JPS62192234U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62192234U JPS62192234U JP8169286U JP8169286U JPS62192234U JP S62192234 U JPS62192234 U JP S62192234U JP 8169286 U JP8169286 U JP 8169286U JP 8169286 U JP8169286 U JP 8169286U JP S62192234 U JPS62192234 U JP S62192234U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- pressure
- semiconductor pressure
- semiconductor
- reference pressure
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る半導体圧力検
出装置を示す断面図、第２図はこの半導体圧力検
出装置の一部を拡大して示す断面図、第３図は従
来の半導体圧力検出装置を示す断面図である。 １０……半導体圧力検出装置、１１……ケーシ
ング、１１ａ……ベース、１１ｂ……カバー、１
２……大気導入孔、１４……フツ素樹脂系フイル
タ、１６……シール部材。なお、図中同一符号は
同一部分又は相当する部分を示す。
出装置を示す断面図、第２図はこの半導体圧力検
出装置の一部を拡大して示す断面図、第３図は従
来の半導体圧力検出装置を示す断面図である。 １０……半導体圧力検出装置、１１……ケーシ
ング、１１ａ……ベース、１１ｂ……カバー、１
２……大気導入孔、１４……フツ素樹脂系フイル
タ、１６……シール部材。なお、図中同一符号は
同一部分又は相当する部分を示す。
Claims (1)
- ケーシングと、該ケーシング内に設けられ且つ
圧力を検出して電気信号に変換する半導体圧力セ
ンサと、前記ケーシングに形成され、該ケーシン
グ外部から内部の前記半導体圧力センサに基準圧
を導入する基準圧導入孔と、該基準圧導入孔に配
置されたフツ素樹脂系フイルタとを備えているこ
とを特徴とする半導体圧力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8169286U JPS62192234U (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8169286U JPS62192234U (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62192234U true JPS62192234U (ja) | 1987-12-07 |
Family
ID=30933660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8169286U Pending JPS62192234U (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62192234U (ja) |
-
1986
- 1986-05-27 JP JP8169286U patent/JPS62192234U/ja active Pending