KR100956616B1 - 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치 및 압력 측정 방법 - Google Patents

다이아프램을 이용한 압력 측정 장치 및 압력 측정 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다이아프램을 이용한 정전용량형 압력 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내부에 다이아프램이 설치되는 센서 하우징에 압력 가변용기를 고정 설치함으로써 게터 펌프 없이 대기압 이하의 압력을 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 대기압 이상의 압력도 측정할 수 있는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치에 관한 것이다.
다이아프램, 정전용량, 압력, 전극, 압력 가변용기

Description

다이아프램을 이용한 압력 측정 장치 및 압력 측정 방법{Apparatus for measuring pressure by using diaphragm and method of pressure measurement by using diaphragm}
본 발명은 다이아프램을 이용한 정전용량형 압력 측정 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내부에 다이아프램이 설치되는 센서 하우징에 압력 가변용기를 고정 설치함으로써 게터 펌프 없이 대기압 이하의 압력을 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 대기압 이상의 압력도 측정할 수 있는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 상기한 압력 측정 장치를 이용한 압력 측정 방법에 관한 것이다.
도1은 종래의 다이아프램을 이용한 정전용량형 압력 측정 장치에 관한 구성도를 나타낸다.
도1을 참조하면 종래기술은 센서 하우징(12)을 가진다. 센서 하우징(12)에는 제1 개방관(12-1)과 제2 개방관(12-2)이 형성된다.
도1을 참조하면 센서 하우징(12)에는 전극기판(14)이 형성되고, 전극기판(14)에는 전극(14T)이 부착된다. 제1 개방관(12-1)과 제2 개방관(12-2)이 상호 연통하도록 전극기판(14)에는 관통공(도면 미도시)이 형성된다. 또한 전극기판(14)과 제1 개방관(12-1) 사이에는 전극기판(14)와 제1 개방관(12-1)을 공간적으로 차단시키도록 다이아프램(16)이 고정 설치된다. 다이아프램(16)은 외주면이 센서 하우징(12)의 내측벽에 고정 설치된다. 다이아프램(16)은 탄성물질의 도체이다.
도1을 참조하면 제2 개방관(12-2)에는 게터펌프(18)가 설치되어 다이아프램(16)과 제2 개방관 사이의 공간을 진공 상태로 만든다. 게터펌프(18)는 사실상 펌프라기 보다는 화학반응을 통하여 가스를 흡착 및 제거함으로써 압력을 떨어뜨리는 가스 제거제로서 Zr(Zirconium), Ti(Thallium) 등일 수 있다.
종래기술은 제1 개방관(12-1)이 진공압력보다 높은 측정대상 영역에 위치할 때 다이아프램(16)이 전극(14T)을 향하여 볼록하게 휨으로써 전극(14T)과 다이아프램(16) 사이의 정전용량이 변하고, 이러한 정전용량의 변화를 통하여 제1 개방관(12-1)이 위치한 측정대상 영역의 압력을 측정하였다.
그러나, 종래기술은 게터펌프(18)를 구성하는 가스 제거제가 소모되는 경우 이를 교체하는데 불편한 점이 있다.
또한, 종래기술은 측정대상 영역의 압력이 게터펌프(12-2)가 위치한 쪽의 압력인 진공 압력 보다 크게 높은 상압인 경우 다이아프램(16)의 탄성 변형량과 관련된 한계점으로 인하여 측정대상 영역의 압력을 측정하기 어려운 단점이 있었다.
본 발명은 게터펌프 없이 진공 압력 및 대기압 보다 높은 상압의 압력을 용이하게 측정할 수 있는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치를 제공하고자 한다.
본 발명은 제1 개방구와 제2 개방구가 형성되는 센서 하우징과, 상기 제1 개방구와 제2 개방구가 공간적으로 상호 차단되도록 상기 제1 개방구와 제2 개방구 사이에 설치되며 도전부가 구비되는 다이아프램과, 상기 제2 개방구와 다이아프램 사이에 유로가 형성되도록 관통공이 형성되며 상기 제2 개방구와 다이아프램 사이에 설치되는 전극기판과, 상기 다이아프램에 직면하도록 상기 전극기판에 부착되는 전극을 포함하는 다이아프램 센서; 및 제3 개방구 및 제4 개방구가 형성되고, 상기 제2 개방구가 상기 제3 개방구에 연통되도록 상기 센서 하우징이 고정되는 압력 가변용기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치에 관한 것이다.
본 발명은 상기 제4 개방구를 개폐하는 게이트 밸브; 상기 압력 가변용기에 유입되는 가스량을 조절하기 위한 가스 유량조절 밸브가 구비되며 상기 압력 가변용기에 연결되는 가스 유입관; 상기 게이트 밸브에 의한 상기 압력 가변용기 폐쇄시 상기 압력 가변용기 내부 압력 측정을 위한 용기 압력 측정 게이지;를 포함할 수 있고, 상기 다이아프램이 상기 제1 개방구에 접촉하지 않고 상기 제1 개방구를 향하여 볼록하게 휠 수 있도록 상기 다이아프램은 상기 제1 개방구로부터 소정거리 이격되어 설치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 센서 하우징은 상기 압력 가변용기에 밀착 고정되도록 플랜지부가 형성되기도 한다.
본 발명은 상기 압력 측정 장치를 이용한 압력측정 방법으로서, 상기 게이트 밸브의 작동에 의하여 상기 제4 개방구를 폐쇄하는 단계; 상기 가스 유입관을 통하여 상기 압력 가변용기에 가스를 유입시키는 단계; 상기 가스 유량조절 밸브를 이용하여 상기 압력 가변용기의 내부를 일정 압력으로 조절하는 압력조절단계; 상기 제1 개방구를 상기 압력조절단계에서 조절된 압력 가변용기 내부 압력보다 높은 압력측정 공간에 위치시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 방법에 관한 것이기도 하다.
본 발명에 따른 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치는 게터펌프 없이 진공 압력 및 대기압 보다 높은 압력을 용이하게 측정할 수 있는 장점이 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 대하여 상세히 설명한다.
실시예1
실시예1은 본 발명에 따른 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치에 관한 것이다. 도2는 실시예1의 개략적 구성도를, 도3은 도1의 다이아프램 센서의 상세도를, 도4는 도3의 전극기판의 상세도를 나타낸다.
도2를 참조하면 실시예1은 다이아프램 센서(110)와 압력 가변용기(122)를 가진다.
도2 및 도3을 참조하면 다이아프램 센서(110)는 센서 하우징(112), 전극기판(114), 전극(114T), 전극라인(114L), 다이아프램(116) 및 신호처리부(118)를 포함한다.
도2 및 도3을 참조하면 센서 하우징(112)에는 제1 개방구(도면부호 미부여)에 연통하는 제1 개방관(112-1)이 형성되고, 제2 개방구(도면부호 미부여)에 연통하는 제2 개방관(112-2)이 형성된다.
도3을 참조하면 다이아프램(116)은 제1 개방구(도면부호 미부여)와 제2 개방구(도면부호 미부여) 사이에 설치되는데, 제1 개방구(도면부호 미부여)와 제2 개방구(도면부호 미부여)가 공간적으로 상호 차단되도록 그 외측면이 센서 하우징(112) 내측면에 고정 설치된다. 다이아프램(116)은 제2 개방구(도면부호 미부여) 쪽으로 만 탄성 변형되도록 제1 개방구(도면부호 미부여)가 형성되는 측벽에 접촉하며 고정될 수 있다. 이때 용접에 의하여 다이아프램(116)의 외측면이 센서 하우징(112) 내측면에 고정 설치될 수 있다. 한편, 본 발명의 경우 다이아프램(116)에는 도전체가 구비되어야 하는데, 실시예1의 경우 다이아프램(116) 자체가 탄성재질의 금속박판으로 형성된다.
도3을 참조하면 전극기판(114)은 제2 개방구(도면부호 미부여)와 다이아프램(116) 사이에 설치된다. 도4를 함께 참조하면 한편 전극기판(114)에는 좌우측을 관통하는 다수개의 관통공(114H)이 형성된다. 관통공(114H)은 제2 개방구(도면부호 미부여)와 전극기판(114) 사이의 공간 및 전극기판(114)과 다이아프램(116) 사이의 공간이 상호 연통되도록 하기 위한 것이다.
도3 및 도4를 참조하면 전극기판(114)에는 전극(114T)이 부착된다. 전극(114T)은 전극기판(114)의 중앙부에 부착되는데, 전극기판(114) 중 다이아프램(116)에 직면하는 면에 부착된다. 전극기판(114)은 절연성 물질로 형성된다.
도3를 참조하면 전극(114T)에는 전극라인(114L)이 연결된다. 전극라인(114L)은 신호처리부(118)에 연결된다. 신호처리부(118)는 전극라인(114L)으로부터 입력되는 신호에 따라 압력을 표시하기 위한 장치이다.
도1을 참조하면 압력 가변용기(122)에는 센서 하우징(112)의 제2 개방관(112-2)이 끼워지는 제3 개방구(도면부호 미부여)가 형성된다. 즉, 센서 하우징(112)은 제2 개방관(112-2)이 제3 개방구(도면부호 미부여)에 끼워짐으로써 다이아프램(116) 좌측 공간이 압력 가변용기(122)에 연통된다. 한편, 압력 가변용기(122)와 제2 개방관(112-2) 사이의 밀봉을 위하여 제2 개방관(112-2) 외주면과 제3 개방구(도면부호 미부여) 내측면 사이에는 실리콘 등과 같은 밀봉재가 부착될 수 있다. 또한, 센서 하우징(112)에는 압력 가변용기(122)와 제2 개방관(112-2) 사이의 밀봉을 돕는 한편 센서 하우징(112)을 압력 가변용기(122)에 부착시키기 위하여 플랜지부(112F, 도3 참조)가 형성될 수 있다.
도1을 참조하면 압력 가변용기(122)에는 제4 개방구(도면부호 미부여)에 연통하는 제4 개방관(122-4)이 형성된다. 제4 개방관(122-4)에는 제4 개방구(도면부호 미부여)를 개폐하는 게이트 밸브(122-4V)가 구비된다.
도1을 참조하면 압력 가변용기(122)에는 가스 유입관(122-5)이 연결된다. 가 스 유입관(122-5)은 압력 가변용기(122)에 가스를 유입하기 위한 유입관이다. 가스 유입관(122-5)에는 압력 가변용기(122)에 유입되는 가스량을 조절하기 위한 가스 유량조절 밸브(122-5V)가 구비된다. 한편, 가스 유입관(122-5)에는 가스 저장조(130)가 연결된다.
도1을 참조하면 압력 가변용기(122)에는 용기 압력 측정 게이지(140)가 설치된다. 용기 압력 측정 게이지(140)를 이용하여 게이트 밸브(122-4V)에 의한 압력 가변용기(122) 폐쇄시 압력 가변용기(122) 내부 압력을 측정할 수 있다.
이하, 상기한 일실시예의 작동에 대하여 설명한다.
도3을 참조하면 전극(114T)은 다이아프램(116)과의 사이에 정전용량 C를 띤다. 정전용량 C는 전극(114T)과 다이아프램(116) 사이의 거리에 따라 변한다. 전극(114T)과 다이아프램(116) 사이의 거리에 따른 정전용량 C는 아래의 수학식1과 같다.
C = εA/D
여기서, C는 전극(114T)과 다이아프램(116) 사이의 정전용량, ε은 유전율, A는 전극의 면적, D는 전극(114T)과 다이아프램(116) 사이의 거리이다.
다이아프램(116)은 탄성물질이으로 제1 개방관(112-1)이 위치한 영역의 압력이 압력 가변용기(122) 내부의 압력 보다 크면 전극기판(114) 쪽으로 휘게 된다. 도1에는 이러한 상태가 표시되어 있다. 한편 전극라인(114L)에 연결된 신호처리부(118)를 통하여 전극(114T)과 다이아프램(116) 사이의 거리에 변화에 따른 정전 용량 C의 변화 및 측정 대상이 되는 영역의 압력을 측정할 수 있다.
(1)측정 대상이 되는 영역의 압력이 대기압 이하인 경우
제1 개방관(112-1)을 대기압 영역하에 위치시키고, 게이트 밸브(122-4V)를 열어 제4 개방관(122-4)을 측정 대상이 되는 영역에 위치시킨다. 이때, 제1 개방관(112-1)이 위치한 영역의 압력을 P1, 측정 대상이되는 영역의 압력을 P4라 하면 P1>P4이므로 다이아프램(116)은 전극기판(114) 쪽을 향하여 볼록하게 휘게 되고, 따라서 전극(114T)과 다이아프램(116) 사이의 정전용량 C가 변하게 되므로, 신호처리부(118)를 통하여 압력 P4를 측정할 수 있다.
(2)측정 대상이 되는 영역의 압력이 대기압 이상인 경우
제1 개방관(112-1)을 측정 대상 영역하에 위치시키고, 게이트 밸브(122-4V)를 닫는다. 이어서 가스 유입관(122-5)을 통하여 압력 가변용기(122)에 가스를 주입시킨다. 이어서 용기 압력 측정 게이지(140)를 통하여 압력 가변용기(122) 내의 압력이 대기압 상태에 이르면 가스 유량 조절 밸브(122-5)를 닫는다. 만약 압력 가변용기(122) 내의 압력이 대기압 초과상태에 이르면 게이트 밸브(122-4V) 열어 압력 가변용기(122) 내의 압력을 대기압 상태에 이르게 한다. 이때, 측정 대상이 되는 영역의 압력을 P1, 압력 가변용기(122) 내의 압력을 P4라 하면 P1>P4이므로 다이아프램(116)은 전극기판(114) 쪽을 향하여 볼록하게 휘게 되고, 따라서 전극(114T)과 다이아프램(116) 사이의 정전용량 C가 변하게 되므로, 신호처리부(118)를 통하 여 압력 P1을 측정할 수 있다.
실시예1은 센서 하우징(112)의 제1 개방관(112-1)을 대기압하에 위치시키고 압력 가변용기(122)의 제4 개방관(122-4)을 압력 측정 대상 영역에 위치시킴으로써 대기압 보다 낮은 압력을 측정할 수 있다. 또한 다른 한편으로 압력 가변용기(122)의 내부 압력을 대기압으로 유지한 상태에서 센서 하우징(112)의 제1 개방관(112-1)을 압력 측정 대상 영역에 위치시킴으로써 대기압 보다 높은 압력을 측정할 수 있다.
한편, 실시예1은 이에 제한되는 것은 아니다. 실시예1은 다이아프램(116)이 센서 하우징(112)의 제1 개방구(도면부호 미부여) 쪽으로도 볼록하게 휠 수 있도록 다이아프램(116)을 센서 하우징(112)의 제1 개방구(도면부호 미부여)로부터 소정거리 이격되게 설치할 수 있다. 이 경우 센서 하우징(112)의 제1 개방관(112-1)을 대기압하에 위치시키고, 압력 가변용기(122)의 제4 개방관(122-4)을 압력 측정 대상 영역에 위치시킴으로써 대기압 보다 높은 압력을 측정할 수 있다. 이 가스 유입관(122-5) 및 용기 압력 측정 게이지(140)은 구비되지 않을 수 있다.
실시예2
실시예2는 실시예1을 이용한 압력 측정 방법에 관한 것이다. 도5는 실시예2의 흐름도를 나타낸다.
도5를 참조하면 실시예2는 제4 개방구 폐쇄단계(S10), 가스주입단계(S20), 압력 가변 용기 압력조절단계(S30) 및 압력측정단계(S40)를 가진다.
도1을 참조하면 제4 개방구 폐쇄단계(S10)에서는 게이트 밸브(122-4V)를 작동하여 제4 개방구(도면 미도시)를 폐쇄시킨다.
도1을 참조하면 가스주입단계(S20)에서는 가스 유입관(122-5)을 통하여 압력 가변용기(122)에 가스를 유입시킨다. 가스주입단계(S20)에서는 가스 유량조절밸브(122-5V)가 개방된다.
도1을 참조하면 압력 가변 용기 압력조절단계(S30)에서는 압력 가변용기(122)의 내부 압력이 일정한 압력, 이를테면 대기압으로 유지된다. 압력 가변용기(122)의 내부 압력이 미리 설정된 일정 압력, 이를테면 대기압에 도달하면 가스 유량조절밸브(122-5V)를 폐쇄시킨다.
도1 및 도2를 참조하면 압력측정단계(S40)에서는 제1 개방관(112-1)을 압력측정 공간에 위치시켜 신호처리부(118)를 통하여 압력측정 영역의 압력 P1을 측정한다. 이때, 압력측정 영역의 압력 P1은 압력 가변 용기 압력조절단계(S30)에서 조절된 압력 가변용기(122)의 내부 압력 P4보다 높다.
도1은 종래의 다이아프램을 이용한 정전용량형 압력 측정 장치에 관한 구성도.
도2는 실시예1의 개략적 구성도.
도3은 도1의 다이아프램 센서의 상세도.
도4는 도3의 전극기판의 상세도.
도5는 실시예2의 흐름도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110:다이아프램 센서 112:센서 하우징
112-1:제1 개방관 112-2:제2 개방관
112F:플랜지부
114:전극기판 114T:전극
114L:전극라인 114H:관통공
116:다이아프램 118:신호처리부
122:압력 가변용기 122-4:제4 개방관
122-4V:게이트 밸브 122-5:가스 유입관
122-5V:가스 유량조절 밸브
130:가스 저장조 140:용기 압력 측정 게이지

Claims (5)

  1. 제1 개방구와 제2 개방구가 형성되는 센서 하우징과, 상기 제1 개방구와 제2 개방구가 공간적으로 상호 차단되도록 상기 제1 개방구와 제2 개방구 사이에 설치되며 도전부가 구비되는 다이아프램과, 상기 제2 개방구와 다이아프램 사이에 유로가 형성되도록 관통공이 형성되며 상기 제2 개방구와 다이아프램 사이에 설치되는 전극기판과, 상기 다이아프램에 직면하도록 상기 전극기판에 부착되는 전극을 포함하는 다이아프램 센서;
    제3 개방구 및 제4 개방구가 형성되고, 상기 제2 개방구가 상기 제3 개방구에 연통되도록 상기 센서 하우징이 고정되는 압력 가변용기;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제4 개방구를 개폐하는 게이트 밸브;
    상기 압력 가변용기에 유입되는 가스량을 조절하기 위한 가스 유량조절 밸브가 구비되며 상기 압력 가변용기에 연결되는 가스 유입관;
    상기 게이트 밸브에 의한 상기 압력 가변용기 폐쇄시 상기 압력 가변용기 내부 압력 측정을 위한 용기 압력 측정 게이지;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 다이아프램이 상기 제1 개방구에 접촉하지 않고 상기 제1 개방구를 향하여 볼록하게 휠 수 있도록 상기 다이아프램은 상기 제1 개방구로부터 소정거리 이격되어 설치되는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서 하우징은 상기 압력 가변용기에 밀착 고정되도록 플랜지부가 형성되는 것을 특징으로 하는 다이아프램을 이용한 압력 측정 장치.
  5. 제2항의 압력 측정 장치를 이용한 압력측정 방법으로서,
    상기 게이트 밸브의 작동에 의하여 상기 제4 개방구를 폐쇄하는 단계;
    상기 가스 유입관을 통하여 상기 압력 가변용기에 가스를 유입시키는 단계;
    상기 가스 유량조절 밸브를 이용하여 상기 압력 가변용기의 내부를 일정 압력으로 조절하는 압력조절단계;
    상기 제1 개방구를 상기 압력조절단계에서 조절된 압력 가변용기 내부 압력보다 높은 압력측정 공간에 위치시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 측정 방법.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8704538B2 (en) * 2010-07-01 2014-04-22 Mks Instruments, Inc. Capacitance sensors
JP2013011556A (ja) * 2011-06-30 2013-01-17 Md Innovations Kk 隔膜気圧計
DE102018131357A1 (de) * 2018-12-07 2020-06-10 Carl Freudenberg Kg Sensorelement mit Befestigungsabschnitt

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990022985A (ko) * 1995-06-26 1999-03-25 로버트 에프 오브리엔 중력유도 다이아프램 편향형 압력측정장치
JP2000141320A (ja) 1998-11-11 2000-05-23 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 軟質材強化装置
KR20060072529A (ko) * 2004-12-23 2006-06-28 삼성전자주식회사 반도체 제조 설비에 이용되는 정전용량형 압력측정센서

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4578735A (en) * 1984-10-12 1986-03-25 Knecht Thomas A Pressure sensing cell using brittle diaphragm
JPH01269024A (ja) * 1988-04-20 1989-10-26 Seiko Instr Inc 圧力測定装置
JP2002055008A (ja) * 2000-08-11 2002-02-20 Anelva Corp 薄膜ゲッター内蔵型真空センサ
US20070227907A1 (en) * 2006-04-04 2007-10-04 Rajiv Shah Methods and materials for controlling the electrochemistry of analyte sensors
AU2003303439A1 (en) * 2002-12-20 2004-07-22 Applied Materials, Inc. Micromachined intergrated fluid delivery system
JP2006177690A (ja) * 2004-12-21 2006-07-06 Shin Nippon Air Technol Co Ltd 差圧計測装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990022985A (ko) * 1995-06-26 1999-03-25 로버트 에프 오브리엔 중력유도 다이아프램 편향형 압력측정장치
JP2000141320A (ja) 1998-11-11 2000-05-23 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 軟質材強化装置
KR20060072529A (ko) * 2004-12-23 2006-06-28 삼성전자주식회사 반도체 제조 설비에 이용되는 정전용량형 압력측정센서

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