JPH0295832U - - Google Patents

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JPH0295832U
JPH0295832U JP264189U JP264189U JPH0295832U JP H0295832 U JPH0295832 U JP H0295832U JP 264189 U JP264189 U JP 264189U JP 264189 U JP264189 U JP 264189U JP H0295832 U JPH0295832 U JP H0295832U
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plate
bottom plate
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の圧力センサの例の断面図、第
２図はその組立構造を示す説明図、第３図は従来
の圧力センサの例の断面図、第４図は静電容量型
圧力センサにおける出力回路の例の構成図である
。 １…底板、２…ダイヤフラム、３…チツプ絶縁
碍子、４…可動電極板、５ａ，５ｂ…環状スペー
サ、６…固定電極板、７…枠板、８…出力回路実
装基板、９…ヒータ、１０…シールドケース、２
１…固定電極板、２２…可動電極板、２３…ダイ
ヤフラム、２５…固定枠体、３０…シールドケー
ス、Ｐ…圧力、Ｃ…静電容量、ＯＳＣ…可変周波
数発振器、ｆ―Ｖ…ｆＶ変換器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧力導入孔を備えた金属底板と電気的に結
    合したシールドケース内に、該底板に封着されて
    圧力室を形成するダイヤフラムに対して絶縁体を
    介して固着した可動電極板と、該可動電極板に対
    向して平行に支持された固定電極板と、前記の電
    極板間の静電容量の変化を電気信号に変換する出
    力回路実装基板とを設けてなる圧力センサにおい
    て、該底板と該実装基板とがこれらの中間に設け
    た金属枠板の周縁から上下方向に交互に延設され
    た各３個以上の結合腕によつて夫々結合固定され
    、該固定電極板が該底板と該枠板との間に設けら
    れた１対の電気絶縁性環状スペーサによつて挟持
    固定されたことを特徴とする圧力センサ。 (2) 環状スペーサがセラミツクス成形体で形成
    されている請求項(1)記載の圧力センサ。 (3) 絶縁体がセラミツクス成形体で形成されて
    いる請求項(1)または(2)記載の圧力センサ。 (4) 固定電極板の背面にヒータを固着してなる
    請求項(1)ないし(3)のいづれかに記載の圧力セン
    サ。
JP264189U 1989-01-17 1989-01-17 圧力センサ Expired - Lifetime JPH0635156Y2 (ja)

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JPH0295832U true JPH0295832U (ja) 1990-07-31
JPH0635156Y2 JPH0635156Y2 (ja) 1994-09-14

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JP2009532641A (ja) * 2006-04-07 2009-09-10 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 少なくとも１つの圧縮ガスタンクに少なくとも１種のガスを充填する方法、圧縮ガスタンクの開口部に連結するための連結器、および圧縮ガスボンベ装置
JP2013533974A (ja) * 2010-07-01 2013-08-29 エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド 静電容量センサの改善

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