JPS6410641U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6410641U JPS6410641U JP10546387U JP10546387U JPS6410641U JP S6410641 U JPS6410641 U JP S6410641U JP 10546387 U JP10546387 U JP 10546387U JP 10546387 U JP10546387 U JP 10546387U JP S6410641 U JPS6410641 U JP S6410641U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- nipple
- semiconductor
- sensor element
- introduces
- Prior art date
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- Pending
Links
- 210000002445 nipple Anatomy 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図及び第２図はそれぞれこの考案装置の断
面図及び要部拡大断面図、第３図は従来装置をエ
ンジンに適用した場合の断面図である。 １１，１８……ニツプル、１４……圧力センサ
素子、１６……半導体ダイアフラム、１７……フ
ツ素製チユーブ。尚、図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
面図及び要部拡大断面図、第３図は従来装置をエ
ンジンに適用した場合の断面図である。 １１，１８……ニツプル、１４……圧力センサ
素子、１６……半導体ダイアフラム、１７……フ
ツ素製チユーブ。尚、図中同一符号は同一又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- 被検出気体圧力を導入するニツプルと、導入さ
れた圧力を検知して電気的抵抗変化を生じるゲー
ジ抵抗が配された半導体ダイアフラムを有する圧
力センサ素子を備え、上記ニツプル内にフツ素製
チユーブを挿設したことを特徴とする半導体圧力
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10546387U JPS6410641U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10546387U JPS6410641U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410641U true JPS6410641U (ja) | 1989-01-20 |
Family
ID=31338099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10546387U Pending JPS6410641U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6410641U (ja) |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP10546387U patent/JPS6410641U/ja active Pending