JPS61100137U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61100137U JPS61100137U JP18510984U JP18510984U JPS61100137U JP S61100137 U JPS61100137 U JP S61100137U JP 18510984 U JP18510984 U JP 18510984U JP 18510984 U JP18510984 U JP 18510984U JP S61100137 U JPS61100137 U JP S61100137U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe needle
- wafer
- needle
- probe
- insulating film
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図イ，ロは従来例のプローブニードルの動
作課程を表す表面従断面図、第２図は本考案の一
実施に示すプローブニードルの表面縦断面図。 １：探査用ニードル、２：固定ニードル、３：
半導体素子、４：プローブニードル、５：ひずみ
検出素子（ピエゾ抵抗）、６：絶縁膜、７：リー
ド。
作課程を表す表面従断面図、第２図は本考案の一
実施に示すプローブニードルの表面縦断面図。 １：探査用ニードル、２：固定ニードル、３：
半導体素子、４：プローブニードル、５：ひずみ
検出素子（ピエゾ抵抗）、６：絶縁膜、７：リー
ド。
Claims (1)
- 半導体素子ウエハー等の電機特性検査する装置
に用いられるプローブニードルであつて、前記ウ
エハーにプローブニードルが当接した際の接触圧
によるプローブニードルのひずみを測定するピエ
ゾ抵抗体をプローブニードル上に絶縁膜を介して
形成し、プローブニードルと一体化したことを特
徴とするウエーハプローバ用ブローブニードル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18510984U JPS61100137U (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18510984U JPS61100137U (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100137U true JPS61100137U (ja) | 1986-06-26 |
Family
ID=30742589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18510984U Pending JPS61100137U (ja) | 1984-12-06 | 1984-12-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61100137U (ja) |
-
1984
- 1984-12-06 JP JP18510984U patent/JPS61100137U/ja active Pending
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