力測定装置 |
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