JPWO2013051198A1 - 隔膜型圧力計 - Google Patents
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Abstract
Description
1 基準圧力室
2 真空装置
3 筐体
4,4a,41,42,41a,42a ダイヤフラム電極
5 固定電極
6 ゲッタ
7 電気回路
8 弾性構造
9 導電性配線
10 補正電極
11 剛性構造
12 電気出力端子
13 絶縁基板
14,24 シリコン基板
15 突起構造
16 電極パッド
17 I/O出力端子
18,22 隔膜型圧力検出素子
19 導入端子
21 C/Dコンバータ
23 CPU
25 メモリ
27 測定圧力調整装置
28 温度センサ
29 D/Aコンバータ
31 I/O出力端子
32,33 圧力検出素子
Claims (6)
- 第1圧力範囲内の圧力を測定できる第1センサと、
前記第1圧力範囲よりも高圧側に上限を有するとともに前記第1圧力範囲との重複範囲を有する第2圧力範囲内の圧力を測定できる第2センサと、
前記第1センサ及び前記第2センサからの出力に対応した圧力値を算出する演算手段と、を備え、
前記演算手段は、
前記第1センサ及び前記第2センサにより前記重複範囲内で検出がなされたとき、
前記第1センサから出力された信号に対応する第1圧力値及び前記第2センサから出力された信号に対応する第2圧力値を算出し、
前記第1圧力値と前記第2圧力値との差分に対応する前記第2センサの信号量を算出し、
前記第2圧力範囲のうち前記第1圧力範囲の上限よりも高い圧力を測定する際、前記第2センサから出力される信号に前記信号量を加算した信号に対応する圧力値を出力する、
ことを特徴とする隔膜型圧力計。 - 前記第1圧力値及び前記第2圧力値はいずれも、前記第1圧力範囲の上限の圧力で測定されることを特徴とする請求項1に記載の隔膜型圧力計。
- 前記隔膜型圧力計は、前記演算手段に接続された外部入力手段をさらに備え、
前記演算手段は、
前記外部入力手段から出力された信号を受信した際、前記第1センサから出力されている信号を所定の圧力値として算出するように設定することを特徴とする請求項1又は2に記載の隔膜型圧力計。 - 前記隔膜型圧力計は、前記演算手段に接続された記憶手段をさらに備え、
前記演算手段は、前記差分に対応する前記第2センサの信号量を前記記憶手段に保存し、
前記第2圧力範囲のうち前記第1圧力範囲の上限よりも高い圧力を測定する際、前記信号量を前記記憶手段から読み出して前記第2センサから出力される信号に加算することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の隔膜型圧力計。 - 前記隔膜型圧力計は、前記信号量を前記記憶手段に保存する際、新たな信号量で上書きすることを特徴とする請求項4に記載の隔膜型圧力計。
- 第1圧力範囲内の圧力を検出可能な第1センサと、
第2圧力範囲内の圧力を検出可能な第2センサと、
前記第1センサ及び前記第2センサからの出力に基づいて圧力値を決定する処理部と、を備え、
前記第1圧力範囲と前記第2圧力範囲とは重複範囲を有し、
前記第2圧力範囲の上限は、前記第1圧力範囲の上限よりも高く、
前記処理部は、圧力が前記重複範囲内であるときの前記第1センサ及び前記第2センサの出力に基づいて補正値を決定し、前記第2圧力範囲のうち前記第1圧力範囲の上限よりも高い圧力を前記第2センサで測定する際に、前記第2センサの出力と前記補正値とに基づいて圧力値を決定する、
ことを特徴とする隔膜型圧力計。
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