JPH0618278Y2 - 湿度検出装置 - Google Patents
湿度検出装置Info
- Publication number
- JPH0618278Y2 JPH0618278Y2 JP1985120665U JP12066585U JPH0618278Y2 JP H0618278 Y2 JPH0618278 Y2 JP H0618278Y2 JP 1985120665 U JP1985120665 U JP 1985120665U JP 12066585 U JP12066585 U JP 12066585U JP H0618278 Y2 JPH0618278 Y2 JP H0618278Y2
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- moisture
- pellet
- sensitive
- humidity
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本考案は湿度検出装置に関する。
(ロ)従来の技術 湿度検出体として感湿セラミック等の如く湿度による電
気的特性の変わるものが知られている。この検出体は、
気体一固体界面の電気特性を利用するものであり、従っ
てその界面が大気にさらされ、汚染等の影響を受けやす
く、長期安定性に欠ける。これに対し、特開昭５６−４
２１２６号公報に開示された如き、毛髪やナイロンの様
な感湿伸縮体は長期的に安定である半面、その伸縮を電
気信号に変換し難い。
気的特性の変わるものが知られている。この検出体は、
気体一固体界面の電気特性を利用するものであり、従っ
てその界面が大気にさらされ、汚染等の影響を受けやす
く、長期安定性に欠ける。これに対し、特開昭５６−４
２１２６号公報に開示された如き、毛髪やナイロンの様
な感湿伸縮体は長期的に安定である半面、その伸縮を電
気信号に変換し難い。
本考案は、この点に鑑み、感湿伸縮体を用い、かつその
伸縮を容易にしかも敏感に電気信号に変換できる湿度検
出装置を提案した（特願昭６０−４３３８８号（特開昭
６１−２０２１５２号））。
伸縮を容易にしかも敏感に電気信号に変換できる湿度検
出装置を提案した（特願昭６０−４３３８８号（特開昭
６１−２０２１５２号））。
その構造は、第２図に示す如く、シリコンダイアフラム
型圧力センサペレット(1)を含む。このペレットは、そ
の自体特公昭５８−７１７９号公報等によって周知の如
く、シリコンダイアフラムにおける半導体ピエゾ効果を
利用したものである。この例におけるペレット(1)は、
より具体的には、約４mm角の平面を持つＮ型単結晶シリ
コンからなり、厚さ約300μｍの環状基部(2)と、この基
部と一体的に連なる厚さ約２０μｍのダイアフラム(3)
とを有する。ダイアフラム(3)の表面には拡散によりＰ
型のピエゾ抵抗領域（4a）〜（4d）が形成されており、
各領域に連なる配線路(5)(5)…が拡散や蒸着で形成され
ている。
型圧力センサペレット(1)を含む。このペレットは、そ
の自体特公昭５８−７１７９号公報等によって周知の如
く、シリコンダイアフラムにおける半導体ピエゾ効果を
利用したものである。この例におけるペレット(1)は、
より具体的には、約４mm角の平面を持つＮ型単結晶シリ
コンからなり、厚さ約300μｍの環状基部(2)と、この基
部と一体的に連なる厚さ約２０μｍのダイアフラム(3)
とを有する。ダイアフラム(3)の表面には拡散によりＰ
型のピエゾ抵抗領域（4a）〜（4d）が形成されており、
各領域に連なる配線路(5)(5)…が拡散や蒸着で形成され
ている。
ペレット(1)はその基部(2)においてヘッダ(6)に接着さ
れ、ヘッダ(6)に植設されたリードピン(7)(7)…とペレ
ットの配線路(5)(5)…とを金属細線(8)が結ぶ。
れ、ヘッダ(6)に植設されたリードピン(7)(7)…とペレ
ットの配線路(5)(5)…とを金属細線(8)が結ぶ。
感湿伸縮体(9)は、厚みが約数μｍ乃至数十μｍの６ナ
イロンあるいは６，６ナイロンからなり、シリコンゴム
等の接着材によりセンサペレットのダイアフラム(3)の
表面に貼着されている。従って感湿伸縮体(9)の伸縮は
ダイアフラム(3)を歪ませる。
イロンあるいは６，６ナイロンからなり、シリコンゴム
等の接着材によりセンサペレットのダイアフラム(3)の
表面に貼着されている。従って感湿伸縮体(9)の伸縮は
ダイアフラム(3)を歪ませる。
ヘッダ(6)に固定されたケース(10)はセンサペレット(1)
を包囲し、ケース(10)の開口(11)と感湿伸縮体(9)とを
含む中央空間を除いて、ケース(10)とセンサペレット
(1)の表面との間にゲル状シリコン(12)が埋められてい
る。
を包囲し、ケース(10)の開口(11)と感湿伸縮体(9)とを
含む中央空間を除いて、ケース(10)とセンサペレット
(1)の表面との間にゲル状シリコン(12)が埋められてい
る。
よって、感湿伸縮体(9)がケース開口(11)を通じて被測
定雰囲気に接し、その湿度に応じて伸縮すると、ダイア
フラム(3)が歪み、それに応じてピエゾ抵抗領域（4a）
〜（4d）の抵抗値が変化する。各ピエゾ抵抗領域（4a）
〜（4d）は、通常の如く、リードピン(7)(7)…を通じ外
部にて抵抗ブリッジ結合され、このブリッジの出力電圧
値を読むことによりダイアフラム(3)の歪度、即ち湿度
を測定できる。
定雰囲気に接し、その湿度に応じて伸縮すると、ダイア
フラム(3)が歪み、それに応じてピエゾ抵抗領域（4a）
〜（4d）の抵抗値が変化する。各ピエゾ抵抗領域（4a）
〜（4d）は、通常の如く、リードピン(7)(7)…を通じ外
部にて抵抗ブリッジ結合され、このブリッジの出力電圧
値を読むことによりダイアフラム(3)の歪度、即ち湿度
を測定できる。
(ハ)考案が解決しようとする問題点 上記第２図の構造では、感湿伸縮体が、ダイアフラム表
面、即ち、ピエゾ抵抗領域の形成されている面に被着さ
れており、従ってセンサの重要な電気信号への変換部分
を完全に保護できない欠点がある。本考案は、感湿伸縮
体を用い、かつ電気信号への変換部分を完全に保護可能
な構造を提供するものである。
面、即ち、ピエゾ抵抗領域の形成されている面に被着さ
れており、従ってセンサの重要な電気信号への変換部分
を完全に保護できない欠点がある。本考案は、感湿伸縮
体を用い、かつ電気信号への変換部分を完全に保護可能
な構造を提供するものである。
(ニ)問題点を解決するための手段 本考案の湿度検出装置は、表面にピエゾ抵抗領域を有す
るシリコンダイアフラム型圧力センサペレットと、該ペ
レットのダイアフラム裏面に被着され、上記センサへの
圧力印加体となる感湿伸縮体とを具備したことを特徴と
する。
るシリコンダイアフラム型圧力センサペレットと、該ペ
レットのダイアフラム裏面に被着され、上記センサへの
圧力印加体となる感湿伸縮体とを具備したことを特徴と
する。
(ホ)作用 本考案によれば、ダイアフラムの裏面に圧力印加体とな
る感湿伸縮体が被着されているので、感湿伸縮体の伸縮
力を十分ダイアフラムに印加することができ、かつ、ダ
イアフラムの表面には感湿伸縮体が存在しないので、そ
の表面にある圧力・電気変換部分を外部から十分に保護
することができる。
る感湿伸縮体が被着されているので、感湿伸縮体の伸縮
力を十分ダイアフラムに印加することができ、かつ、ダ
イアフラムの表面には感湿伸縮体が存在しないので、そ
の表面にある圧力・電気変換部分を外部から十分に保護
することができる。
(ヘ)実施例 第１図に本考案の実施例を示す。同図にて第１図と同一
部分には同一番号が附されているが、本実施例の特徴と
して、感湿伸縮体(9)がダイアフラム(3)の裏面に被着さ
れると共に、ヘッダ(6)には、感湿伸縮体(9)が被測定雰
囲気に接し得るべく開口(20)が形成され、更に、ダイア
フラム(3)の表面が完全に密閉状ケース(10)及びゲル状
シリコン(12)により覆われている。
部分には同一番号が附されているが、本実施例の特徴と
して、感湿伸縮体(9)がダイアフラム(3)の裏面に被着さ
れると共に、ヘッダ(6)には、感湿伸縮体(9)が被測定雰
囲気に接し得るべく開口(20)が形成され、更に、ダイア
フラム(3)の表面が完全に密閉状ケース(10)及びゲル状
シリコン(12)により覆われている。
よって、感湿伸縮体(9)の伸縮力は有効にダイアフラム
(3)に印加され、又、ピエゾ抵抗領域（4a）〜（4d）を
含む圧力・電気変換部分は外部から完全に保護される。
(3)に印加され、又、ピエゾ抵抗領域（4a）〜（4d）を
含む圧力・電気変換部分は外部から完全に保護される。
上記実施例において、ケース(10)は密閉型であるので、
ゲル状シリコン(12)に代えて、不活性ガスを充填するこ
ともできる。
ゲル状シリコン(12)に代えて、不活性ガスを充填するこ
ともできる。
(ト)考案の効果 本考案によれば、感湿伸縮体が被測定雰囲気による汚染
を受けても安定して湿度に応じた伸縮をなし、シリコン
ダイアフラム型圧力センサペレットがその伸縮を敏感に
電気信号に変換する。加えて、センサペレットの圧力・
電気変換部分は外部から十分に保護され、装置の信頼性
は更に高まる。
を受けても安定して湿度に応じた伸縮をなし、シリコン
ダイアフラム型圧力センサペレットがその伸縮を敏感に
電気信号に変換する。加えて、センサペレットの圧力・
電気変換部分は外部から十分に保護され、装置の信頼性
は更に高まる。
第１図は本考案実施例を示す断面図、第２図Ａは既に提
案された例を示す断面図、第２図Ｂは同要部平面図であ
る。 (1)……圧力センサペレット、(3)……ダイアフラム、
(9)……感湿伸縮体。
案された例を示す断面図、第２図Ｂは同要部平面図であ
る。 (1)……圧力センサペレット、(3)……ダイアフラム、
(9)……感湿伸縮体。
Claims (1)
- 【請求項１】表面にピエゾ抵抗領域を有するシリコンダ
イアフラム型圧力センサペレットと、該ペレットのダイ
ヤフラム裏面に被着され、上記センサへの圧力印加体と
なる感湿伸縮体とを具備する湿度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985120665U JPH0618278Y2 (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | 湿度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985120665U JPH0618278Y2 (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | 湿度検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6228153U JPS6228153U (ja) | 1987-02-20 |
| JPH0618278Y2 true JPH0618278Y2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=31009196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985120665U Expired - Lifetime JPH0618278Y2 (ja) | 1985-08-05 | 1985-08-05 | 湿度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0618278Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2630836B2 (ja) * | 1989-02-13 | 1997-07-16 | 三洋電機株式会社 | 半導体湿度センサ |
| JP2645884B2 (ja) * | 1989-02-13 | 1997-08-25 | 三洋電機株式会社 | 半導体湿度センサ |
| CN108885165B (zh) | 2016-03-31 | 2021-07-23 | 京瓷株式会社 | 应力传感器 |
| JP2017181435A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 京セラ株式会社 | 応力センサ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028784U (ja) * | 1973-07-09 | 1975-04-02 | ||
| JPS587179B2 (ja) * | 1974-10-14 | 1983-02-08 | ジドウシヤコウガイアンゼンキキギジユツケンキユウクミアイ | 半導体歪ゲ−ジ式圧力センサ |
| JPS54158289A (en) * | 1978-06-05 | 1979-12-13 | Hitachi Ltd | Humidity detector |
-
1985
- 1985-08-05 JP JP1985120665U patent/JPH0618278Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6228153U (ja) | 1987-02-20 |
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