JPS63503505A - 改良された電極間隔を有する音響変換器 - Google Patents

改良された電極間隔を有する音響変換器

Info

Publication number
JPS63503505A
JPS63503505A JP62505679A JP50567987A JPS63503505A JP S63503505 A JPS63503505 A JP S63503505A JP 62505679 A JP62505679 A JP 62505679A JP 50567987 A JP50567987 A JP 50567987A JP S63503505 A JPS63503505 A JP S63503505A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
back electrode
diaphragm
outer box
electret
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62505679A
Other languages
English (en)
Inventor
マダファリ、ピーター エル.
カールソン、エルマー ヴィ.
Original Assignee
ノウルズ エレクトロニクス インコーポレーテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ノウルズ エレクトロニクス インコーポレーテッド filed Critical ノウルズ エレクトロニクス インコーポレーテッド
Publication of JPS63503505A publication Critical patent/JPS63503505A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/01Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R25/00Deaf-aid sets, i.e. electro-acoustic or electro-mechanical hearing aids; Electric tinnitus maskers providing an auditory perception
    • H04R25/60Mounting or interconnection of hearing aid parts, e.g. inside tips, housings or to ossicles
    • H04R25/604Mounting or interconnection of hearing aid parts, e.g. inside tips, housings or to ossicles of acoustic or vibrational transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
  • Preparation Of Compounds By Using Micro-Organisms (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 改良された電極間隔を有する音響変換器l監鬼這1 本発明は、イー、ブイ、カールソン氏及びエム、シー、キリオン氏によって出願 され、本出願と同一の譲受人(本出願の出願人)に譲渡された、発明の名称「改 良されたエレクトレット・アセンブリを有する音響変換器」米国特許第4063 050号に関する。前記開示内容は、参考に本明細書中に織り込まれている。
この発明は、エレクトレット膜(electret film)が形成されてい る背面電極に隣接して位置するダイヤフラムを含む、エレクトレット・アセンブ リを具備する種類の音響変換器(acoustic transducer)  に関する。前記エレクトレット・アセンブリは、外箱の中に装架され、前記ダイ ヤフラムの対向する両側にそれぞれ音響室を形成している。この外箱には、外部 音響信号が、前記音響室に入ることができ、前記ダイヤフラムが、反響可能なチ ャンネルを含む。ダイヤフラムの振動により生成される空気振動が、音響室から 、他の音響室へ移動できる様に開口部が設けられている。
前記エレクトレットは、背面電極に溶着されている誘電膜から成る。前記背面電 極には、前記誘電膜を、ダイヤフラムから選択的に間隔を取るように、外箱に形 成されているサポート・ポストに設けである突起を含む。ダイヤフラム及び背面 電極を含むエレクトレット・アセンブリは、外箱に形成されているサポート・ポ ストに便宜的に装架されている。前記ダイヤフラムは、外箱の内部にわたり延長 し、その外箱を、事実上2個の室に分割している。
前記誘電膜は、適切な電子回路に接続され、それによって、ダイヤフラム及びエ レクトレットの電気音響相互作用が前記音響信号を表わす電気信号を供給できる ようになりでいる0周知のとおり、ダイヤフラムを振動させ、依って、前記音響 室から外部に連結できる音響信号を生成させる、電気信号をエレクトレットに加 えることのできる変換によって、逆操作を行うことができる。
叉qaυ1月 この発明は、上記に引用した米国特許′fS4.oa3.oso号で開示した、 エレクトレット・アセンブリを改良したものである。この発明によれば、ダイヤ フラム及びそれに含まれる誘電膜面はサポート・リングの開口部に装架され、該 リングは、次に、外箱の壁面に装架されている。
帯電固定電極を形成する背面電極及び誘電膜面は、前記サポート・リング内に位 置し、背面電極の端部とダイヤフラムの端部の間には、間隔がとっである。この 間隔は、背面電極と金属蒸着ダイヤフラムとの間の必要としない静電容量を低下 し、可動電極を形成している。また、この間隔は、ダイヤフラム表面と誘電材料 表面との間の空気が、外箱の他の室に逃げるのが可能な手段ともなっている。
図面の簡単な説明 本発明についての前記及びその他の特徴、目的及び効果は、添付図面に図示した とおり、本発明の実施例についてのさらに詳細な下記の記述により明らかである 。
第1図は、本発明に係るエレクトレット変換器の一部が断面の等角斜視図である 。
第2図は、第1図の外箱の一部を除外し、該外箱へのダイヤフラム・サポート・ リングの取付は及び、サポート・リングへの背面電極の取付けを示す外箱の平面 図である。
第3図は、さらに、サポート・リングへの背面電極の取付けを図解している等角 斜視図である。
第4図は、サポート・リング及び背面電極の別の実施例を示す。
久jコと1朋 第1.2及び3図によれば、この発明のエレクトレット変換器は、カップ状外箱 、ケーシングもしくはハウジング12より成り、図示の実施例では、矩形状の壁 面15を有する。
一般的に平面板で構成する合せカバー、又は上部17は、壁面15の上部に適合 して接合し、外箱12を閉じるようになっている。外箱12に設けである音響信 号入力管19は、一般的に、端部壁面15の番号40で示す音響用開口部を経由 して、外箱12の内部、さらに具体的にいえば外箱12に形成されている音響室 20に通じる。エレクトレット変換器アセンブリl↓は、外箱12の中に設置し である。前記変換器アセンブリは、一般的に上記に引用した米国特許第4063 050号に記載の種類のものである。
エレクトレット・アセンブリlユは、外箱12の比較的平坦な底部又は下方表面 に拡張するプレート又は平坦部23を有するダイヤフラム22を含み、下方音響 室2oを構成している。
ダイヤフラム22は、一般的に「マイラーJ (MYLAR)の商標で入手可能 な、ポリエチレンテレフタレート製、もしくは、同等材質のものである。ダイヤ フラム22のプレート部23は、導電性材料の金属被覆層24、該プレート部表 面に蒸着することもできるが、で被覆されている。ダイヤフラム22は、エレク トレット・アセンブリl工の可動電極を構成する。
誕電膜被膜29を有する背面電極28は、サポートリング25に取付けである。
膜板膜29の相対的厚さは、図面では拡大していることに注意を要する。背面電 極28は、丸コーナーで、矩形の形状であり、サポートリング25の矩形状開口 部32に設けである(第2及び第3図参照)。前記背面電極の寸法は、説明上、 サポートリング25の開口部32より、多少小さくなフている。背面電極28は 、エレクトレット・アセンブリ21の固定電極を構成している。
前記サポートリング25も、形状が矩形であり、その外側端部は、外箱12の壁 面15の内側寸法に合致する。このサポートリング25は、例えば、接着材ビー ド43により、壁面15の内側面に固定されている。前記サポートリング25、 背面電極28及びダイヤフラム22によって、外箱12の上部音響家出が画され 、形成されている。
矩形状のサポートリング25の内側は、曲線内側リムを備えた、内側に突き出し ているショルダー30を含み、背面電極28の丸コーナーを受け入れ、又はそれ に一致している。
かくして、背面筒8i28は、サポートリング25の開口部内に位置し、角ショ ルダー30にある接合剤の小塊35で、固定されている。
突出部又は隆起部37が、上記に引用の特許におけるとおり、背面電極28の下 方表面に設けられており、これによフてダイヤフラム22に対して背面電極の相 対的間隔を形成している。突起部37は、外箱12の対面部にある突出部16と 協働し、前記アセンブリを外箱12の内部に位置させる基準となっている。引用 した特許第4063050号で述べたとおり、サポートボスト16が、外箱12 の底部即ち内側下方表面33にあるパターンに設けられた、型押しくぼみ又は別 個のボストとして形成されている。選択したパターン形状のボスト16は背面電 極28の対応する突起37に整列し、外箱12の中でエレクトレット・アセンブ リl↓を支持し、位置決めするのに用いられている。ボスト16は、また、ダイ ヤフラム22と外箱21の底部との間に形成されている音響室20の寸法を画し 、形成している。
アセンブリにおいて、ダイヤフラム22は、背面電極28に隣接して位置してい る。上記に説明したとおり、ダイヤフラムプレート部23と背面電極28の平面 部との間の間隙は、背面電極28の突起37により調節される。背面電極28及 びダイヤフラム22から成るエレクトレット・アセン底部のボスト16に載置さ れ、かくして、上記のとおり、音響室20を形成する。
電子回路を収納又は支持する非導電セラミックプレー1・41が、適切な控え及 び接着又はいづれかにより、外箱12の中に設けられている。プレート41の片 側端部は、比較的剛性の電気端子47.48及び49により外箱12の中に装架 されており、端子の各々は、プレート41に付着した部分及び外箱12の壁面1 5に設けである絶縁板52の端子パッド54まで、接着などにより伸長している 反対側部分を有する。プレート41に付着しである電気端子47.49及び51 の端部も、回路がプレートに装架されている特許第4063050号で開示した とおり、関連電子回路に接続しである。番号51は、端子49と電気的接続を行 うためダイヤフラム22に形成したアース用タブを示す、参照番号52は、端子 49から外箱12までの溶接点を示す0番号45は、プレート41への背面電極 28の接続部を示す。
本発明で重要な事項は、上記に述べたとおり、間隙32が、背面電極28とサポ ートリング25の間に形成されていることである。背面電極28は、サポートリ ング25の開口部33よりも小さくなっている。かくして、背面電極28が、接 着等によりサポートリング25に付着されている角部又は他の選択したサポート 以外で、間隔32は、背面電極及びサポートリングの周りに形成されている。本 発明と対比して、従来の構造では、可動電極を形成するダイヤフラム22の材料 は、背面電極の側面に密接して取り囲んでいる。この接近した間隙は、装置の機 能を分担するダイヤフラム22の可動部23に分路しているコンデンサを形成す る。この寄生コンデンサは、ダイヤフラム22の可動部又は活動部23に電荷を 分配し、関連増幅器への出力として利用する信号電圧を減少する。本発明では、 好ましくない寄生キャパシタンスを下げるため、゛背面電極28の端部、固定電 極とダイヤフラム22、可動電極との間に間隔32が取っである。間隔32は、 また、ダイヤフラム表面と背面電極エレクトレット表面との間に閉塞された空気 を、変換器外箱12のより大きい音響室20Aに逃がす手段となっている。
本発明の2番目の実施例は、第4図に示し、サポートリング25への内側角部3 6八は、90度の角度を形成している。この実施例では背面電極28Aは、また 、サポートリング25Aの開口部よりも小さく、サポートリング25Aの角部3 6Aに一致し、かつ当接するサポートリングの角部にある羽根、又は延長部37 を含んでいる。背面電極28Aは、サポートリング及び背面電極の角部の各々に ある接合剤の小塊35Aによってサポートリング25Aに固定され、間隙32を 形成している。
本発明は、実施例を参照して具体的に示し、記述して来たが、型式及び詳細の様 々な変化は、本発明の趣旨及び範囲から逸脱しないで、行うことができることは 、当該技術分野の専門家が理解できるものである。
国際調査報告

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 (1)上部、底部及び側面壁面を有する外箱と;並びに、 (2)次の(イ)乃至(ホ)の構成要素を含むエレクトレット・アセンブリと; (イ)外周部と可動電極を形成する、中央が振動可能なプレート部とを有するダ イヤフラム、 (ロ)開口部を有し、該外箱に装架されているダイヤフラム・サポート・リング であって、該ダイヤフラムの外周部が該ダイヤフラム・サボート・リンクに装架 可能であるダイヤフラム・サポート・リング、(ハ)該ダイヤフラム・サポート ・リングの開口部に装架されている背面電極であって、該背面電極と該ダイヤフ ラム・サポート・リンクとの間に間隙を形成する背面電極であり、固定電極を形 成する表面を有し、該ダイヤフラムの可動電極と協働して信号を発展させる(t odevelopasigna1)背面電極、(ニ)該エレクトレット・アセン ブリと該外箱の底部との間に形成された1つの音響室、 (ホ)該エレクトレット・アセンブリと該外箱の上部との間に形成された第2の 音響室、 の組合せからなる音響変換器であって、該背面電極とダイヤフラム・サポート・ リングとの間の間隙によって、上記電極間のキャパシタンスを低減し、かつ、該 間隙によって、上記2個の音響室間の空気移動を可能とする音響変換器。 2 (1)上部、底部及び側面壁面を有する外箱と;並びに、 (2)次の(イ)乃至(チ)の構成要素を含むエレクトレット・アセンブリと: (イ)外周部と面上に導電性材料を備え、中央が振動可能な、プレート状部分と を有するダイヤフラム、(ロ)開口部を有し、該外箱に装架されているダイヤフ ラム・サポート・リンクであって、該ダイヤフラムの外周部が該ダイヤフラム・ サポート・リンクに装架可能であるダイヤフラム・サポート・リング、(ハ)該 ダイヤフラム・サポート・リングの開口部に装架されている背面電極であって、 該背面電極と該ダイヤフラム・サポート・リングとの間に少なくとも1つの間隙 を形成する背面電極、 (ニ)エレクトレット材料、 該背面電極は、該エレクトレット材料が配置されている1つの表面を有し、該エ レクトレット材料は該ダイヤフラムと協働して信号を発展させ、(ホ)該外箱の 底部の内側表面の複数のサポート・ポスト、 (へ)該背面電極の表面上の複数の突起部であって、該サポート・ポストと位置 合せされ整列され、エレクトレット・アセンブリを外箱の底部と間隙を設けた関 係をもって外篇内に支持する突起部、 (ト)該エレクトレット・アセンブリと該外箱の底部の内側表面との間に形成さ れた1つの音響室、(チ)該エレクトレット・アセンブリと該外箱の上部との間 に形成された第2の音響室、 の組合せからなる音響変換器であって、該背面電極とエレクトレット材料との間 の間隙によって、これらの間のキャパシタンスを低減し、これにより、該エレク トレット・アセンブリに作用する、好ましくないキャパシタンスを低減し、かつ 該間隙によって、ダイヤフラムとエレクトレット材料との間の空気が、該外箱の 第2の音響室内に逃げるための通路を設けた音響変換器。 3 前記間隙が実質的に、前記背面電極の周りまで延長する請求の範囲第2項に 記載の音響変換器。 4 前記ダイヤフラムは、周辺部にフランジを有し、該フランジは、サポートリ ンクの壁面及び該フランジを該リングに付着させる手段に一致する請求の範囲第 2項に記載の音響変換器。 5 サポートリングは、ルート面又は前記開口部に延長する突出を有し、前記背 面電極は前記ルート面に付着し、該背面電極と前記リングとの間に少くとも1ケ 所の間隙を作る請求の範囲第2項に記載の音響変換器。 6 前記背面電極は、羽根即ち、該背面電極の端部から外側に延長する突出を有 し、該背面電極を前記サポートリングに付着させて、前記の少くとも1ケ所の間 隙を形成している請求の範囲第2項に記載の音響変換器。
JP62505679A 1986-09-15 1987-09-04 改良された電極間隔を有する音響変換器 Pending JPS63503505A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/907,498 US4730283A (en) 1986-09-15 1986-09-15 Acoustic transducer with improved electrode spacing
US907,498 1986-09-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63503505A true JPS63503505A (ja) 1988-12-15

Family

ID=25424198

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62505679A Pending JPS63503505A (ja) 1986-09-15 1987-09-04 改良された電極間隔を有する音響変換器

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4730283A (ja)
JP (1) JPS63503505A (ja)
CA (1) CA1294032C (ja)
CH (1) CH676770A5 (ja)
DE (2) DE3790540T (ja)
DK (1) DK167299B1 (ja)
GB (1) GB2200013B (ja)
NL (1) NL190915C (ja)
WO (1) WO1988002208A1 (ja)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE33718E (en) * 1986-09-15 1991-10-15 Knowles Electronics, Inc. Acoustic transducer with improved electrode spacing
US4867267A (en) * 1987-10-14 1989-09-19 Industrial Research Products, Inc. Hearing aid transducer
JPH02149199A (ja) * 1988-11-30 1990-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd エレクトレットコンデンサマイクロホン
US5101543A (en) * 1990-07-02 1992-04-07 Gentex Corporation Method of making a variable capacitor microphone
NL9101563A (nl) * 1991-09-17 1993-04-16 Microtel Bv Elektroacoustische transducent van het elektreet type.
US5335286A (en) * 1992-02-18 1994-08-02 Knowles Electronics, Inc. Electret assembly
US5450498A (en) * 1993-07-14 1995-09-12 The University Of British Columbia High pressure low impedance electrostatic transducer
US5548658A (en) * 1994-06-06 1996-08-20 Knowles Electronics, Inc. Acoustic Transducer
US5570428A (en) * 1994-09-27 1996-10-29 Tibbetts Industries, Inc. Transducer assembly
DE19612481C2 (de) * 1996-03-29 2003-11-13 Sennheiser Electronic Elektrostatischer Wandler
NL1002880C2 (nl) * 1996-04-16 1997-10-17 Microtronic Nederland Bv Elektroakoestische transducent.
US6093144A (en) * 1997-12-16 2000-07-25 Symphonix Devices, Inc. Implantable microphone having improved sensitivity and frequency response
US6532293B1 (en) 2000-02-08 2003-03-11 Knowles Electronics Llc Acoustical transducer with reduced parasitic capacitance
KR200218653Y1 (ko) * 2000-11-01 2001-04-02 주식회사비에스이 일렉트렛 콘덴서 마이크로폰
US7065224B2 (en) * 2001-09-28 2006-06-20 Sonionmicrotronic Nederland B.V. Microphone for a hearing aid or listening device with improved internal damping and foreign material protection
CN1233197C (zh) * 2002-04-11 2005-12-21 理音株式会社 电声换能器
US7072482B2 (en) 2002-09-06 2006-07-04 Sonion Nederland B.V. Microphone with improved sound inlet port
US7184563B2 (en) * 2003-03-04 2007-02-27 Knowles Electronics Llc. Electret condenser microphone
US7751579B2 (en) * 2003-06-13 2010-07-06 Etymotic Research, Inc. Acoustically transparent debris barrier for audio transducers
US7415121B2 (en) * 2004-10-29 2008-08-19 Sonion Nederland B.V. Microphone with internal damping
US9398389B2 (en) 2013-05-13 2016-07-19 Knowles Electronics, Llc Apparatus for securing components in an electret condenser microphone (ECM)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4063050A (en) * 1976-12-30 1977-12-13 Industrial Research Products, Inc. Acoustic transducer with improved electret assembly
JPS5928799A (ja) * 1982-07-22 1984-02-15 ア−・カ−・ゲ−・アクステイツシエ・ウント・キノ−ゲレ−テ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 静電形変換器
JPS5936078U (ja) * 1982-08-31 1984-03-06 凸版印刷株式会社 ブツクケ−ス型容器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2425481A (en) * 1943-09-21 1947-08-12 Reeves Hoffman Corp Quartz oscillator plateholder
US3588382A (en) * 1967-10-11 1971-06-28 Northern Electric Co Directional electret transducer
JPS5654711Y2 (ja) * 1976-06-11 1981-12-19
JPS5399975U (ja) * 1977-01-14 1978-08-12
US4321432A (en) * 1978-12-23 1982-03-23 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Electrostatic microphone
US4246449A (en) * 1979-04-24 1981-01-20 Polaroid Corporation Electrostatic transducer having optimum sensitivity and damping
US4310906A (en) * 1979-12-21 1982-01-12 The United States Of America As Represented By The Administrator, National Aeronautics And Space Administration Liquid-immersible electrostatic ultrasonic transducer
US4331840A (en) * 1980-02-22 1982-05-25 Lectret S.A. Electret transducer with tapered acoustic chamber
US4418246A (en) * 1980-10-29 1983-11-29 Tibbetts Industries, Inc. Cell assembly for electret transducer

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4063050A (en) * 1976-12-30 1977-12-13 Industrial Research Products, Inc. Acoustic transducer with improved electret assembly
JPS5928799A (ja) * 1982-07-22 1984-02-15 ア−・カ−・ゲ−・アクステイツシエ・ウント・キノ−ゲレ−テ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 静電形変換器
JPS5936078U (ja) * 1982-08-31 1984-03-06 凸版印刷株式会社 ブツクケ−ス型容器

Also Published As

Publication number Publication date
CA1294032C (en) 1992-01-07
CH676770A5 (ja) 1991-02-28
GB8721675D0 (en) 1987-10-21
NL190915C (nl) 1994-10-17
DK167299B1 (da) 1993-10-04
GB2200013B (en) 1990-04-11
NL8720483A (nl) 1988-08-01
DE3790540C2 (de) 1991-11-14
NL190915B (nl) 1994-05-16
US4730283A (en) 1988-03-08
DK265388D0 (da) 1988-05-13
DK265388A (da) 1988-05-13
GB2200013A (en) 1988-07-20
WO1988002208A1 (en) 1988-03-24
DE3790540T (ja) 1988-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63503505A (ja) 改良された電極間隔を有する音響変換器
EP0371620B1 (en) Electret condenser microphone
US4492825A (en) Electroacoustic transducer
US4379211A (en) Arcuately tensioned piezoelectric diaphragm microphone
US4286122A (en) Acoustic electrical conversion device with at least one capacitor electret element connected to an electronic circuit
US3937991A (en) Electroacoustic transducers of the bilaminar flexural vibrating type and method for manufacturing same
USRE33718E (en) Acoustic transducer with improved electrode spacing
JPH0715279Y2 (ja) コンデンサマイクロホンの構造
JPS6098795A (ja) 圧電型電気音響変換器
JP2578773Y2 (ja) エレクトレットマイクロホン
JP2525595Y2 (ja) 自励振型圧電ブザー
JPS62200A (ja) 圧電型マイクロホン
JPS5934239Y2 (ja) 圧電形電気音響変換器
JP3490359B2 (ja) コンデンサマイクロホン
JPH0132478Y2 (ja)
JP3043347U (ja) 圧電音響装置
JPH054391Y2 (ja)
KR820002194B1 (ko) 음향진동을 전기적인 발진으로 전환하기 위한 장치
JPH11355892A (ja) 圧電振動板およびこの圧電振動板を用いた圧電音響部品
JPH02116300A (ja) 超音波セラミックマイクロホン
JPS5830384Y2 (ja) 超音波電気音響変換器
JPS5935114A (ja) ノツクセンサ
JPH11355891A (ja) 圧電振動板およびこの圧電振動板を用いた圧電音響部品
JPS60216699A (ja) 超音波セラミツクマイクロホン
JPS59157396U (ja) 圧電発音体