JPS6370045U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6370045U JPS6370045U JP16351086U JP16351086U JPS6370045U JP S6370045 U JPS6370045 U JP S6370045U JP 16351086 U JP16351086 U JP 16351086U JP 16351086 U JP16351086 U JP 16351086U JP S6370045 U JPS6370045 U JP S6370045U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- housing
- fixed
- movable electrode
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の小型圧力センサの実施例の断
面図、第２図は同じくその固定電極の斜視図であ
る。第３図は従来の静電容量型の圧力センサの断
面図であり、第４図は静電容量型のセンサと組合
せて用いられる静電容量測定回路の例の構成図で
ある。 １，２１…固定電極、２，２２…可動電極、３
，２３…ダイヤフラム、５，２０…ハウジング、
２５…ダイヤフラム支持板、２６…Ｏリング、Ｃ
…容量、ＯＳＣ…発振器、ｆ―Ｖ…ｆＶ変換器。
面図、第２図は同じくその固定電極の斜視図であ
る。第３図は従来の静電容量型の圧力センサの断
面図であり、第４図は静電容量型のセンサと組合
せて用いられる静電容量測定回路の例の構成図で
ある。 １，２１…固定電極、２，２２…可動電極、３
，２３…ダイヤフラム、５，２０…ハウジング、
２５…ダイヤフラム支持板、２６…Ｏリング、Ｃ
…容量、ＯＳＣ…発振器、ｆ―Ｖ…ｆＶ変換器。
Claims (1)
- 測定圧力に対応して変位を発生するダイヤフラ
ムと、該ダイヤフラムに対して固着された可動電
極と、該可動電極に対向しかつ平行に設けられた
固定電極とをハウジング内に組込んでなる静電容
量型の圧力センサにおいて、該ハウジングを電気
絶縁性材料で形成すると共に該ダイヤフラムを該
ハウジングに対して気密に接着固定したことを特
徴とする小型圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16351086U JPS6370045U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16351086U JPS6370045U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6370045U true JPS6370045U (ja) | 1988-05-11 |
Family
ID=31091775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16351086U Pending JPS6370045U (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6370045U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59171826A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-09-28 | Copal Takeda Medical Kenkyusho:Kk | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP16351086U patent/JPS6370045U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59171826A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-09-28 | Copal Takeda Medical Kenkyusho:Kk | 静電容量型圧力センサ−の温度補償装置 |