JPS6410639U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6410639U JPS6410639U JP10579587U JP10579587U JPS6410639U JP S6410639 U JPS6410639 U JP S6410639U JP 10579587 U JP10579587 U JP 10579587U JP 10579587 U JP10579587 U JP 10579587U JP S6410639 U JPS6410639 U JP S6410639U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- output
- piezoresistive bridge
- voltage
- deformation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る半導体圧力セ
ンサの実装構造の一例を示す一部断面図、第２図
はその半導体圧力センサの回路構成を示す回路図
、第３図は従来の半導体圧力センサの構成図、第
４図はピエゾ係数の温度特性を示すグラフである
。 ７：第１のダイアフラム、８：第２のダイアフ
ラム、１０：第１のピエゾ抵抗ブリツジ、１１：
第２のピエゾ抵抗ブリツジ、１２：逆数変換回路
。
ンサの実装構造の一例を示す一部断面図、第２図
はその半導体圧力センサの回路構成を示す回路図
、第３図は従来の半導体圧力センサの構成図、第
４図はピエゾ係数の温度特性を示すグラフである
。 ７：第１のダイアフラム、８：第２のダイアフ
ラム、１０：第１のピエゾ抵抗ブリツジ、１１：
第２のピエゾ抵抗ブリツジ、１２：逆数変換回路
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 基準圧力によつて変形する第１のダイアフラム
と、 被測定圧力によつて変形する第２のダイアフラ
ムと、 第１のダイアフラムに設けられその変形に相応
した出力を得る第１のピエゾ抵抗ブリツジと、 第２のダイアフラムに設けられその変形に相応
した出力を得る第２のピエゾ抵抗ブリツジと、 所定の電圧印加によつて第１のピエゾ抵抗ブリ
ツジから得られる出力が入力されそれに反比例す
る出力電圧を第２のピエゾ抵抗ブリツジに印加す
る電圧変換手段とを備え、第２のピエゾ抵抗ブリ
ツジの出力により圧力を測定することを特徴とす
る半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10579587U JPS6410639U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10579587U JPS6410639U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6410639U true JPS6410639U (ja) | 1989-01-20 |
Family
ID=31338730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10579587U Pending JPS6410639U (ja) | 1987-07-08 | 1987-07-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6410639U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03194432A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ |
-
1987
- 1987-07-08 JP JP10579587U patent/JPS6410639U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03194432A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ |