JPS6425734U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6425734U JPS6425734U JP11998887U JP11998887U JPS6425734U JP S6425734 U JPS6425734 U JP S6425734U JP 11998887 U JP11998887 U JP 11998887U JP 11998887 U JP11998887 U JP 11998887U JP S6425734 U JPS6425734 U JP S6425734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- pressure sensor
- piezoresistive pressure
- semiconductor piezoresistive
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図ａ，ｂはこの考案の一実施例による半導
体ピエゾ抵抗式圧力センサに係るセンサチツプを
拡大して示す正面図及びそのｂ−ｂ線断面図
、第２図は従来の半導体ピエゾ抵抗式圧力センサ
を示す縦断面図、第３図ａ，ｂは従来の半導体ピ
エゾ抵抗式圧力センサに係るセンサチツプを拡大
して示す正面図及びそのｂ−ｂ線断面図、第
４図はピエゾ抵抗のブリツジ回路形成を示す回路
図である。 ４……センサチツプ、８……拡散ピエゾ抵抗、
９……ダイアフラム部、１０……エツジ部、１１
……段差。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
体ピエゾ抵抗式圧力センサに係るセンサチツプを
拡大して示す正面図及びそのｂ−ｂ線断面図
、第２図は従来の半導体ピエゾ抵抗式圧力センサ
を示す縦断面図、第３図ａ，ｂは従来の半導体ピ
エゾ抵抗式圧力センサに係るセンサチツプを拡大
して示す正面図及びそのｂ−ｂ線断面図、第
４図はピエゾ抵抗のブリツジ回路形成を示す回路
図である。 ４……センサチツプ、８……拡散ピエゾ抵抗、
９……ダイアフラム部、１０……エツジ部、１１
……段差。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- 一面側に拡散ピエゾ抵抗が形成され、圧力の受
感部となるダイアフラム部と、他面側端部にエツ
ジ部を有するセンサチツプ、及び上記エツジ部に
固着される基台を備える半導体ピエゾ抵抗式圧力
センサにおいて、上記エツジ部と上記ダイアフラ
ム部との間に２段以上の段差を設けたことを特徴
とする半導体ピエゾ抵抗式圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11998887U JPS6425734U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11998887U JPS6425734U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6425734U true JPS6425734U (ja) | 1989-02-13 |
Family
ID=31365696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11998887U Pending JPS6425734U (ja) | 1987-08-04 | 1987-08-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6425734U (ja) |
-
1987
- 1987-08-04 JP JP11998887U patent/JPS6425734U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6425734U (ja) | ||
| JPS63131154U (ja) | ||
| JPS60174845U (ja) | 小型体重計 | |
| JPS60134134U (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS6185203U (ja) | ||
| JPS6427636U (ja) | ||
| JPS61110138U (ja) | ||
| JPS5837530U (ja) | 圧力検出装置 | |
| JPS63168826U (ja) | ||
| JPS6421345U (ja) | ||
| JPS6219760U (ja) | ||
| JPS6030554U (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH01127268U (ja) | ||
| JPH0187219U (ja) | ||
| JPH0466549U (ja) | ||
| JPS6297934U (ja) | ||
| JPS6172866U (ja) | ||
| JPS6367266U (ja) | ||
| JPS607045U (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH0464705U (ja) | ||
| JPS6219759U (ja) | ||
| JPS63181937U (ja) | ||
| JPS59134032U (ja) | 微圧測定用圧力センサ用素子 | |
| JPH0175401U (ja) | ||
| JPS61100142U (ja) |