JPS5982829U - 圧力測定装置 - Google Patents
圧力測定装置Info
- Publication number
- JPS5982829U JPS5982829U JP17943482U JP17943482U JPS5982829U JP S5982829 U JPS5982829 U JP S5982829U JP 17943482 U JP17943482 U JP 17943482U JP 17943482 U JP17943482 U JP 17943482U JP S5982829 U JPS5982829 U JP S5982829U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- measuring device
- diaphragm
- substrate
- silicon diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の圧力測定装置の概略断面図、第２図は本
考案の一実施例の概略断面図である。 １・・・感圧素子（感圧シリコンダイヤフラム）、３・
・・シールダイヤフラム、４・・・封入液体、８・・・
圧゛先導入口、９・・・基板、１１・・・貫通孔、１２
・・・基準圧力室。
考案の一実施例の概略断面図である。 １・・・感圧素子（感圧シリコンダイヤフラム）、３・
・・シールダイヤフラム、４・・・封入液体、８・・・
圧゛先導入口、９・・・基板、１１・・・貫通孔、１２
・・・基準圧力室。
Claims (1)
- 貫通孔が明けられている基板と、一方の片面に拡散抵抗
が形成され他方の片面に受圧面を有し、゛この受圧面で
もって前記基板の貫通孔を塞ぐように前記基板に取付け
られた感圧シリコンダイヤフラムと、前記基板のシリコ
ンダイヤフラムの取付けられている側に設けられてその
シリコンダイヤフラムを収容する基準圧力室と、この基
準圧力室の壁の一部を形成するシールダイヤフラムと、
前記基準圧力室内に封入された封入液体とを備え、前記
基板の貫通孔を介して前記シリコンダイヤフラムの受圧
面に測定圧力を作用させ、前記シールダイヤフラムに大
気圧を作用させたことを特徴とする圧力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17943482U JPS5982829U (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | 圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17943482U JPS5982829U (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | 圧力測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5982829U true JPS5982829U (ja) | 1984-06-04 |
Family
ID=30389319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17943482U Pending JPS5982829U (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | 圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5982829U (ja) |
-
1982
- 1982-11-27 JP JP17943482U patent/JPS5982829U/ja active Pending
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