JP5894175B2 - 隔膜型圧力計 - Google Patents
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Description
本発明の第2の側面は、被測定容器に取り付けられて、前記被測定容器の内部のガスを導入して圧力を測定する隔膜型圧力計であって、気密部材によって前記被測定容器の側の第1空間と大気側の第2空間とに区分けされ、前記ガスが前記第1空間に導入される筐体と、固定電極が設けられた絶縁基板と、前記固定電極に対向する測定面を有するダイヤフラム電極とを含み、前記固定電極および前記測定面が気密の基準圧力室に面し、前記ダイヤフラム電極における前記測定面とは反対側の面が前記第1空間に面し、前記絶縁基板における前記固定電極が設けられた面とは反対側の面が前記第1空間に面し、前記測定面が前記ガスの導入方向に平行に配置されたセンサ部と、前記ダイヤフラム電極の前記測定面が重力方向に平行に配置されるように前記筐体を前記被測定容器に取り付けるための取り付け部と、を備え、前記絶縁基板および前記ダイヤフラム電極の全体が前記第1空間に配置され、前記固定電極と前記ダイヤフラム電極とで構成されるキャパシタは、前記絶縁基板に設けられた電極パッドに接続され、前記電極パッドは、前記気密部材を貫通して前記第1空間から前記第2空間に至る導電性配線に前記第1空間において接続される。
1 基準圧力室
2 真空容器
3 筐体
3a フランジ
41,42,104 ダイヤフラム電極
5a,5b 固定電極
6 ゲッタ
7 電気回路
9 導電性配線
10 補正電極
12 電気出力端子
13a,13b 絶縁基板
14,24 シリコン基板
16 電極パッド
17 I/O出力端子
18,22,31 センサチップ
19 気密端子
21 C/Dコンバータ
23 CPU
25 メモリ
28 温度センサ
29 D/Aコンバータ
Claims (6)
- 被測定容器に取り付けられて、前記被測定容器の内部のガスを導入して圧力を測定する隔膜型圧力計であって、
気密部材によって前記被測定容器の側の第1空間と大気側の第2空間とに区分けされ、前記ガスが前記第1空間に導入される筐体と、
固定電極が設けられた絶縁基板と、前記固定電極に対向する測定面を有するダイヤフラム電極とを含み、前記固定電極および前記測定面が気密の基準圧力室に面し、前記ダイヤフラム電極における前記測定面とは反対側の面が前記第1空間に面し、前記絶縁基板における前記固定電極が設けられた面とは反対側の面が前記第1空間に面し、前記測定面が前記ガスの導入方向に平行に配置されたセンサ部と、を備え、
前記絶縁基板および前記ダイヤフラム電極の全体が前記第1空間に配置され、前記固定電極と前記ダイヤフラム電極とで構成されるキャパシタは、前記絶縁基板に設けられた電極パッドに接続され、前記電極パッドは、前記気密部材を貫通して前記第1空間から前記第2空間に至る導電性配線に前記第1空間において接続され、
前記筐体が前記被測定容器に取り付けられた際に、前記ダイヤフラム電極の前記測定面が重力方向に平行に配置されることを特徴とする隔膜型圧力計。 - 被測定容器に取り付けられて、前記被測定容器の内部のガスを導入して圧力を測定する隔膜型圧力計であって、
気密部材によって前記被測定容器の側の第1空間と大気側の第2空間とに区分けされ、前記ガスが前記第1空間に導入される筐体と、
固定電極が設けられた絶縁基板と、前記固定電極に対向する測定面を有するダイヤフラム電極とを含み、前記固定電極および前記測定面が気密の基準圧力室に面し、前記ダイヤフラム電極における前記測定面とは反対側の面が前記第1空間に面し、前記絶縁基板における前記固定電極が設けられた面とは反対側の面が前記第1空間に面し、前記測定面が前記ガスの導入方向に平行に配置されたセンサ部と、
前記ダイヤフラム電極の前記測定面が重力方向に平行に配置されるように前記筐体を前記被測定容器に取り付けるための取り付け部と、を備え、
前記絶縁基板および前記ダイヤフラム電極の全体が前記第1空間に配置され、前記固定電極と前記ダイヤフラム電極とで構成されるキャパシタは、前記絶縁基板に設けられた電極パッドに接続され、前記電極パッドは、前記気密部材を貫通して前記第1空間から前記第2空間に至る導電性配線に前記第1空間において接続される、
ことを特徴とする隔膜型圧力計。 - 前記ダイヤフラム電極を2つ有し、
2つの前記ダイヤフラム電極の前記測定面が平行に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の隔膜型圧力計。 - 被測定容器に取り付けられて、前記被測定容器の内部のガスを導入して圧力を測定する隔膜型圧力計であって、
前記ガスが内部に導入される筐体と、
固定電極と、前記固定電極に対向する測定面を有するダイヤフラム電極とを有し、前記固定電極および前記測定面が気密の基準圧力室に面し、前記ダイヤフラム電極の、前記測定面とは反対側の面が、前記ガスが導入される空間に面し、前記測定面が前記ガスの導入方向に平行に配置されたセンサ部と、を備え、
前記筐体が前記被測定容器に取り付けられた際に、前記ダイヤフラム電極の前記測定面が重力方向に平行に配置され、
前記ダイヤフラム電極を2つ有し、
2つの前記ダイヤフラム電極の前記測定面が平行に配置され、
前記筐体は、前記被測定容器の内部のガスを導入する導入路を有し、
2つの前記ダイヤフラム電極の前記測定面は、前記導入路の中心軸の両側に配置されることを特徴とする隔膜型圧力計。 - 前記筐体は、前記被測定容器の内部のガスを導入する導入路を有し、
前記ダイヤフラム電極の前記測定面は、前記導入路の中心軸から離間して配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の隔膜型圧力計。 - 前記筐体の外面には、前記測定面が重力方向に平行になるように前記隔膜型圧力計を前記被測定容器に取り付けるためのマークが設けられている、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の隔膜型圧力計。
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