JPS6068446U - 真空基準形圧力変換器 - Google Patents

真空基準形圧力変換器

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Publication number
JPS6068446U
JPS6068446U JP16065383U JP16065383U JPS6068446U JP S6068446 U JPS6068446 U JP S6068446U JP 16065383 U JP16065383 U JP 16065383U JP 16065383 U JP16065383 U JP 16065383U JP S6068446 U JPS6068446 U JP S6068446U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure transducer
vacuum
base
silicon chip
lead pin
Prior art date
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Pending
Application number
JP16065383U
Other languages
English (en)
Inventor
良一 小林
市川　範男
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
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Priority to JP16065383U priority Critical patent/JPS6068446U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は、本考案の一例の断面構造図である。 １・・・・・・シリコンチップ、２・・・・・・ガラス
ダイ、３・・・・・・ベース、４・・・・・・圧力導入
穴、５・・・・・・リードピ　　。 ン、６・・・・・・真空引き用パイプ、７・・・・・・
ガラスシール、８・・・・・・Ａｕ細線、９・・・・・
・キャップ、１０・・・・・・真空基準室。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 片面に拡散技術により形成されたピエゾ抵抗素子、他面
    に凹部を形成し薄肉化したダイヤフラムを有するシリコ
    ンチップを貫通穴のあいた台座に固着し、台座は同様に
    穴のあいたベースに接合され、該ベースには、リードピ
    ンと真空引き用パイプがガラスシールにより固持され、
    シリコンチップ上のピエゾ抵抗素子の入出力端子と前記
    リードピンは、Ａｕ細線により接続されており、前記シ
    リコンチップ、リードピン、パイプ、金細線が、キャッ
    プをベースに溶接することにより包含された圧力変換器
    において、ガラスシールされたパイプを用い真空封止す
    ることを特徴とする真空基準膨圧力変換器。
JP16065383U 1983-10-19 1983-10-19 真空基準形圧力変換器 Pending JPS6068446U (ja)

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JP16065383U JPS6068446U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 真空基準形圧力変換器

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JPS6068446U true JPS6068446U (ja) 1985-05-15

Family

ID=30353294

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JP16065383U Pending JPS6068446U (ja) 1983-10-19 1983-10-19 真空基準形圧力変換器

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