JP5779081B2 - 加工廃液処理装置 - Google Patents
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Description
また、研削屑としてのシリコン微粒子はフィルターに捕捉されるので、フィルターからシリコン微粒子を回収してシリコンインゴットを再生することも可能であるが、フィルターに浸透したシリコン微粒子を効率よく回収することは困難である。
加工廃液を処理するための廃液処理槽と、該廃液処理槽に収容された加工廃液からシリコン微粒子を分離するシリコン分離機構と、該シリコン分離機構によって分離されたシリコン微粒子を回収するシリコン回収機構と、を具備し、
シリコン分離機構は、該廃液処理槽内に間隔をおいて配設された複数の上部ローラと、該複数の上部ローラの下方に間隔をおいて配設された複数の下部ローラと、該廃液処理槽の外部に配設された駆動ローラと、該駆動ローラと該複数の上部ローラおよび該複数の下部ローラに順次掛架されプラスに帯電される可撓性を有するエンドレスベルトとを具備するシリコン吸引手段と、該複数の上部ローラおよび該複数の下部ローラに順次掛架された該エンドレスベルトの間に配設されマイナスに帯電される複数の陰極板を備えた陰極手段と、を具備しており、
該シリコン回収機構は、該廃液処理槽の外部に配設され該駆動ローラによって駆動される該エンドレスベルトに付着したシリコン微粒子を剥離して回収する、
ことを特徴とする加工廃液処理装置が提供される。
上記陰極板は、枠体と、該枠体の内側に装着され加工廃液の流通を許容する2枚の網部とによって構成されており、
上記支持部材には、複数の陰極板を構成する2枚の網部の間に開口する複数の吸引通路が設けられている。
図示の実施形態における加工廃液処理装置は、加工廃液を収容する廃液タンク2と、該廃液タンク2に収容された加工廃液を処理するための廃液処理槽3と、該廃液処理槽3に収容された加工廃液からシリコン微粒子を分離するシリコン分離機構4と、該シリコン分離機構4によって分離されたシリコン微粒子を回収するシリコン回収機構7を具備している。
シリコン分離機構4は、シリコン吸着手段41と陰極手段42とからなっている。シリコン吸着手段41は、間隔をおいて配設された複数の上部ローラ411と、該複数の上部ローラ411の下方に上方から見て上部ローラ411と交互になるように間隔をおいて配設された複数の下部ローラ412と、駆動ローラ413および従動ローラ414と、該駆動ローラ413と従動ローラ414と複数の上部ローラ411および複数の下部ローラ412に順次掛架された可撓性を有するエンドレスベルト415を具備している。エンドレスベルト415は、導電性を有する例えば厚みが50μmのステンレス鋼板によって形成されている。このエンドレスベルト415が掛架された複数の上部ローラ411は、その支持軸411aが廃液処理槽3の側壁32、33に形成された複数の第1の支持溝32a、33aに係合され回転可能に支持される。また、エンドレスベルト415が掛架された複数の下部ローラ412は、その支持軸412aが廃液処理槽3の側壁32、33に形成された複数の第1の支持溝32b、33bに係合され回転可能に支持される。更に、シリコン吸着手段41を構成する駆動ローラ413は駆動軸413aが上記一対の支持ブラケット361、362に設けられた支持溝361a、362aに係合され回転可能に支持されており、この駆動ローラ413を回転駆動するための電動モータ416が支持ブラケット361に装着された支持部361cによって支持される。また、上記従動ローラ414は、その支持軸414aが上記一対の支持ブラケット371、372に設けられた支持溝371a、372aに係合され回転可能に支持されている。このように構成されシリコン吸着手段41は、図1に示すように廃液処理槽3に配設される。
図示しない研削装置等の加工装置に装備される加工廃液送出手段から送られ廃液タンク2に収容された加工廃液は、ポンプ22によって廃液処理槽3内に送られる。このようにして廃液処理槽3に送られた加工廃液にはシリコン微粒子が混入されており、このシリコン微粒子はマイナス(−)に帯電されている。このようにして廃液処理槽3に収容された加工廃液に混入されているシリコン微粒子を分離するには、シリコン分離機構4を構成するシリコン吸着手段41のエンドレスベルト415に直流電源44のプラス(+)を印可するとともに、陰極手段42の陰極板421に直流電源44のマイナス(−)を印可する。そして、駆動ローラ413を回転駆動するための電動モータ416を駆動してエンドレスベルト415を図1において矢印Aで示す方向に作動せしめる。このようにエンドレスベルト415にプラス(+)が印可され陰極板421にマイナス(−)が印可されると、加工廃液に混入されマイナス(−)に帯電されているシリコン微粒子は、マイナス(−)に帯電された陰極板421から反発されプラス(+)に帯電されたエンドレスベルト415に吸着する。
また、陰極手段42を構成する陰極板421は、金属材によって矩形状に形成された枠体421aと、該枠体421aの内側に装着され廃液の流通を許容する2枚の網部421b、421bとによって構成されており、陰極手段42を構成する支持部材422に設けられ陰極板421を構成する2枚の網部421b、421b間に開口する吸引通路422bから清水を吸引するようにしたので、効果的に清水を回収することができる。
21:廃液供給口
22:ポンプ
3:廃液処理槽
4:シリコン分離機構
41:シリコン吸着手段
411:上部ローラ
412:下部ローラ
413:駆動ローラ
414:従動ローラ
415:エンドレスベルト
42:陰極手段
421:陰極板
422:支持部材
44:直流電源
7:シリコン回収機構
71:上部剥離手段
72:下部剥離手段
73:シリコン収集箱
74:ダクト
75:シリコン回収箱
10:制御手段
Claims (2)
- シリコン微粒子が混入された加工廃液をシリコン微粒子と清水に分離する加工廃液処理装置において、
加工廃液を処理するための廃液処理槽と、該廃液処理槽に収容された加工廃液からシリコン微粒子を分離するシリコン分離機構と、該シリコン分離機構によって分離されたシリコン微粒子を回収するシリコン回収機構と、を具備し、
シリコン分離機構は、該廃液処理槽内に間隔をおいて配設された複数の上部ローラと、該複数の上部ローラの下方に間隔をおいて配設された複数の下部ローラと、該廃液処理槽の外部に配設された駆動ローラと、該駆動ローラと該複数の上部ローラおよび該複数の下部ローラに順次掛架されプラスに帯電される可撓性を有するエンドレスベルトとを具備するシリコン吸着手段と、該複数の上部ローラおよび該複数の下部ローラに順次掛架された該エンドレスベルトの間に配設されマイナスに帯電される複数の陰極板を備えた陰極手段と、を具備しており、
該シリコン回収機構は、該廃液処理槽の外部に配設され該駆動ローラによって駆動される該エンドレスベルトに付着したシリコン微粒子を剥離して回収する、
ことを特徴とする加工廃液処理装置。 - 該陰極手段は、該複数の陰極板と、該複数の陰極板の一端を支持する支持部材とからなっており、
陰極板は、枠体と、該枠体の内側に装着され加工廃液の流通を許容する2枚の網部とによって構成されており、
該支持部材には、該複数の陰極板を構成する2枚の網部の間に開口する複数の吸引通路が設けられている、請求項1記載の加工廃液処理装置。
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