JP2009186467A - 差動流体圧力測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】差動流体圧力センサは、コネクタ部分12aを搭載しかつ感知素子モジュール14を窪み内に受容する上部ハウジング12を有する。感知素子モジュールは、ほぼU字形状のオイルが充填された通路が形成されたボディであり、通路には、対向端に開口が形成され、対向端は、第1および第2のダイヤフラム搭載面を提供する。流体圧力感知素子、例えばピエゾ抵抗感知素子15は、通路の開口の1つに配置され、フレキシブルな金属ダイヤフラムは、共通の方向に面するモジュールの各ダイヤフラム搭載面上に搭載される。各ダイヤフラムのための第1および第2のポート接続を有する下部ハウジング18は、モジュールの下側の面に配置される。
【選択図】図2
Description
。さらなる本発明の目的は、その表面が時間節約の組立動作の使用を可能にする差動流体圧力センサを提供することである。
Claims (13)
- 差動流体圧力センサ装置であって、
共通の方向に面する第1および第2のダイヤフラム搭載面を有する感知素子モジュールを搭載するハウジングと、
前記感知素子モジュール内に形成され、かつ第1および第2のダイヤフラム搭載面間を延在しかつ搭載面の内側に開口を形成する通路と、
第1および第2のダイヤフラム搭載面上であって各々の開口上に搭載されるフレキシブルな金属ダイヤフラムと、
前記通路の開口の1つに配置された圧力応答感知素子と、
通路を充填しかつ前記金属ダイヤフラム係合し通路内に封止される非圧縮性流体と、
前記圧力応答感知素子に動作可能に接続された電気信号条件付け回路と、
監視のために、前記金属ダイヤフラムに高い流体圧力と低い流体圧力をそれぞれ提示する第1および第2の流体圧力接続手段と、
を有する差動流体圧力センサ装置。 - 第1および第2のダイヤフラム搭載面は、共通の面に置かれる、請求項1に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記感知素子モジュールは、主として樹脂製材料から構成される、請求項1に記載の差動流体圧力センサ装置
- 前記感知素子モジュールは、主として金属から構成される、請求項1に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記感知素子モジュールは、主としてセラミックから構成される、請求項1に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記圧力感知素子は、ピエゾ抵抗素子である、請求項1に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 差動流体圧力センサ装置であって、
ハウジングと、
ハウジング内に搭載された感知素子モジュールであって、感知素子は、第1および第2の金属ダイヤフラム搭載ディスクを搭載し、第1および第2のディスクは、それぞれ平坦なダイヤフラム搭載面を有し、第1および第2の搭載面は共通の方向に面しており、窓が各ディスクを介して形成されかつ搭載面に延在し、通路が感知素子モジュール内に形成されかつ各窓の間を延在する、前記感知素子モジュールと、
流体シールされた関係でかつ第1および第2の搭載面上に搭載されかつ各窓上に延在するフレキシブルな金属ダイヤフラムと、
前記通路を充填しかつダイヤフラムと係合しかつ通路内に封止される非圧縮性流体と、
1つのディスクの窓の前記通路内の圧力を受け取る通路内に配置され、各ダイヤフラムによって伝達された流体圧力の差に応答する圧力応答感知素子と、
前記圧力応答感知素子に動作可能に接続された電気信号条件付け回路と、
第1および第2のダイヤフラムとの流体伝達において前記ハウジング上に搭載された第1および第2の流体圧力接続と、
を有する差動流体圧力センサ装置。 - 前記感知素子モジュールは、モールド可能なプラスチックから主に構成され、前記通路は、間に湾部を有する2つの脚部を有するほぼU字形状であり、前記湾部は金属製のチューブを有する、請求項7に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記第1および第2の流体圧力接続は、前記感知素子モジュールに隣接して配置された他のハウジングの一部であり、前記他のハウジングは、流体圧力センサ装置によって監視される流体媒体に対して頑強な材料から形成される、請求項8に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記感知素子モジュールは、主として金属から構成される、請求項7に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記感知素子モジュールは、主としてセラミックから構成される、請求項7に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記圧力感知素子は、ピエゾ抵抗素子である、請求項7に記載の差動流体圧力センサ装置。
- 前記第1および第2のディスクのダイヤフラム搭載面は、共通の面にある、請求項7に記載の差動流体圧力センサ装置。
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