JPS6156544U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6156544U JPS6156544U JP14050684U JP14050684U JPS6156544U JP S6156544 U JPS6156544 U JP S6156544U JP 14050684 U JP14050684 U JP 14050684U JP 14050684 U JP14050684 U JP 14050684U JP S6156544 U JPS6156544 U JP S6156544U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoresistor
- pressure sensor
- semiconductor
- semiconductor pressure
- semiconductor pellet
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims 2
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図ａ乃至ｅは本考案の一実施例を示す工程
別断面図、第２図は従来例を示す断面図である。 １……シリコン基板、２……ピエゾ抵抗素子、
３……ＳｉＯ２膜、５……切込部。
別断面図、第２図は従来例を示す断面図である。 １……シリコン基板、２……ピエゾ抵抗素子、
３……ＳｉＯ２膜、５……切込部。
Claims (1)
- 中央部がその周縁部に比して厚みの小なるダイ
ヤフラム部とされた半導体ペレツトと、上記ダイ
ヤフラム部の一表面に形成されたピエゾ抵抗と、
該ピエゾ抵抗を被覆すべく形成された保護膜とを
備えた半導体圧力センサにおいて、上記半導体ペ
レツトの上記ピエゾ抵抗が形成されている表面に
、上記ピエゾ抵抗を包囲する形態の切込部が設け
られたことを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050684U JPS6156544U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050684U JPS6156544U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6156544U true JPS6156544U (ja) | 1986-04-16 |
Family
ID=30698859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14050684U Pending JPS6156544U (ja) | 1984-09-17 | 1984-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6156544U (ja) |
-
1984
- 1984-09-17 JP JP14050684U patent/JPS6156544U/ja active Pending