JPH0235046U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0235046U JPH0235046U JP11453488U JP11453488U JPH0235046U JP H0235046 U JPH0235046 U JP H0235046U JP 11453488 U JP11453488 U JP 11453488U JP 11453488 U JP11453488 U JP 11453488U JP H0235046 U JPH0235046 U JP H0235046U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atmosphere
- substrate
- conduction pipe
- communicates
- sensor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図である。 １……センサチツプ、１１……凹部、１２……
ダイアフラム、１３……歪み検出センサ、２……
基板、２１……大気圧基準室、２２……貫通孔、
３……大気導通パイプ、４……ベース、５……ボ
デイ、５１……測定室、５２……接液ダイアフラ
ム、５３……連通孔、６１……接液ダイアフラム
、６２……封入液、６３……ケース、６４……ケ
ーブル、７……ホルダ、７１……乾燥室、７１１
……乾燥剤、７２……細穴。
第２図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図である。 １……センサチツプ、１１……凹部、１２……
ダイアフラム、１３……歪み検出センサ、２……
基板、２１……大気圧基準室、２２……貫通孔、
３……大気導通パイプ、４……ベース、５……ボ
デイ、５１……測定室、５２……接液ダイアフラ
ム、５３……連通孔、６１……接液ダイアフラム
、６２……封入液、６３……ケース、６４……ケ
ーブル、７……ホルダ、７１……乾燥室、７１１
……乾燥剤、７２……細穴。
Claims (1)
- 半導体よりなるセンサチツプと、該センサチツ
プに設けられたセンサチツプにダイアフラムを形
成する凹部と、前記ダイアフラムに設けられられ
た歪み検出センサと、前記センサチツプに一面が
固定され前記凹部と大気圧基準室を構成する基板
と、該基板を貫通し前記大気圧基準室に連通する
基板貫通孔と、前記基板の他面に一端が接続され
前記貫通孔と連通し他端が大気に開放される大気
導通パイプと、該大気導通パイプが固定されるベ
ースと、前記大気導通パイプの大気開口口あるい
はベースの大気解放部に設けられ乾燥剤が配置さ
れる乾燥室と該乾燥室を貫通し一端が前記大気導
通パイプに連通し他端が大気に開放され大気導通
パイプ側よりも大気開放側が流通抵抗が大なるよ
うにされた細穴とを有するホルダーとを具備して
なる半導体圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11453488U JPH0235046U (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11453488U JPH0235046U (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0235046U true JPH0235046U (ja) | 1990-03-06 |
Family
ID=31355373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11453488U Pending JPH0235046U (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0235046U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0614940U (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-25 | 矢崎総業株式会社 | ガスメータ用圧力検知器 |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP11453488U patent/JPH0235046U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0614940U (ja) * | 1992-07-24 | 1994-02-25 | 矢崎総業株式会社 | ガスメータ用圧力検知器 |
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