JPS6320039U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6320039U JPS6320039U JP11422386U JP11422386U JPS6320039U JP S6320039 U JPS6320039 U JP S6320039U JP 11422386 U JP11422386 U JP 11422386U JP 11422386 U JP11422386 U JP 11422386U JP S6320039 U JPS6320039 U JP S6320039U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plate
- connecting body
- support substrate
- fixed
- fixed electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は、本考案圧力センサーの縦断側面図、
第２図は、同上の部分拡大縦断側面図、第３図は
、従来品の縦断側面図、 １……支持基板、５……ダイヤフラム、６……
連結体、８……上枠体、１０……固定電極板、１
２……スペーサ、１３……可動電極板。
第２図は、同上の部分拡大縦断側面図、第３図は
、従来品の縦断側面図、 １……支持基板、５……ダイヤフラム、６……
連結体、８……上枠体、１０……固定電極板、１
２……スペーサ、１３……可動電極板。
Claims (1)
- 流体圧の変動を受けて変位するように支持基板
上に取り付けたダイヤフラムの中央部に連結体を
突設し、該連結体の先端を該支持基板上の上枠体
に取り付けた固定電極板の反対側に貫通突出させ
、該固定電極板との間に絶縁スペーサ板を介して
対向する可動電極板に、上記連結体の先端を定着
してなることを特徴とする静電型圧力センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11422386U JPS6320039U (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11422386U JPS6320039U (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320039U true JPS6320039U (ja) | 1988-02-09 |
Family
ID=30996761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11422386U Pending JPS6320039U (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320039U (ja) |
-
1986
- 1986-07-24 JP JP11422386U patent/JPS6320039U/ja active Pending