JPS6126156U - 接合強度測定装置 - Google Patents

接合強度測定装置

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JPS6126156U
JPS6126156U JP11052484U JP11052484U JPS6126156U JP S6126156 U JPS6126156 U JP S6126156U JP 11052484 U JP11052484 U JP 11052484U JP 11052484 U JP11052484 U JP 11052484U JP S6126156 U JPS6126156 U JP S6126156U
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JP
Japan
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bonding strength
measuring device
protrusion
probe
strength measuring
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JP11052484U
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JPH0240524Y2 (ja
Inventor
彰 天野
Original Assignee
富士電機株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は第１図に
おける要部の拡大模式図、第３図はプローブあ拡大斜視
図、第４図は第３図のプローブの変形例の斜視区、第５
図および第６図はそれぞれ剥離現象説明用の第１説明図
および第２説明図、第７図はシリコン・ウエハーの平面
図、第８図は第７図における半導体装置チップの拡大平
面図、第９図は第８図における要部の断面拡大図、第１
０図および第１１図はそれそれ従来の第１および第２接
合強度測定装置の各説明図である。 ２，４・・・・・・基板、３・・・・・・突起物として
の電極、一５・・・・・・突起物、１１・・・一・・試
料、１２・・・・・＝取り付け台、１５・・・・・・試
料固定機構、・１６・・・・・・荷重計、１７・・・・
・・プローブ、１８・・・・・・測定部、２６・・・・
・・駆動機構、２８−・・・・・・接合強度測定装置。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）基板と、該基板の一面上に接合された突起物と、
    からなる試料を取り付け台と；前記試料を前記取り付け
    台に固定する試料固定機構と；棒状プローブの一端に測
    定部が設けられ、前記プａ−ブの他端に加えられる力の
    大きさを前記測定部によって測定する荷重計と；前記プ
    ローブの前記他端が前記突起物を該突起物の側面から押
    圧するように、前記試料固定機構によって煎記試料を固
    定した前記取り付け台と、前記荷量計と、を相対的に移
    動させる駆動機構と；を備え、前記測定部の測定結果に
    もとづいて前記突起物の接合強度を測定することを特徴
    とする接合強度測定装置。
  2. （２）実用新案登録請求の範囲第１項に記載の測定装置
    において、荷重計の測定部はプローブの他端に加えられ
    た力の最大値を記憶、保持するように形成されているこ
    とを特徴とする接合強度測定装置。
JP11052484U 1984-07-20 1984-07-20 接合強度測定装置 Granted JPS6126156U (ja)

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JP11052484U JPS6126156U (ja) 1984-07-20 1984-07-20 接合強度測定装置

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JPS6126156U true JPS6126156U (ja) 1986-02-17
JPH0240524Y2 JPH0240524Y2 (ja) 1990-10-29

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JP2009543034A (ja) * 2006-07-03 2009-12-03 デイジ プレシジョン インダストリーズ リミテッド 引張り試験装置及び電子基板上のデポジットの試験方法
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JPH0240524Y2 (ja) 1990-10-29

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