JPS58180444U - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS58180444U JPS58180444U JP7779482U JP7779482U JPS58180444U JP S58180444 U JPS58180444 U JP S58180444U JP 7779482 U JP7779482 U JP 7779482U JP 7779482 U JP7779482 U JP 7779482U JP S58180444 U JPS58180444 U JP S58180444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- substrate
- thin wire
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の半導体圧力センサの説明図である。
１・・・Ｓｉ基板、２・・・Ｐ形歪抵抗、３・・・細線
、２１・・・シリコンゲル、２２・・・弗素系レジン、
３０・・・凹部真空室。
、２１・・・シリコンゲル、２２・・・弗素系レジン、
３０・・・凹部真空室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 Ｉ Ｎ形Ｓｉ基板゛の表面にＰ形歪抵抗を拡散形成し、
前記抵抗と接続する電極を形成し、かつ裏面中央をエツ
チングにより凹部を形成した歪素子を、他の部材と接合
して、前記凹部を真空にし、前記Ｓｉ基板の表面に測定
圧力を印加し、前記抵抗の変化を前記電極に接続した細
線により取り出す半導体圧力センサにおいて、前記細線
および前記Ｓｉ基板をメチルフェニール系シリコンゲル
中に埋めたことを特徴とする半導体圧力センサ。 ２ 第１項において、シリコンゲルの上にさらに弗素系
の樹脂を被覆したことを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7779482U JPS58180444U (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7779482U JPS58180444U (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58180444U true JPS58180444U (ja) | 1983-12-02 |
Family
ID=30087044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7779482U Pending JPS58180444U (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58180444U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6221031A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力センサユニツト |
| JPH01260337A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-17 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力センサユニットの製造方法 |
| JP2008504522A (ja) * | 2004-06-28 | 2008-02-14 | ズリ・ホールディングス・リミテッド | 共振センサを保護する方法及びオープン保護共振センサ |
-
1982
- 1982-05-28 JP JP7779482U patent/JPS58180444U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6221031A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力センサユニツト |
| JPH01260337A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-17 | Citizen Watch Co Ltd | 圧力センサユニットの製造方法 |
| JP2008504522A (ja) * | 2004-06-28 | 2008-02-14 | ズリ・ホールディングス・リミテッド | 共振センサを保護する方法及びオープン保護共振センサ |
| JP2013101156A (ja) * | 2004-06-28 | 2013-05-23 | Microtech Medical Technologies Ltd | 共振センサを保護する方法及びオープン保護共振センサ |
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