JPS61109154U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61109154U JPS61109154U JP19413684U JP19413684U JPS61109154U JP S61109154 U JPS61109154 U JP S61109154U JP 19413684 U JP19413684 U JP 19413684U JP 19413684 U JP19413684 U JP 19413684U JP S61109154 U JPS61109154 U JP S61109154U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- light receiving
- sensitive element
- receiving element
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図ないし第３図はこの考案の半導体圧力セ
ンサの実施例を示し、第１図および第２図は１実
施例の断面図および感圧素子とフオトダイオード
との結線図、第３図は他の実施例の第２図に対応
する結線図、第４図および第５図は従来の半導体
圧力センサの断面図および感圧素子の結線図であ
る。 ５……ダイヤフラム部、６……第１圧力室、７
……第２圧力室、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ……感
圧素子、１５……外光導入窓、１６……フオトダ
イオード。
ンサの実施例を示し、第１図および第２図は１実
施例の断面図および感圧素子とフオトダイオード
との結線図、第３図は他の実施例の第２図に対応
する結線図、第４図および第５図は従来の半導体
圧力センサの断面図および感圧素子の結線図であ
る。 ５……ダイヤフラム部、６……第１圧力室、７
……第２圧力室、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ……感
圧素子、１５……外光導入窓、１６……フオトダ
イオード。
Claims (1)
- 第１圧力室と第２圧力室との間を閉塞するダイ
ヤフラム部にピエゾ抵抗効果を有する感圧素子を
形成してなる半導体圧力センサにおいて、前記一
方の圧力室を構成する容器に外光導入窓を形成す
るとともに、前記一方の圧力室に受光素子を設け
、かつ、前記受光素子を逆方向電圧印加状態で前
記感圧素子に接続した半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19413684U JPS61109154U (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19413684U JPS61109154U (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61109154U true JPS61109154U (ja) | 1986-07-10 |
Family
ID=30751574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19413684U Pending JPS61109154U (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61109154U (ja) |
-
1984
- 1984-12-20 JP JP19413684U patent/JPS61109154U/ja active Pending