DE112011102258T5

DE112011102258T5 - Verbesserte Kapazitätssensoren

Info

Publication number: DE112011102258T5
Application number: DE112011102258T
Authority: DE
Inventors: Chrisy Grudzien
Original assignee: MKS Instruments Inc
Current assignee: MKS Instruments Inc
Priority date: 2010-07-01
Filing date: 2011-06-21
Publication date: 2013-05-02
Anticipated expiration: 2031-06-22
Also published as: DE112011102258B4; GB2496540A; TWI439681B; CN103080717B; US20120001648A1; JP2013533974A; US8704538B2; SG186483A1; JP5795369B2; KR20130019000A; GB2496540B; KR101496774B1; CN103080717A; TW201224420A; GB201300941D0; WO2012003110A1

Abstract

Eine Sensoreinheit umfasst eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und eine Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil aufweist. Der ortsfeste Teil der Membran ist an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit fixiert; und es ist im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit fixiert ist, und dem aktiven Teil mindestens eine Rille ausgebildet, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten. Ebenfalls offenbart wird ein Verfahren zur Herstellung der Sensoreinheit.

Description

Fachgebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft Kapazitätssensoren, insbesondere Niederdruck-Kapazitätsmanometer, umfassend eine Membran, die derart aufgebaut ist, dass sie die Membran innerhalb des Manometergehäuses sichert, so dass es beim Schweißen nicht zum Knicken kommt, und die Membran von schweißungsbedingter Beanspruchung isoliert ist.
Hintergrund
Kapazitätssensoren umfassen üblicherweise ein Gehäuse, welches zwei Kammern umfasst; die erste empfängt das Gas oder Dampf, dessen Druck zu messen ist, und die zweite empfängt das Gas bei einem Referenzdruck. Der Referenzdruck bestimmt sich typischerweise entweder nach einer Referenzquelle oder nach einem Umgebungsgas, das die Umgebungsbedingungen widerspiegelt. Die beiden Kammern trennt eine zwischen ihnen angeordnete flexible Membran. Die Membran ist an ihrer Peripherie derart fixiert, dass sie eine Kammer der anderen gegenüber verschließt, und weist einen aktiven Teil auf, der sich als Funktion des Unterschieds zwischen dem Messdruck und dem Referenzdruck biegt. In einem Kapazitätsmanometer wird die Membran von zwei Elektroden beabstandet, von denen eine typischerweise eine Ringelektrode und die andere eine Mittelelektrode ist, die beide axial mit der Mittelachse des aktiven Teils der Membran gefluchtet sind. Die Elektroden sind in einer der Kammern, üblicherweise derjenigen, die das Referenzgas enthält, positioniert. Wird die Membran mit einem Differentialdruck beaufschlagt, biegt sich die Membran relativ zu den beiden Elektroden. Indem die Membran so elektrisch verbunden wird, dass sie als Elektrode fungiert, kann der Differentialdruck als Funktion des Kapazitätsunterschieds zwischen der Membran und der Mittelelektrode und der Kapazität zwischen der Membran und der Ringelektrode gemessen werden. Ist der Referenzdruck bekannt, lässt sich der Messdruck anhand der Kapazitätsmessungen leicht bestimmen.
Der Druckmessbereich des Kapazitätsmanometers bestimmt sich zum Teil nach der Beabstandung der Membran und der Ring- und Mittelelektroden. In der Nullage müssen die Membranoberflächen flach sein und möglichst parallel zu den Ring- und Mittelelektroden. Je niedriger die zu messenden Differentialdruckwerte, desto näher muss die Membran also im Sensorgehäuse relativ zu den Ring- und Mittelelektroden fixiert werden, um einen maximalen Signaldynamikbereich für den betreffenden Druckbereich zu bieten. Hieraus ergibt sich ein noch größeres Bedürfnis nach Parallelität. Folglich wird nach Kräften dafür gesorgt, dass die Membranoberflächen geläppt werden, bevor die Membran innerhalb des Gehäuses fixiert wird, damit sie möglichst planar sind. Ferner muss dafür gesorgt werden, dass die Membran innerhalb des Gehäuses derart fixiert wird, dass die richtige Position und Parallelität relativ zu den Ring- und Mittelelektroden zu gewährleisten. Üblicherweise wird die Membran als Bestandteil der Druckmessuntereinheit des Sensors ausgebildet und anschließend an die Referenzuntereinheit geschweißt, die die Ring- und Mittelelektroden enthält. Durch Festschweißen der Membran kann sich die Membran jedoch verbiegen, was aufgrund schweißungsbedingter Beanspruchung zur Verschiebung des Spalts führen kann. Die Biegung führt also zu einer gewissen Nichtparallelität, denn die Membran ist dann nicht mehr ganz planar. Besonders kritische Bedeutung erlangt dies aufgrund des erforderlichen sehr engen Spalts zwischen Membran und Ring- und Mittelelektroden bei Sensoren, die zur Messung relativ niedriger Differentialdrucke eingesetzt werden.
Verschiedene Schweißverfahren mit reduzierter Beanspruchen sind bekannt, z. B. Elektronenstrahl- und Laserschweißen jedoch sind derartige Techniken relativ teuer zu implementieren. Ein relativ günstiges Verfahren, z. B. WIG-Lichtbogenschweißung (GTAW) oder Plasmaschweißung, führt dazu, dass die Membran stärker beansprucht wird. Ausserdem lässt sich wegen der mit der Fixierung der Membran relativ zum Gehäuse ohne Verformung der Membran verbundenen Schwierigkeiten die Dicke der Membran schwer reduzieren, um diese niedrigeren Drucken anzupassen. Dementsprechend ist es wünschenswert, den Sensor so aufzubauen, dass die Membran innerhalb des Sensorgehäuses fixiert werden kann, und die Flachheit der Membran und der Größe des Spalts zwischen der Membran und den Ring- und mittelelektroden nach der Montage des Sensors dabei in zufriedenstellendem Maße aufrechterhalten werden
Zusammenfassung
Nach einem Aspekt umfasst eine Sensoreinheit eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und eine Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil aufweist. Der ortsfeste Teil der Membran ist an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit fixiert; und es ist im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit fixiert ist, und dem aktiven Teil mindestens eine Rille ausgebildet, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten.
Nach einem weiteren Aspekt ist eine Kapazitätssensoreinheit derart angeordnet, dass sie einen Druck relativ zu einem Referenzdruck misst. Die Kapazitätssensoreinheit umfasst: eine Gehäuseeinheit; eine relativ zur Gehäuseeinheit ortsfest fixierte Elektrodenanordnung; sowie eine flexible Membran, die (a) einen aktiven Teil und (b) einen an einer oder mehreren Stellen relativ zur Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil aufweist. Die Gehäuseeinheit untersützt die Membran und die Elektrodenanordnung in einem bestimmten Abstand zueinander, so dass sich der aktive Teil der Membran relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Membranteils angewandten Differenzialdruck auslenkt. Die Membran umfasst mindestens eine Rille zwischen den Stellen, an denen die flexible Membran relativ zur Gehäuseeinheit und zum aktiven Teil fixert ist, um eine etwaige Beanspruchen des aktiven Membranteils zu entlasten.
Nach einem weiteren Aspekt wird ein Verfahren zum Aufbau einer Sensoreinheit bereitgestellt, die eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und eine Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil umfasst. Das Verfahren umfasst das Fixieren des ortsfesten Membranteils an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit; und das Bilden mindestens einer Rille im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit fixiert ist, und dem aktiven Teil mindestens eine Rille ausgebildet, um eine Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten.
Allgemeine Beschreibung der Zeichnungen
Es wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, in denen Elemente mit denselben Referenzbezeichnungen durchgehend gleiche Elemente darstellen.
Die 1 zeigt den Querschnitt einer Ausführungsform einer Kapazitätssensoreinheit mit verbesserter Struktur.
2 ist eine Draufsicht einer Ausführungsform eines in der Ausführungsform der 1 eingesetzten Abstandshalters.
Ausführliche Beschreibung der Zeichnungen
Unter Bezugnahme auf 1 wird eine Ausführungsform der Sensoreinheit 10 zur Messung eines Drucks relativ zu einem Referenzdruck eingesetzt. Die Kapazitätssensoreinheit 10 umfasst eine Gehäuseeinheit 12. Die Gehäuseeinheit 12 umfasst mindestens zwei Unterbaugruppen, und zwar die Messuntereinheit 14 und die Referenzuntereinheit 16. Die Unterbaugrupe 14 umfasst einen zylindrischen Teil 18, der eine Öffnung 20 an einem Ende zum Empfang des Gases, dessen Druck zu messen ist, und die Membran 22 am anderen Ende aufweist. Der vom Teil 18, der Öffnung 20 und der Membran 22 abgegrenzte Raum grenzt eine Messkammer 24 ab, die das Gas, dessen Druck zu messen ist, enthält. Die zweite Referenzuntereinheit 16 umfasst einen zylindrischen Teil 26, der eine Endplatte 28 aufweist, die wiederum eine erste Öffnung 30 zur Aufnahme eines Einlassrohres 32, eine zweite Öffnung 34 zur Aufnahme der Elektrodenanordnung, die eine Mittel- 36 und eine Ringelektrode 38 umfasst, und ein (in gestrichelten Linien dargestelltes) Getter 40 umfasst. Der zylindrische Teil 26 und die Endplatte 28 bilden eine am gegenüberliegenden Ende von der Membran 22 abgeschlossene Referenzgaskammer 42, wenn sie an der ersten Gehäuseuntereinheit fixiert sind. Das Einlassrohr 32 wird innerhalb der Endplatte 28 derart verschlossen, dass Gas über das Rohr in die Referenzgaskammer 38 eingeführt und daraus entnommen werden kann. Das Referenzgas kann einen vordefinierten Referenzdruck aufweisen; in diesem Fall kann das Rohr verschlossen werden, sobald der Referenzdruck eingerichtet worden ist. Alternativ kann das Referenzgas den Umgebungsdruck aufweisen; in diesem Fall bleibt das Rohr offen. Die Elektroden 36 und 38 können mit einem geeigneten elektrisch isolierenden Abdichtungsmaterial 44 (z. B. Glas, Keramik, usw.) ortsfest fixiert werden, so dass sie relativ zum aktiven Teil der Membran und zueinander richtig positioniert sind. Ein Abstandshalter 46 liegt typischerweise in Form eines zwischen der Membran und den Elektroden angeordneten Rings vor, so dass die Elektroden 36 und 38 jeweils in einem vorbestimmten Abstand zu einer Seite der Membran 22 stehen.
Die Membran 22 ist derart ortsfest fixiert, dass die Messgaskammer 24 und die Referengaskammer 42 voneinander abgedichtet sind. Ferner ist der äußere Teil der Membran 22 relativ zur Gehäuseeinheit 14 fixiert, während der mittlere Teil 48 der Membran 22 gegenüber den Elektroden ein aktiver Teil ist, der sich in einem dem auf gegenüberliegende Seiten der Membran 22 angewandten Differentialdruck entsprechenden Grad auslenkt.
Indem die Membran so elektrisch verbunden wird, dass sie als Elektrode fungiert, kann der Differentialdruck als Funktion des Kapazitätsunterschieds zwischen dem aktiven Teil 48 der Membran 22 und der Mittelelektrode und der Kapazität zwischen der Membran 22 und der Ringelektrode 38 gemessen werden. Aus diesem Grund sollte der aktive Bereich 48 der Membran, die Mittelelektrode 36 und die Ringelektrode 38 derart fixiert werden, dass sie koaxial miteinander gefluchtet sind; die Membran 22 muss möglichst flach sein, um zutreffende Kapazitätsmessungen relativ zu den beiden Elektroden zu ergeben.
Während der Montage wird die Membran 22 an die Gehäuseeinheit 12 derart fixiert, dass die Membran an ihren peripheren Kanten 50 mit einem beliebigen geeigneten Mittel, z. B. Schweißen, ortsfest fixiert ist. Die gleiche Schweißung kann zur Fixierung des Abstandhalters 46 und der beiden Unterbaugruppen 14 und 16 eingesetzt werden. Die Membran 22 sollte derart angebunden werden, dass die Messgaskammer 24 und die Referenzgaskammer 42 voneinander isoliert sind, so dass die Kammern bei einem von der jeweils anderen unabhängigen Druck gehalten werden können. Während des Schweißverfahrens werden mechanische Belastungen üblicherwiese in die Membran eingebracht, was dazu führt, dass der aktive Teil 48 der Membran 22 in seiner Flachheit gestört wird. Dadurch können sich natürlich Fehler in die Kapazitätsmessungen, und somit auch die Druckmessungen einschleichen.
Dementsprechend ist es wünschenswert, die Sensoreinheit 10 so aufzubauen, dass die Membran 22 deren Flachheit auch nach der Fixierung relativ zur Gehäuseeinheit 12 beibehält. Konkreter ausgedrückt ist die Sensoreinheit derart aufgebaut, dass sie eine Struktur zum Ausgleich der mechanischen Beanspruchung im aktiven Teil 48 der Membran 22 nach dem Festschweißen der Membran umfasst. In der dargestellten Ausführungsform wird die mechanische Beanspruchung dadurch ausgeglichen, dass eine Rille 52 in der Membran 22 zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit 10 und zum aktiven Teil 48 der Membran 22 fixiert ist, gebildet wird. In der beschriebenen Ausführungsform ist der gesamte periphere Teil der Membran derart fixiert, dass die Rille 52 ringförmig um die gesamte Membran herum verläuft. Die Rillentiefe sollte ausreichen, um dafür zu sorgen, dass Beanspruchungen durch die Rille aufgenommen werden, ohne das sie auf den aktiven Teil der Membran einwirken. Es ist empirisch festgestellt worden, dass ein Tiefe-Breite-Verhältnis der Rille von mindestens (etwa) 5:1 die besten Ergebnisse liefert; dies kann jedoch variieren. Die Rille 52 ist in Fluidverbindung mit einer der Kammer, wobei die abgebildete Ausführungsform eine mit der Referenzgaskammer 42 in Fluidverbindung stehende Rille zeigt. Dies führt zu einem Differentialdruck zwischen dem Gas in der Rille 52 und dem Gas in der Messkammer 24, wenn ein Differentialdruck auf gegenüberliegenden Seiten der Membran 22 vorliegt. Dementsprechend sollte die Wand 54 zwischen der Rille 52 und der Messgaskammer 24 dick genug sein, um steif zu bleiben, wenn der Differentialdruck den höchsten Wert erreicht, für den der Sensor konstruiert ist.
Der als Ring dargestellte Abstandshalter 46 ist derart konstruiert, dass er die Fluidverbindung zwischen der Rille 52 und der Referenzgaskammer 42 gewährleistet. Dies kann dadurch erreicht werden, dass entweder der Innendurchmesser des Rings größer ist als der Durchmesser der Rille, oder dass Öffnungen oder Rillen im Ring ausgebildet werden, die mit einem oder mehreren Teilen der in 2 dargestellten ringförmigen Rille gefluchtet sind, wo ein Abstandshalter gezeigt wird, der am Innenteil des Rings ausgebildete Rillen 56 aufweist.
Hierbei ist anzumerken, dass durch die Konstruktion der Kapazitätssensoreinheit zum Ausgleich der auf die Membran einwirkenden mechanischen Beanspruchen die Membran in einem beliebigen Verfahren relativ zum Gehäuse fixiert wird, und zwar gleichgültig, wieviel mechanische Beanspruchung anfangs erzeugt wird. Dementsprechen können auch kostengünstigere Verfahren wie z. B. GTAW oder Plasmaschweißen verwendet werden, um die Herstellungskosten des Sensors zu reduzieren.
Die erfindungsgemäße neue, verbesserte Kapazitätssensoreinheit und das erfindungsgemäße Verfahren umfasst mindestens einer der nachfolgenden Patentansprüche. Kein Element des vorliegend offenbarten Systems und Verfahrens soll vom Anspruchsumfang ausgeschlossen werden, noch sollen sie unbedingt die Auslegung der Patentansprüche einschränken. In den vorliegenden Patentansprüchen ist unter dem Singular nicht ”eins und nur eins”, sondern ”eins oder mehr” zu verstehen, sofern nichts anderes ausdrücklich bestimmt ist. Alle den Elementen der vorliegend beschriebenen Ausführungsformen strukturell und funktionell äquivalente Elemente, die dem Fachmann bekannt sind bzw. werden, gelten ausdrücklich als Bestandteil der vorliegenden Anmeldung und gelten als von den Patentansprüchen umfasst. Ferner ist keines der vorliegend offenbarten Elemente für die Öffentlichkeit bestimmt, und zwar gleichgültig, ob eine derartige Offenbarung ausdrücklich in den Patentansprüchen steht. Kein Element eines Patentanspruchs ist nach den Bestimmungen des 35 USC § 112 Abs. 6 auszulegen, sofern das Element nicht ausdrücklich unter Verwendung des Ausdrucks ”Mittel für/zu” (”means for”) oder im Falle eines Verfahrensanspruchs des Ausdrucks ”Schritt für” (”step for”) gefasst ist.

Claims

Kapazitätssensoreinheit, die zur Messung eines Drucks relativ zu einem Referenzdruck angeordnet ist, umfassend: eine Gehäuseeinheit; eine relativ zur Gehäuseeinheit ortsfest fixierte Elektrodenanordnung; und eine flexible Membran, die (a) einen aktiven Teil und (b) einen an einer oder mehreren Stellen relativ zur Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil aufweist. wobei die Gehäuseeinheit die Membran und die Elektrodenanordnung in einem bestimmten Abstand zueinander hält, so dass sich der aktive Teil der Membran relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Membranteils angewandten Differenzialdruck auslenkt; und wobei die Membran mindestens eine Rille zwischen den Stellen, an denen die flexible Membran relativ zur Gehäuseeinheit und zum aktiven Teil fixert ist, umfasst, um eine etwaige Beanspruchen des aktiven Membranteils zu entlasten.
Kapazitätssensor nach Anspruch 1, wobei die Rille mit einer Seite des aktiven Membranteils in Fluidverbindung steht.
Kapazitätssensor nach Anspruch 2, wobei die Gehäuseeinheit derart aufgebaut ist, dass sie auf einer Seite des aktiven Teils der Membran eine Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzgases und auf der anderen Seite des aktiven Teils eine Messkammer zur Aufnahme des Gases, dessen Druck relativ zum Referenzgas zu messen ist, aufweist.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 3, wobei das Referenzgas unter Umgebungsdruck steht, ferner umfassend einen Eintritt zur Einführung eines Gases in die Referenzkammer unter Umgebungsdruck.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 3, wobei das Referenzgas unter einem vorbestimmten Druck steht, ferner umfassend einen Eintritt zur Einführung eines Gases in die Referenzkammer unter einem Referenzdruck.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 3, wobei die Referenz- und Messkammern einander gegenüber verschlossen sind.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 6, wobei die Elektrodenanordnung innerhalb der Referenzkammer fixiert ist.
Kapazitätssensor nach Anspruch 7, wobei die Elektrodenanordnung eine jeweils in einem vorbestimmten Abstand zum aktiven Teil der Membran angeordnete Ring- und eine Mittelelektrode umfasst.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 3, wobei die Rille mit der Referenzkammer in Fluidverbindung steht.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 1, ferner umfassend einen relativ zur Membran und zur Elektrodenanordnung zur Aufrechterhaltung des vorbestimmten Abstandes zwischen der Membran und der Elektrodenanordnung fixierten Abstandsring, so dass sich der aktive Teil über einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Teils der Membran angewandten vorbestimmten Differentialdruckbereich relativ zur Elektrodenanordnung auslenkt.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 10, wobei der Abstandshalter derart ausgebildet ist, dass mindestens ein Teil der Rille der Membran mit einer Seite des aktiven Teils der Membran in Fluidverbindung steht.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 11, wobei die Rille der Membran und die eine Seite des aktiven Teils der Membran ein Referenzgas aufnehmen.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 12, wobei das Referenzgas unter Umgebungsdruck steht.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 12, wobei das Referenzgas unter einem Referenzdruck steht.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 11, wobei der Abstandshalter eine Mehrzahl Rillen umfasst, von denen jede mit der Membranrille derart gefluchtet ist, dass eine Fluidverbindung zwischen der Rille und einer Kammerermöglicht wird.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 1, wobei die Membran um den ganzen ortsfesten Teil der Membran an der Gehäuseeinheit fixiert ist, und die Rille in der Membran eine ringförmige Rille ist.
Kapazitätssensoreinheit nach Anspruch 16, ferner umfassend einen relativ zur Membran und zur Elektrodenanordnung zur Aufrechterhaltung des vorfestgelegten Abstandes zwischen der Membran und der Elektrodeneinheit fixierten Abstandsring, so dass sich der aktive Teil über einen auf gegenüberliegende Seiten des aktiven Teils der Membran angewandten vorbestimmten Differentialdruckbereich relativ zur Elektrodenanordnung auslenkt, wobei der Abstandshalter eine Mehrzahl Rillen aufweist, von denen jede mit der ringförmigen Rille der Membran gefluchtet ist, so dass die Rille der Membran mit einer Seite des aktiven Teils der Membran in Fluidverbindung steht.
Verfahren zur Konstruktion einer Sensoreinheit, vom Typ umfassend eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und einer Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil aufweist, wobei das Verfahren umfasst: Fixieren des ortsfesten Teils der Membran an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit; und Bilden mindestens einer Rille im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit und zum aktiven Teil fixert ist, umfasst, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Teils der Membran zu entlasten.
Verfahren nach Anspruch 18, wobei das Fixieren des ortsfesten Teils der Membran das Schweißen des ortsfesten Teils der Membran an einen Teil der Gehäuseeinheit umfasst.
Verfahren nach Anspruch 18, wobei das Bilden mindestens einer Rille das Bearbeiten der Rille im ortsfesten Teil der Membran im EDM-Verfahren, nachdem die Membran fixiert ist, umfasst.
Verfahren nach Anspruch 18, ferner umfassend das Fixieren eines Abstandsrings zwischen der Elektrodenanordnung und der Membran, um den Spalt zwischen dem aktiven Teil der Membran und der Elektrodenanordnung zu fixieren.
Verfahren nach Anspruch 21, ferner umfassend das Bilden mindestens einer Rille im Abstandshalter, damit die Rille im Abstandshalter mit der Rille in der Membran derart gefluchtet ist, dass die Rille in der Membran mit einer Seite der Membran in Fluidverbindung steht.
Sensoreinheit, umfassend: eine Gehäuseeinheit; eine Elektrodenanordnung und eine Membran, die einen an der Gehäuseeinheit fixierten ortsfesten Teil sowie einen relativ zur Elektrodenanordnung als Reaktion auf einen auf gegenüberliegende Seiten der Membran angewandten Differenzialdruck beweglichen aktiven Teil aufweist; wobei der ortsfeste Teil der Membran an einer oder mehreren Stellen relativ zu mindestens einem Teil der Gehäuseeinheit fixiert ist; und und mindestens eine Rille im ortsfesten Teil der Membran zwischen den Stellen, an denen die Membran relativ zur Gehäuseeinheit und zum aktiven Teil fixert ist, gebildet wird, um eine etwaige Beanspruchung des aktiven Membranteils zu entlasten.