JPS62189636U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62189636U JPS62189636U JP7828186U JP7828186U JPS62189636U JP S62189636 U JPS62189636 U JP S62189636U JP 7828186 U JP7828186 U JP 7828186U JP 7828186 U JP7828186 U JP 7828186U JP S62189636 U JPS62189636 U JP S62189636U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection device
- semiconductor pressure
- pressure
- introduction part
- casing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 2
- 210000002445 nipple Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例に係る半導体圧力検
出装置を一部概略的に示す断面図、第2図は従来
の半導体圧力検出装置を部分的に破断して示す正
面図である。 1…半導体圧力センサ、2…ケーシング、2a
…ベース、2b…カバー、3…圧力導入部、4…
開口、6…外側筒状部、12…ニツプル、12a
…押え片、20…半導体圧力検出装置、21…フ
イルタ装置、22…第1のフイルタ部材、23…
スペーサ、24…第2のフイルタ部材。なお、図
中同一符号は同一部分又は相当する部分を示すも
のとする。
出装置を一部概略的に示す断面図、第2図は従来
の半導体圧力検出装置を部分的に破断して示す正
面図である。 1…半導体圧力センサ、2…ケーシング、2a
…ベース、2b…カバー、3…圧力導入部、4…
開口、6…外側筒状部、12…ニツプル、12a
…押え片、20…半導体圧力検出装置、21…フ
イルタ装置、22…第1のフイルタ部材、23…
スペーサ、24…第2のフイルタ部材。なお、図
中同一符号は同一部分又は相当する部分を示すも
のとする。
Claims (1)
- 圧力導入部を備えるベースにカバーを被せてな
るケーシングと、該ケーシング内に配置され圧力
を検出して電気信号に変換する半導体圧力センサ
と、前記圧力導入部に配置され中空のスペーサを
挾んで上下に配置された2つのフイルタ部材から
なるフイルタ装置とを含む半導体圧力検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7828186U JPS62189636U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7828186U JPS62189636U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62189636U true JPS62189636U (ja) | 1987-12-02 |
Family
ID=30927073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7828186U Pending JPS62189636U (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62189636U (ja) |
-
1986
- 1986-05-23 JP JP7828186U patent/JPS62189636U/ja active Pending