JP2020078783A - スラッジ乾燥装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、特許文献2に開示されているように、回収したスラッジを利用するためにスラッジを乾燥させている。
なお、スラッジ乾燥装置1は、回転する切削ブレードで被加工物Wを切削加工する切削装置が生み出す廃液から水分を多く含んだスラッジを回収するものであってもよい。
本実施形態において被加工物Wは例えばシリコンウェーハであるが、円柱状のシリコンインゴットであってもよい。
そして、研削手段40は、Z軸方向に上下動可能となっている。
また、廃液槽2の上部には、廃液Lが溢れることを防止する図示しないオーバーフロー管が設けられている。オーバーフロー管は、タンク12に連通しており、廃液槽2から溢れようとする廃液Lを再びタンク12に導く。
抜き差し手段32の陽極板31を保持する保持部320は、例えば、可動部材323の側面に配設された一対のチャックシリンダである。一対の保持部320は、廃液槽2の幅方向(X軸方向)に所定間隔を空けて対向している。一対の保持部320は、可動部材323に取り付けられたシリンダ本体320bと、シリンダ本体320bから廃液槽2の幅方向(X軸方向)に突没自在に設けられた係合ピン320aとを備えている。一対の保持部320では、例えば、シリンダ本体320bから突出する係合ピン320aがX軸方向において互いに近づく動作を行う。各係合ピン320aは、可動部材323が降下して保持部320が陽極板31の上方に位置付けられた状態でシリンダ本体320bから突出すると、陽極板31の各被係合部310の被係合孔310aにそれぞれ挿嵌される。これによって、抜き差し手段32の保持部320が陽極板31を保持した状態になる。
排気口605には、排気管605bを介してブロアファン606の吸い込み口が連通している。ブロアファン606の吐出口606aには、配管606bの一端が接続されており、配管606bの他端にはブロアファン606による排気の流量を2つに分割する分割部607が接続されている。分割部607は、例えば、排気管607aと導入管607bとの2流路への流量調整が可能である三方バルブである。分割部607は、分割管と、排気管607aと導入管607bとのどちらか一方の流量調整が可能である調整バルブとで構成してもよい。また、排気管607aと導入管607bとの配管径で排気の流量が分割されるようにしてもよい。
乾燥ボックス60内の通気路600を搬送方向に流れる気体は、乾燥ボックス60の天板603の下面の凸部603aに衝突することで乱気流となる。即ち、不規則な気体の渦が搬送ベルト51上で発生すると共に、搬送方向に気体が流れていく。その結果、搬送ベルト51の上面の水分を多く含むスラッジPに乱気流が噴き付けられることで、スラッジPの水分がより蒸発しやすくなる。なお、凸部603aは天板603の下面に形成されていなくてもよい。
モータ402が回転軸400をZ軸方向の軸心周りに回転駆動し、これに伴い研削ホイール404が回転する。研削手段40が降下していき、回転する砥石404bが保持テーブル41で保持された被加工物Wの上面に当接することで研削が行われる。また、保持テーブル41が所定の回転速度で回転し保持面41a上の被加工物Wも回転するので、砥石404bが被加工物Wの上面全面の研削加工を行う。研削中は、砥石404bと被加工物Wの上面との接触部位に加工水が供給され、接触部位が冷却・洗浄される。
なお、工場設備の排気装置側へ流す排気量も減らすことができるため、工場設備の排気装置の負担も低減される。
40:研削手段 400:回転軸 404:研削ホイール 404b:砥石
41:保持テーブル 41a:保持面 42:テーブル支持台
48:ウォーターケース 484:桶部 486:排液口 485a:給液管
12:タンク 121:送出ポンプ
1:スラッジ乾燥装置
2:廃液槽
3:取り出し手段 30:陰極板 33a:筐体 33b:排出部
31:陽極板 310:被係合部 310a:被係合孔
32:抜き差し手段 320:保持部 323:可動部材
34:Y軸方向移動手段 342:鉛直板
36:剥ぎ取り手段 360:一対の開閉シリンダ 362:一対の剥ぎ取りプレート
51:搬送ベルト 52:モータ 55:スキージ 59:回収ボックス
6:乾燥手段
60:乾燥ボックス 600:通気路 603:天板 604:吸気口 605:排気口
606:ブロアファン
607:分割部 608:戻し入口
Claims (1)
- 加工水を供給しつつ砥石で被加工物を削り、排出される被加工物の粉を含んだ廃液から水分を多く含んだスラッジを回収し、該スラッジを乾燥させるスラッジ乾燥装置であって、
廃液を貯める廃液槽と、該廃液槽から該スラッジを取り出す取り出し手段と、該取り出し手段によって取り出された該スラッジを載せて回収ボックスへと搬送する搬送ベルトと、該搬送ベルトで搬送される該スラッジを乾燥させる乾燥手段とを備え、
該乾燥手段は、
少なくとも搬送ベルトの上面を包囲して該搬送ベルトの延在方向に延在する乾燥ボックスと、
該乾燥ボックスの一方の端側に配設される吸気口と、
該乾燥ボックスの他方の端側に配設される排気口と、
該乾燥ボックスの外に配設され該排気口から該乾燥ボックス内の空気を吸って外気を該吸気口から該乾燥ボックス内に吸気させるブロアファンと、
該ブロアファンによる該乾燥ボックスからの排気の流量を2つに分割する分割部と、
該乾燥ボックスの該吸気口と該排気口との間に配設され該分割部で分割された一方の流量の排気を該乾燥ボックスの中に戻し入れる戻し入口と、
を備え、
該分割部で分割された一方の流量の排気を該戻し入口から該乾燥ボックス内に戻し入れるとともに、該分割部で分割された他方の流量の排気と同じ量の外気を該吸気口から該乾燥ボックス内に吸気させ、該搬送ベルトで搬送されているスラッジを乾燥させる、スラッジ乾燥装置。
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