JP5784732B2 - 液晶表示装置、および液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
格子状に設けられたゲートラインおよびソースラインと、
上記ゲートラインとソースラインとの交差位置に対応してマトリクス状に設けられた画素電極と、
上記画素電極との間に補助容量を形成する透明補助容量電極と、
上記ゲートラインから与えられる走査信号に応じて、上記ソースラインから供給される画像信号電圧を上記画素電極に印加するスイッチング素子と、
を備え、
上記スイッチング素子は、酸化物半導体を用いて構成されるとともに、
上記透明補助容量電極は、上記ソースラインと上記画素電極との間の層に設けられるとともに、低抵抗化された酸化物半導体を用いて構成され、更に、上記スイッチング素子を構成する酸化物半導体と同一の層に形成されていることを特徴とする。
第1の発明の液晶表示装置であって、
上記透明補助容量電極は、上記スイッチング素子が設けられている領域、および上記スイッチング素子と上記画素電極とが接続される領域を除く、各画素領域の全域にわたって設けられていることを特徴とする。
第1および第2の発明のうち何れか1つの液晶表示装置であって、
上記透明補助容量電極は、縦横に隣り合う画素領域にわたって連続して設けられていることを特徴とする。
第1から第3の発明のうち何れか1つの液晶表示装置であって、
上記スイッチング素子は、さらに、ゲート絶縁膜、およびゲート電極を有し、上記スイッチング素子を構成する酸化物半導体、上記ゲート絶縁膜、および上記ゲート電極が、基板上に順に積層されて構成されていることを特徴とする。
第4の発明の液晶表示装置であって、
上記透明補助容量電極を構成する酸化物半導体は、上記スイッチング素子のゲート電極によってマスクされない領域が低抵抗化処理されることにより形成されていることを特徴とする。
第1から第5の発明のうち何れか1つの液晶表示装置であって、
上記画素電極には、互いに平行な複数のスリットが形成されていることを特徴とする。
第1から第6の発明のうち何れか1つの液晶表示装置であって、
上記画素電極は、縁部が上記ソースラインと重なり合うように設けられていることを特徴とする。
第8の発明は、
基板と、
上記基板上に格子状に設けられたゲートラインおよびソースラインと、
ゲートライン上に設けられたゲート絶縁膜と、
上記ゲートラインとソースラインとの交差位置に対応してマトリクス状に設けられた画素電極と、
上記画素電極との間に容量絶縁膜を介して補助容量を形成する透明補助容量電極と、
上記ゲートラインから与えられる走査信号に応じて、上記ソースラインから供給される画像信号電圧を上記画素電極に印加するスイッチング素子と、
上記ソースラインと同層に形成され、上記ソースラインと電気的に接続するソース電極と、
上記ソースラインと同層に形成され、上記絵素電極に電気的に接続するドレイン電極と、
上記スイッチング素子、上記ソースライン及び上記ドレイン電極を覆うように設けられた層間絶縁膜と、
を備える液晶表示装置であって、
上記スイッチング素子は、酸化物半導体を用いて構成されるとともに、
上記透明補助容量電極は、上記ソースラインと重畳するとともに、上記ソースラインと上記画素電極との間の層に設けられ、かつ、上記スイッチング素子が設けられている領域は開口されており、
上記基板上には、上記ゲートライン、上記ゲート絶縁膜、上記酸化物半導体、上記ソースライン、上記層間絶縁膜、上記透明補助容量電極、上記容量絶縁膜、上記画素電極が順に積層されて構成されていることを特徴とする。
これにより、透明補助容量電極は、ソースラインと画素電極との間の層に設けられているので透明シールド電極として作用し、クロストークを抑制してフリッカを低減することが可能になる。この場合において、スイッチング素子は、酸化物半導体を用いて構成されているため大きな駆動能力を有し、画素電極に十分に電荷を蓄積することが容易になるので、透明補助容量電極の形状や大きさの自由度が大きくなる。そこで、透明補助容量電極を広い範囲に形成するなどして大きなシールド効果を得ることが容易に可能になる。したがって、寄生容量を大幅に、かつ、確実に低下させて、クロストークを確実に抑制し、フリッカを低減することが可能になる。
格子状に設けられたゲートラインおよびソースラインと、
上記ゲートラインとソースラインとの交差位置に対応してマトリクス状に設けられた画素電極と、
上記画素電極との間に補助容量を形成する補助容量電極と、
上記ゲートラインから与えられる走査信号に応じて、上記ソースラインから供給される画像信号電圧を上記画素電極に印加するスイッチング素子と、
を備え、
上記スイッチング素子は、酸化物半導体を用いて構成されるとともに、
上記補助容量電極は、上記ソースラインと上記画素電極との間に設けられ、低抵抗化された酸化物半導体を用いて構成された液晶表示装置の製造方法であって、
基板上に導電体層を形成し、パターニングしてソースラインを形成する工程と、
ソースラインの上層に酸化物半導体層を形成し、スイッチング素子のソース電極、ドレイン電極、およびチャネル領域となる領域、ならびに補助容量電極となる領域にパターニングする工程と、
上記酸化物半導体層上に、絶縁膜層、および導電体層を順に形成し、パターニングして、ゲート絶縁膜、ゲートライン、およびゲート電極を形成する工程と、
ゲート電極をマスクとして、上記酸化物半導体層を低抵抗化し、スイッチング素子のソース電極、ドレイン電極、および補助容量電極を形成する工程と、
スイッチング素子のドレイン電極、および補助容量電極の上層に導電体層を形成し、パターニングして画素電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする。
(液晶表示装置の構成)
対向基板との間に液晶が封入されることによって液晶表示装置を構成するアレイ基板は、例えば図1〜図4に示すように、
透明基板101と、
透明基板101上に互いに平行に延びるよう設けられた複数のゲートライン102と、
各ゲートライン102を覆うように設けられたゲート絶縁膜103と、
ゲート絶縁膜103上に各ゲートライン102と直交する方向に互いに平行に延びるように設けられた複数のソースライン105と、
各ゲートライン102と各ソースライン105との交差部分ごと、すなわち、各副画素ごとに対応して、それぞれゲート絶縁膜103上にゲートライン102の一部に重なるように島状に設けられた酸化物半導体層104と、
一端が酸化物半導体層104の一部に重なるように設けられたドレイン配線106と、
各酸化物半導体層104、各ソースライン105、および各ドレイン配線106を覆うように設けられた層間絶縁膜107および平坦化膜108と、
平坦化膜108上に設けられた透明補助容量電極109と、
透明補助容量電極109を覆うように設けられた容量絶縁膜110と、
容量絶縁膜110上にマトリクス状に設けられ、各ドレイン配線106にそれぞれ接続された複数の画素電極111と、
各画素電極111を覆うように設けられた配向膜(不図示)とを備えている。
次に、上記のような液晶表示装置の製造方法について説明する。
(1)ガラス基板上に遮光膜(例えばTiを200nm)を成膜し、フォトリソグラフィ工程により所望の形状に加工する。
(2)その後、絶縁膜(例えばSiO2(200nm))を成膜する。
(3)さらに透明電極(例えばITOを100nm)をスパッタ法により成膜し、対向基板の完成となる。
(1)ガラス基板等の透明基板101上に導電性膜(例えば、Ti(100nm)/Al (200nm) /Ti (30nm)の積層構造)を成膜し、フォトリソグラフィ工程により導電性膜を所望の形状に加工する(これがゲートライン102となる。)。
(2)次に絶縁膜(例えば、SiO2(50nm)/SiNx(325nm)の積層構造)を成膜する(これがゲート絶縁膜103となる。)。
(3)次にIGZO膜(例えば、50nm)を成膜し、フォトリソグラフィ工程によりIGZO膜を所望の形状に加工する(酸化物半導体層104)。
(4)次に導電性膜(例えば、Ti(100nm)/Al (200nm) /Ti (30nm)の積層構造)を成膜し、フォトリソグラフィ工程により導電性膜を所望の形状に加工する(これがソースライン105、ドレイン配線106となる。)。
(5)次に絶縁膜(例えば、SiO2(300nm))を成膜し、さらに感光性有機膜を塗布して表面を平坦化し(層間絶縁膜107、平坦化膜108)、フォトリソグラフィ工程により所望の位置にコンタクトホールを形成する。
(6)次に透明電極(例えばITOやIZOを100nm)をスパッタ法により成膜し、フォトリソグラフィ工程により透明電極を所望の形状に加工する(これが透明補助容量電極109となる。)。
(7)次に絶縁膜(例えば、SiO2(400nm))を成膜し(容量絶縁膜110)、透明電極(例えばITOやIZOを100nm)をスパッタ法により成膜し、フォトリソグラフィ工程により透明電極を所望の形状に加工する(これが画素電極111となる。)。
(8)次に例えばフォトスペーサーをアレイ基板上に配置する。
上記液晶表示装置の駆動について説明する。上記のように酸化物半導体層104を用いて構成された大きな駆動能力を有するスイッチング素子121が用いられているので、画素電極111への電荷の蓄積時間を容易に短縮でき、高速書き込みを容易に実現できる。また、スイッチング素子121のオフリーク電流が小さいので、例えば図7に示すように休止期間を設ける低周波駆動を行っても、画素電極111に蓄積された電荷のリークに起因するフリッカを小さく抑えることができる。
画素電極111は、上記実施形態1(図1)で示したように画素領域内で連続的な形状に形成されるのに限らず、例えば、図9、図10に示すように複数のスリット111b等の開口部が形成された形状などに形成してもよい。すなわち、このような画素電極111を用いて、IPS(in plane switching)方式やAFFS(advanced fringe field switching)方式など、視野角特性の優れた表示モードの液晶表示装置を構成した場合でも、同様に、画素電極111とソースライン105との間に生じる寄生容量を低下させて、画素電極111とソースライン105との間のクロストークを確実に抑制し、フリッカを低減することが可能になる。
透明補助容量電極109は、ソースライン105と画素電極111とが重なり合う領域や、その近傍の十分に広い範囲にわたって設けられれば、例えば図11、図12に示すような長方形状、または他の形状の開口部109aを形成して、補助容量が大きくなりすぎないようにしてもよい。すなわち、ソースライン105から十分離れた位置で開口部109aが形成されていても、ソースライン105の近傍で透明補助容量電極109のシールド効果が十分に得られれば、画素電極111とソースライン105との間のクロストークを確実に抑制してフリッカを低減することができる。
透明補助容量電極が、低抵抗化処理された酸化物半導体層によって形成された液晶表示装置の例について説明する。
実施形態4の液晶表示装置を構成するアレイ基板は、例えば図13〜図15に示すように、
透明基板201と、
透明基板201上に互いに平行に延びるよう設けられた複数のソースライン202と、
各ソースライン202を覆うように設けられた絶縁膜203と、
絶縁膜203上に設けられたソース領域204a、チャネル領域204b、ドレイン領域204c、透明補助容量電極204d、および接続部204eである酸化物半導体層204と、
酸化物半導体層204におけるチャネル領域204b上に設けられたゲート絶縁膜205と、
各ソースライン202と直交する方向に互いに平行に延びるように設けられた複数のゲートライン207と、
ゲートライン207から突出した部分によって形成され、ゲート絶縁膜205を覆うように設けられたゲート電極206と、
各酸化物半導体層204、各ゲート電極206、およびゲートライン207を覆うように設けられた層間絶縁膜208および平坦化膜209と、
平坦化膜209上にマトリクス状に設けられ、各酸化物半導体層204のドレイン領域204cに連続する接続部204eにそれぞれ接続された複数の画素電極210と、
各画素電極210を覆うように設けられた配向膜(不図示)とを備えている。
次に、上記のような液晶表示装置のアレイ基板の製造方法について説明する。
(1)(図16、図17)導電性膜を成膜し、フォトリソグラフィによりソースライン202を形成する。また、絶縁膜203を成膜し、所定の位置にコンタクトホールを空けた後、酸化物半導体層204’を成膜し、形状を加工する。
(2)(図18、図19)絶縁膜を成膜した後、導電性膜を成膜し、フォトリソグラフィにより形状を加工する(ゲート絶縁膜205、ゲート電極206、ゲートライン207)。その際、絶縁膜と導電性膜を一括でエッチング加工する。
(3)(図20、図21)還元性プラズマに曝すなどして、酸化物半導体層204’における、ゲート電極206によってマスクされる部分(チャネル領域204b)以外の部分を低抵抗化する(ソース領域204a、ドレイン領域204c、透明補助容量電極204d、接続部204e)。より詳しくは、形成した酸化物半導体層204をフッ素、水素、ホウ素の少なくともいずれか1つの元素を含むプラズマに曝すことにより低抵抗化する。例えば、CVD法やドーピング法などを用い、酸化物半導体層204が形成された基板の上面をプラズマ雰囲気下に所定時間曝すことで、露出する部分の酸化物半導体層204’が改質され、低抵抗化される。
(4)(図22、図23)層間絶縁膜208、平坦化膜209を成膜し、スイッチング素子221の接続部204eの上部にコンタクトホールを開け、画素電極210を形成する。
102 ゲートライン
103 ゲート絶縁膜
104 酸化物半導体層
105 ソースライン
105a ソース電極
106 ドレイン配線
106a ドレイン電極
106b 接続部
107 層間絶縁膜
108 平坦化膜
109 透明補助容量電極
109a 開口部
110 容量絶縁膜
111 画素電極
111a 接続部
111b スリット
121 スイッチング素子
201 透明基板
202 ソースライン
203 絶縁膜
204 酸化物半導体層
204’ 酸化物半導体層
204a ソース領域
204b チャネル領域
204c ドレイン領域
204d 透明補助容量電極
204e 接続部
205 ゲート絶縁膜
206 ゲート電極
207 ゲートライン
208 層間絶縁膜
209 平坦化膜
210 画素電極
210a 接続部
221 スイッチング素子
Claims (12)
- 格子状に設けられたゲートラインおよびソースラインと、
上記ゲートラインとソースラインとの交差位置に対応してマトリクス状に設けられた画素電極と、
上記画素電極との間に補助容量を形成する透明補助容量電極と、
上記ゲートラインから与えられる走査信号に応じて、上記ソースラインから供給される画像信号電圧を上記画素電極に印加するスイッチング素子と、
を備え、
上記スイッチング素子は、酸化物半導体を用いて構成されるとともに、
上記透明補助容量電極は、上記ソースラインと上記画素電極との間の層に設けられるとともに、低抵抗化された酸化物半導体を用いて構成され、更に、上記スイッチング素子を構成する酸化物半導体と同一の層に形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1の液晶表示装置であって、
上記透明補助容量電極は、上記スイッチング素子が設けられている領域、および上記スイッチング素子と上記画素電極とが接続される領域を除く、各画素領域の全域にわたって設けられていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1および請求項2のうち何れか1項の液晶表示装置であって、
上記透明補助容量電極は、縦横に隣り合う画素領域にわたって連続して設けられていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1から請求項3のうち何れか1項の液晶表示装置であって、
上記スイッチング素子は、さらに、ゲート絶縁膜、およびゲート電極を有し、上記スイッチング素子を構成する酸化物半導体、上記ゲート絶縁膜、および上記ゲート電極が、基板上に順に積層されて構成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項4の液晶表示装置であって、
上記透明補助容量電極を構成する酸化物半導体は、上記スイッチング素子のゲート電極によってマスクされない領域が低抵抗化処理されることにより形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1から請求項5のうち何れか1項の液晶表示装置であって、
上記画素電極には、互いに平行な複数のスリットが形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1から請求項6のうち何れか1項の液晶表示装置であって、
上記画素電極は、縁部が上記ソースラインと重なり合うように設けられていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1から請求項7のうち何れか1項の液晶表示装置であって、
上記酸化物半導体は、インジウム、ガリウム、亜鉛および酸素を主成分とすることを特徴とする液晶表示装置。 - 基板と、
上記基板上に格子状に設けられたゲートラインおよびソースラインと、
ゲートライン上に設けられたゲート絶縁膜と、
上記ゲートラインとソースラインとの交差位置に対応してマトリクス状に設けられた画素電極と、
上記画素電極との間に容量絶縁膜を介して補助容量を形成する透明補助容量電極と、
上記ゲートラインから与えられる走査信号に応じて、上記ソースラインから供給される画像信号電圧を上記画素電極に印加するスイッチング素子と、
上記ソースラインと同層に形成され、上記ソースラインと電気的に接続するソース電極と、
上記ソースラインと同層に形成され、上記絵素電極に電気的に接続するドレイン電極と、
上記スイッチング素子、上記ソースライン及び上記ドレイン電極を覆うように設けられた層間絶縁膜と、
を備え、
上記スイッチング素子は、酸化物半導体を用いて構成されるとともに、
上記透明補助容量電極は、上記ソースラインと重畳するとともに、上記ソースラインと上記画素電極との間の層に設けられ、かつ、上記スイッチング素子が設けられている領域は開口されており、
上記基板上には、上記ゲートライン、上記ゲート絶縁膜、上記酸化物半導体、上記ソースライン、上記層間絶縁膜、上記透明補助容量電極、上記容量絶縁膜、上記画素電極が順に積層されて構成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項9の液晶表示装置であって、
上記酸化物半導体は、インジウム、ガリウム、亜鉛および酸素を主成分とすることを特徴とする液晶表示装置。 - 格子状に設けられたゲートラインおよびソースラインと、
上記ゲートラインとソースラインとの交差位置に対応してマトリクス状に設けられた画素電極と、
上記画素電極との間に補助容量を形成する補助容量電極と、
上記ゲートラインから与えられる走査信号に応じて、上記ソースラインから供給される画像信号電圧を上記画素電極に印加するスイッチング素子と、
を備え、
上記スイッチング素子は、酸化物半導体を用いて構成されるとともに、
上記補助容量電極は、上記ソースラインと上記画素電極との間に設けられ、低抵抗化された酸化物半導体を用いて構成された液晶表示装置の製造方法であって、
基板上に導電体層を形成し、パターニングしてソースラインを形成する工程と、
ソースラインの上層に酸化物半導体層を形成し、スイッチング素子のソース電極、ドレイン電極、およびチャネル領域となる領域、ならびに補助容量電極となる領域にパターニングする工程と、
上記酸化物半導体層上に、絶縁膜層、および導電体層を順に形成し、パターニングして、ゲート絶縁膜、ゲートライン、およびゲート電極を形成する工程と、
ゲート電極をマスクとして、上記酸化物半導体層を低抵抗化し、スイッチング素子のソース電極、ドレイン電極、および補助容量電極を形成する工程と、
スイッチング素子のドレイン電極、および補助容量電極の上層に導電体層を形成し、パターニングして画素電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項11の液晶表示装置であって、
上記酸化物半導体は、インジウム、ガリウム、亜鉛および酸素を主成分とすることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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