JPS62104130U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62104130U JPS62104130U JP19554585U JP19554585U JPS62104130U JP S62104130 U JPS62104130 U JP S62104130U JP 19554585 U JP19554585 U JP 19554585U JP 19554585 U JP19554585 U JP 19554585U JP S62104130 U JPS62104130 U JP S62104130U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure sensor
- extraction electrode
- base
- conductive paste
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案の要部を示す部分断面図、第
２図はこの考案に係る圧力センサの上面図、第３
図は従来例をそれぞれ示す。 １１……ダイヤフラム、１２……圧力検出子と
しての表面弾性波素子、１３……表面弾性波素子
の引出し電極、１４……ベース、１７……密封室
、１８……導電性ペースト。
２図はこの考案に係る圧力センサの上面図、第３
図は従来例をそれぞれ示す。 １１……ダイヤフラム、１２……圧力検出子と
しての表面弾性波素子、１３……表面弾性波素子
の引出し電極、１４……ベース、１７……密封室
、１８……導電性ペースト。
Claims (1)
- ダイヤフラムと、このダイヤフラムの一面側に
配置され、その一面周囲部を接合してダイヤフラ
ムを支持すると共に、ダイヤフラムとの間に密封
された室を構成するベースと、ダイヤフラムの一
面に前記密封室に臨ませて形成した圧力検出子と
を備え、圧力検出子の電気信号によりダイヤフラ
ムに加えられた圧力を測定するようにした圧力セ
ンサにおいて、前記圧力検出子の引出し電極をダ
イヤフラムの外周部まで延長すると共に、前記ベ
ースのダイヤフラムとの接合面の前記引出し電極
に対応する位置に導電性ペーストを塗設して前記
引出し電極と接触させ、該導電性ペーストをベー
スの外周部まで延長して圧力検出子の引出し電極
を前記密封室外に取出すようにしたことを特徴と
する圧力センサの電極取出し構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19554585U JPS62104130U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19554585U JPS62104130U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62104130U true JPS62104130U (ja) | 1987-07-02 |
Family
ID=31153531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19554585U Pending JPS62104130U (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62104130U (ja) |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP19554585U patent/JPS62104130U/ja active Pending