JP2007115807A - トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可撓性プラスチック基材1上にトランジスタ素子を備えるトランジスタであって、トランジスタ素子が、ゲート電極2と、ゲート絶縁膜4と、酸化物半導体から構成された半導体活性層5と、ソース電極8及びドレイン電極7とを備えるものであり、ゲート絶縁膜として水蒸気透過度が1g/m2/day以下である無機化合物を使用する。
【選択図】図1
Description
K. Nomura et al. Nature, 432, 488 (2004) この文献によれば、上記材料を用いたアモルファス酸化物半導体を半導体活性層として用いることで、野村らは室温でPET基板上に移動度10cm2/Vs前後の優れた特性を持つ透明電界効果型トランジスタの作成に成功している。
前記トランジスタ素子が、前記基材上に設けられたゲート電極と、このゲート電極上に設けられたゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜上に設けられ、酸化物半導体から構成された半導体活性層と、この半導体活性層に電気的に接触して配列されたソース電極と、前記半導体活性層に電気的に接触すると共に前記ソース電極に離隔して配列されたドレイン電極とを備え、前記ゲート電極に印加する電圧の有無によって、前記ソース電極とドレイン電極との導通をオン又はオフするトランジスタ素子であり、
前記ゲート絶縁膜の水蒸気透過率が1g/m2/day以下であるトランジスタである。
、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルサルフェン、トリアセチルセルロース、ポリビニルフルオライドフィルム、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合樹脂、耐候性ポリエチレンテレフタレート、耐候性ポリプロピレン、ガラス繊維強化アクリル樹脂フィルム、ガラス繊維強化ポリカーボネート、ポリイミド、透明性ポリイミド、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂などを使用することができるが、これらに限定されるわけではない。これらは単独の基材として使用してもよいが、二種以上を積層した複合基材を使用することもできる。
ョン法、プラズマCVD法、光CVD法、ホットワイヤーCVD法等で形成することができる。また、導電性ペーストを用いてスピンコート、ディップコート、スクリーン印刷、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、インクジェッット、平版印刷などで形成することも可能である。酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ等の透明導電性酸化物を使用して、前記電極2,3,7,8を透明とする場合には、ドーパントを混入させることでこれら透明電極2,3,7,8の導電率を上げることが望ましい。例えば酸化亜鉛ではガリウム、アルミニウム、ボロンなどをドーパントとし、酸化スズではフッ素、アンチモンなどをドーパントとし、また、酸化インジウムではスズ、亜鉛、チタン、セリウム、ハフニウム、ジルコニアなどをドーパントとして、これらドーパントを混入させて前記透明電極2,3,7,8を縮退させることが好ましい。また電極の材料として、半導体活性層5に用いる酸化物半導体材料と同じ材料を母材料とし、ドーパント濃度だけを高くすることもまた生産効率増加のために望ましい。電極の膜厚は少なくとも15nm以上である必要がある。また、これら電極2,3,7,8の材料は、全て同じものとしてもよく、異なるものとしても良い。
実施例として図1に示したトランジスタを作成した。まず、プラスチック基材1には三菱ダイヤホイル社製のポリエチレンテレフタレート(PET)T−60(厚さ100μm]を使用した。この基材1上にアルミニウムをスパッタで50nmの厚さに積層し、エッチング法でゲート電極2および補助コンデンサー電極3をパターニングした。
実施例と同様に、PET基材1上に、酸化物からなる半導体活性層5、ソース電極8およびドレイン電極7、ゲート絶縁層4、ゲート電極2の順にトップゲート型の薄膜トランジスタを作製した。各層の成膜条件は実施例と同じである。その特性を評価したところ、ON/OFF比は9×108、移動度0.5cm2/VSであった。
ゲート絶縁膜4以外の膜は上記実施例と全く同一でボトムゲート型トランジスタを作製した。ゲート絶縁膜の作製方法はEB蒸着法で、原材料としては粒状SiO2を用い、成膜時に酸素を20SCCM導入し、実施例と同様に220nm成膜した。
2 ゲート電極
3 補助コンデンサー電極
4 ゲート絶縁膜
5 半導体活性層
6 画素電極
7 ドレイン電極
8 ソース電極
Claims (1)
- 可撓性プラスチック基材と、この基材上に設けられたトランジスタ素子とを備えるトランジスタであって、
前記トランジスタ素子が、前記基材上に設けられたゲート電極と、このゲート電極上に設けられたゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜上に設けられ、酸化物半導体から構成された半導体活性層と、この半導体活性層に電気的に接触して配列されたソース電極と、前記半導体活性層に電気的に接触すると共に前記ソース電極に離隔して配列されたドレイン電極とを備え、前記ゲート電極に印加する電圧の有無によって、前記ソース電極とドレイン電極との導通をオン又はオフするトランジスタ素子であり、
前記ゲート絶縁膜の水蒸気透過率が1g/m2/day以下であるトランジスタ。
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