JPS62160342U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62160342U JPS62160342U JP4881586U JP4881586U JPS62160342U JP S62160342 U JPS62160342 U JP S62160342U JP 4881586 U JP4881586 U JP 4881586U JP 4881586 U JP4881586 U JP 4881586U JP S62160342 U JPS62160342 U JP S62160342U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bridge
- semiconductor
- pressure sensor
- capacitor
- piezoresistive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例を示す半導体圧
力センサの信号処理回路の回路図、第２図は、同
実施例回路における圧力センサの圧力印加による
抵抗変化、出力の関係を説明するための回路図、
第３図は、従来の半導体圧力センサの信号処理回
路を示す回路図である。 １０：半導体圧力センサ、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，
Ｒ４：ピエゾ抵抗素子、Ｃ１，Ｃ２：コンデンサ
。
力センサの信号処理回路の回路図、第２図は、同
実施例回路における圧力センサの圧力印加による
抵抗変化、出力の関係を説明するための回路図、
第３図は、従来の半導体圧力センサの信号処理回
路を示す回路図である。 １０：半導体圧力センサ、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，
Ｒ４：ピエゾ抵抗素子、Ｃ１，Ｃ２：コンデンサ
。
Claims (1)
- 半導体ピエゾ抵抗素子がブリツジ接続され、圧
力に応じた前記半導体ピエゾ抵抗素子の抵抗値の
変化により、ブリツジより出力が導出される半導
体圧力センサにおいて、前記ブリツジの２出力端
と接地間にそれぞれコンデンサが接続され、この
コンデンサと前記ブリツジの抵抗素子とでローパ
スフイルタを形成してなることを特徴とする半導
体圧力センサの信号処理回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4881586U JPS62160342U (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4881586U JPS62160342U (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62160342U true JPS62160342U (ja) | 1987-10-12 |
Family
ID=30870699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4881586U Pending JPS62160342U (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62160342U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243566A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Denso Corp | 半導体式圧力センサ |
| JP2006528765A (ja) * | 2003-07-22 | 2006-12-21 | コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 圧力を測定する方法及び装置 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP4881586U patent/JPS62160342U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243566A (ja) * | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Denso Corp | 半導体式圧力センサ |
| JP2006528765A (ja) * | 2003-07-22 | 2006-12-21 | コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 圧力を測定する方法及び装置 |
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