JPS6319233U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6319233U JPS6319233U JP11143186U JP11143186U JPS6319233U JP S6319233 U JPS6319233 U JP S6319233U JP 11143186 U JP11143186 U JP 11143186U JP 11143186 U JP11143186 U JP 11143186U JP S6319233 U JPS6319233 U JP S6319233U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable electrode
- diaphragm
- fixed
- water pressure
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は本考案の水圧センサの例の構造を示す
断面図、第2図は従来の空気圧センサの断面図で
あり、第3図は静電容量型センサと組合せて用い
られる静電容量測定回路の例の構成図である。 1,21…固定電極板、2,22…可動電極板
、3,23…ダイヤフラム、7,27…圧力導入
管、9,30…シールドケース、12…発熱体、
P…圧力、C…静電容量、OSC…可変周波数発
振器、f―V…fV変換器。
断面図、第2図は従来の空気圧センサの断面図で
あり、第3図は静電容量型センサと組合せて用い
られる静電容量測定回路の例の構成図である。 1,21…固定電極板、2,22…可動電極板
、3,23…ダイヤフラム、7,27…圧力導入
管、9,30…シールドケース、12…発熱体、
P…圧力、C…静電容量、OSC…可変周波数発
振器、f―V…fV変換器。
Claims (1)
- 導入した水圧に対応した変位を発生するダイヤ
フラムと、該ダイヤフラムに対して固着された可
動電極と、該可動電極に対向しかつ平行に設けら
れ別途に絶縁体を介して支持された固定電極と、
該可動電極と該固定電極とを包囲するように設け
たシールド手段とを備え、該シールド手段で包囲
された空間内に発熱手段を設けてなる静電容量型
の水圧センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11143186U JPS6319233U (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11143186U JPS6319233U (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6319233U true JPS6319233U (ja) | 1988-02-08 |
Family
ID=30991348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11143186U Pending JPS6319233U (ja) | 1986-07-22 | 1986-07-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6319233U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5289363A (en) * | 1976-01-21 | 1977-07-26 | Jidoushiya Kougai Anzen Kiki G | Diffusion type semiconductor pressure sensor |
JPS55146020A (en) * | 1979-05-01 | 1980-11-14 | Toshiba Corp | Pressure detector of semiconductor |
JPS59171826A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-09-28 | Copal Takeda Medical Kenkyusho:Kk | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 |
-
1986
- 1986-07-22 JP JP11143186U patent/JPS6319233U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5289363A (en) * | 1976-01-21 | 1977-07-26 | Jidoushiya Kougai Anzen Kiki G | Diffusion type semiconductor pressure sensor |
JPS55146020A (en) * | 1979-05-01 | 1980-11-14 | Toshiba Corp | Pressure detector of semiconductor |
JPS59171826A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-09-28 | Copal Takeda Medical Kenkyusho:Kk | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS56129831A (en) | Pressure converter | |
JPS6319233U (ja) | ||
JPH01102841U (ja) | ||
JPH0295832U (ja) | ||
JPS6370045U (ja) | ||
JPS62153541U (ja) | ||
JPS6370044U (ja) | ||
JPS62170538U (ja) | ||
JPS6329875U (ja) | ||
JPS62143429U (ja) | ||
JPH0167544U (ja) | ||
JPS6363736U (ja) | ||
JPS6249738U (ja) | ||
JPS636334U (ja) | ||
JPS6415932U (ja) | ||
JPS61155749U (ja) | ||
JPS61157844U (ja) | ||
JPH0217650U (ja) | ||
JPS62104130U (ja) | ||
JPS62197848U (ja) | ||
JPS6399254U (ja) | ||
JPS6387538U (ja) | ||
JPS5537967A (en) | Pressure measuring instrument | |
JPS6361170U (ja) | ||
JPS6295308U (ja) |