SU1615581A1 - Емкостный датчик давлени - Google Patents
Емкостный датчик давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1615581A1 SU1615581A1 SU884494463A SU4494463A SU1615581A1 SU 1615581 A1 SU1615581 A1 SU 1615581A1 SU 884494463 A SU884494463 A SU 884494463A SU 4494463 A SU4494463 A SU 4494463A SU 1615581 A1 SU1615581 A1 SU 1615581A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electrodes
- rocker arm
- frame
- plate
- movable electrodes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к емкостным датчикам давлени . Целью изобретени вл етс повышение чувствительности, упрощение конструкции, уменьшение габаритов и расширение пределов измерений. Датчик содержит две приемные камеры с мембранами 4 и 5. Одна из приемных камер может быть заглушена и вакуумирована. Жесткие центры мембраны соединены штоками 15 и 16 с подвижными электродами, размещенными на плечах коромысла 7, выполненного в виде пластины, с осью в виде упругих перемычек, соедин ющих середины пластины и пр моугольной опорной рамки, охватывающей по периметру пластину. Напротив подвижных электродов размещены неподвижные электроды. При разности давлений в приемных полост х измен ютс емкости конденсаторов, образуемых подвижными электродами с неподвижными, причем емкости измен ютс с разным знаком, что при дифференциальном включении дает на выходе двойной сигнал, пропорциональный разности давлений на входе. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
фиг. /
Изобретение относитс к области контрольно-измерительной техники,в частности к датчикам, предназначенным дл измерени абсолютного давлени или разности давлений.
Цель изобретени повышение чувствительности , упрощение конструкции и уменьшение габаритов, а также расширение пределов измерений.
На фиг. 1 изображен датчик давлени , разрез; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - злектродна рама.
Корпус датчика состоит из трех частей: крышки 1, средней части 2 дл закреплени неподвижных электродов и ниж- нейжрышки 3. Крышка 1 имеет отверсти дл закреплени мембран 4 и 5 с жесткими центрами. Мембрана 5 наглухо закрываетс колпаком 6. Крышка 1 опираетс на плоскую электродную раму 7. Фрезеровкой получена неподвижна рама 8 заодно с полосковым коромыслом 9 внутри нее, где коромысло переходит в рамку через упругие элементы в виде шеек 10 и 11. Коромысло 9 на концах имеет пр моугольные электроды 12 и 13, полученные обработкой (в поперечном направлении коромысла) в виде полосковых углублений 14. Центры пр моугольных электродов через штоки 15 и 16 соедин ютс с мембранами 4 и 5 с жесткими центрами, Сверху мембраны 4с жестким центром закреплен колпак со штуцером 17. Дл упрочнени коромысла 9 со стороны мембран .с жесткими центрами вдоль его средней части прикреплены полосковые ребра (не показаны ). С дном корпуса через изол ционные прокладки 18-21 закреплены неподвижные пр моугольные электроды 22 и 23, штоки 24 и 25 которых в конце имеют отверсти дл припаивани проволоки и присоединени его к печатной плате 26, на которой собираетс схема измерени . Неподвижные электроды с изол ционными прокладками прикреплены ко дну корпуса, выполненного в
форме полосовой i консоли путем фрезеровки . Выполненна фрезеровкой канавка целиком не пр молинейна и в средней части имеет с обеих сторон направленную внутрь форму дл получени площадок 27 и 28 на дне корпуса дл закреплени открытой рамки 29, полученной двухсторонним высечением цилиндрического стакана с кольцевым буртом. К консольной части корпуса закрепл етс болт 30, второй конец которого свободно проходит через отверстие рамки 29, котора охвачена ст гивающими гайками 31 и 32. Дл облегчени деформации консоли ее опорный участок снизу имеет поперечный паз 33. После шлифовки закрепл ющих
поверхностей корпуса 1 и 2 и дл получени необходимого зазора между электродами 12, 13 и 22,23 примен етс фольгова прокладка 34 необходимой толщины. К прикреплен- ному к нижней крышке 3 гермоводу 35 подаетс напр жение питани , откуда и снимаетс выходной сигнал. После герметического закрыти корпуса производ т по периметрам примыкающих участков сваривание 0 (электронно-лучева сварка). Дл получени температурной стабильности внутри датчика создаетс вакуум величиной 10 - 10 мм. рт. ст.
Емкости С1 и С2, образованные соот- 5 ветственно между электродами 13, 22 и 12, 23, вход т в схему автогенераторов, выходные сигналы которых с частотами fi и h подаютс к смесителю. Разностна частота подаетс к измерителю частоты. 0 Датчик работает следующим образом.
Давление Р через мембрану с жестким центром 4 передаетс к концу коромысла,, имеющего подвижный электрод 13. Если этот электрод приближаетс к неподвижно- 5 му электроду 22, увеличива емкость, то второй подвижный электрод 12 коромысла удал етс от неподвижного электрода 23, уменьша емкость. При полной симметрии изменение обеих емкостей равно ± А С. По 0 величине измер емой частоты частотомет- ром можно судить о величине давлени .
Дл изменени пределов измер емых
давлений примен ютс дополнительные
вставные упругие элементы, закрепл емые
5 с наружной рамкой В и средним участком
коромысла 9 (фиг. 3).
Изменение емкостей С1 и С2 производитс передвижением консоли при помощи ст гивающих гаек 31 и 32. обхватывающих 0 открытую рамку 29. Движение консоли, на которой собраны неподвижные электроды, производитс зат гиванием гаек 31 или 32. В начале обхват гайками рамки нужно ослабить и только после этого произвести зат - 5 гивание соответствующей гайки. Только после этого втора гайка приводитс в зат гивающее состо ние. Дл перевода конструкции в состо ние измерени разности давлений необходимо второй колпак 6 мем- 50 браны 5 заменить колпаком со штуцером.
Разрешающа способность и чувствительность предлагаемого датчика выше, чем у известного. При сохранении размеров датчика в форме пр моугольной призмы можно 55 при выборе электрода размерами стороны по. вписываемому диаметру получить боль- . шую полезную, площадь электрода. В этом случае размер электрода увеличиваетс
в4рзза,т,е. более чем 27%.
JL
Уменьшение габаритных размеров не только св зано с рациональным использованием объема датчика, имеющего форму пр моугольной призмы, но в основном обусловлена выбором силопередающего коромысла плоской формы, по центру св занного упругими шейками, выполненными заодно с наружной неподвижной рамой.
В предлагаемом датчике значительно проще получение плоскопараллельного расположени электродов благодар использованию фрезеровки и шлифовки пр моугольной плиты (получение неподвиж-нои рамки с плоским коромь1слом).
Claims (2)
- Формула изобретени 1. Емкостный датчик давлени , содержащий две приемные камеры с мембранами , жесткие центры которых соединены с центрами подвижных электродов, размещенных на обоих плечах коромысла, снабженного упругим шарниром, закрепленным на опорном элементе, неподвижные, электроды , отличающийс тем, что, с целью повышени чувствительности, упрощени конструкции и уменьшени габаритов, в нем опорный элемент выполнен в виде пр моугольной рамки внутри и в плоскости которой размещено коромысло с подвижными электродами в виде пр моугольной пласти- ны, а упругий шарнир выполн ен в виде двух перемычек, соедин ющих середины пластины и рамки и выполненных с ними за одно целое, причем на коромысле и рамке в средней части выполнен поперечный паз.
- 2. Датчик давлени по п- 1, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что, с целью расширени пределов измерений, он снабжен дополни- тельными перемычками с элементами креплени , размещенными в поперечном пазу коромысла и рамки.Budf 13 74. TФ«г. 5tF 4F5 -72-)-
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884494463A SU1615581A1 (ru) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Емкостный датчик давлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884494463A SU1615581A1 (ru) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Емкостный датчик давлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1615581A1 true SU1615581A1 (ru) | 1990-12-23 |
Family
ID=21404322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884494463A SU1615581A1 (ru) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | Емкостный датчик давлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1615581A1 (ru) |
-
1988
- 1988-10-17 SU SU884494463A patent/SU1615581A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1500887, кл. G 01 L 9/12, 1987. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4295376A (en) | Force responsive transducer | |
US3697835A (en) | Capacitive pressure transducer | |
SU1615581A1 (ru) | Емкостный датчик давлени | |
CN112484900B (zh) | 一种一体式推拉结构石英谐振式压力传感器 | |
CN112611484B (zh) | 一种金属基柔性框架石英差动谐振式压力传感器 | |
SU1597627A1 (ru) | Датчик давлени | |
JPH0295832U (ru) | ||
CA1116428A (en) | Pressure gauge | |
SU1696920A1 (ru) | Емкостный датчик давлени | |
JPH0225141Y2 (ru) | ||
JPS57139633A (en) | Capacitive pressure-difference converter | |
RU97119691A (ru) | Емкостный датчик давления и разности давлений | |
JPS5967437A (ja) | 水晶振動子圧力センサ | |
SU1744539A1 (ru) | Емкостный датчик давлени | |
SU979919A1 (ru) | Преобразователь давлени в электрический сигнал | |
SU1004784A1 (ru) | Емкостный преобразователь давлени | |
SU1712803A1 (ru) | Пьезорезонансный датчик давлени | |
SU1675703A1 (ru) | Емкостный датчик давлени | |
SU905671A1 (ru) | Датчик давлени | |
SU847094A1 (ru) | Пьезоэлектрический манометр | |
SU1425491A1 (ru) | Датчик давлени | |
RU1796933C (ru) | Емкостной датчик давлени электростатического типа | |
SU1642285A1 (ru) | Пьезорезонансный датчик давлени | |
SU1432337A1 (ru) | Опорный магнитоэлектрический компенсационный преобразователь | |
SU821973A1 (ru) | Датчик давлени |