CN111189313A - 沉渣干燥装置 - Google Patents

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Abstract

提供沉渣干燥装置，不使用加热器而对所回收的沉渣进行干燥。沉渣干燥装置的干燥单元包含：箱，其包围搬送带的上表面，在带的延伸方向上延伸；吸气口，其配设在箱的一端侧；排气口，其配设在箱的另一端侧；鼓风机，其在箱外从排气口吸引箱内的空气，将外部气体从吸气口吸入至箱内；分割部，其将排气分割成两部分的流量；以及返回入口，其配设在吸气口与排气口之间，使所分割的一方的流量的排气返回至箱中。使该一方的流量的排气从返回入口返回至箱内，并且将与另一方的流量的排气相同的量的外部气体从吸气口吸入至箱内，从而在搬送带上使沉渣干燥。

Description

沉渣干燥装置
技术领域
本发明涉及使沉渣干燥的沉渣干燥装置。
背景技术
以往，从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行加工而产生的包含加工屑的加工废液中使加工屑沉淀、或者使阳极板和阴极板着水在加工废液中并附加电荷而使加工屑吸附在阳极板上，从而回收含有大量水分的加工屑(沉渣)，对去除了沉渣的加工废液进行再利用(例如参照专利文献1)。另外，如专利文献2所公开的那样，为了利用所回收的沉渣而使沉渣干燥。
专利文献1：日本特开2013-119050号公报
专利文献2：日本特开2016-049506号公报
但是，在专利文献2所公开的沉渣回收装置中，在沉渣的干燥中使用了加热器，因此若需要进行维护，则需要作业者等待至使沉渣干燥的装置部位冷却为止。另外，需要用于使加热器发热的电力。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供沉渣干燥装置，在回收沉渣并使其干燥时，能够不使用加热器而使沉渣干燥。
根据本发明，提供沉渣干燥装置，其从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行磨削而排出的包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣，并使该沉渣干燥，其中，该沉渣干燥装置具有：废液槽，其储存废液；取出单元，其从该废液槽中取出该沉渣；搬送带，其载置通过该取出单元取出的该沉渣而将该沉渣搬送至回收箱；以及干燥单元，其使该搬送带所搬送的该沉渣干燥，该干燥单元包含：干燥箱，其至少包围搬送带的上表面而在该搬送带的延伸方向上延伸；吸气口，其配设在该干燥箱的一端侧；排气口，其配设在该干燥箱的另一端侧；鼓风机，其配设在该干燥箱的外部，从该排气口吸引该干燥箱内的空气，将外部气体从该吸气口吸入至该干燥箱内；分割部，其将基于该鼓风机的来自该干燥箱的排气的流量分割成两部分；以及返回入口，其配设在该干燥箱的该吸气口与该排气口之间，使该分割部所分割的一方的流量的排气返回至该干燥箱中，该沉渣干燥装置使该分割部所分割的一方的流量的排气从该返回入口返回至该干燥箱内，并且将与该分割部所分割的另一方的流量的排气相同的量的外部气体从该吸气口吸入至该干燥箱内，从而使利用该搬送带进行搬送的沉渣干燥。
根据本发明，使分割部所分割的一方的流量的排气(被鼓风机加热的排气)从返回入口返回至干燥箱内，并且将与分割部所分割的另一方的流量的排气相同的量的外部气体从吸气口吸入至干燥箱内，从而能够高效地使利用搬送带进行搬送的沉渣干燥。另外，在使沉渣干燥时，能够抑制氢的浓度而防止氢爆炸。另外，未使用加热器，因此能够抑制沉渣干燥装置的耗电量，沉渣能够在不被加热器的热熔化的条件下进行干燥，并且在进行搬送带的更换、干燥箱内的清扫时，不会产生作业者的等待时间。
附图说明
图1是示出磨削装置和沉渣干燥装置的构造的一例的剖视图。
图2是将废液槽内的阳极板和阴极板的配置放大而示出的剖视图。
图3是示出从附着了沉渣且被取出单元取出的阳极板上使所取出的沉渣落下至干燥箱内的状态的剖视图。
图4是示出干燥前的沉渣被收纳在干燥箱内的状态的剖视图。
图5是示出使搬送带所搬送的沉渣干燥的状态的剖视图。
标号说明
4：磨削装置；49：基台；49a：开口；40：磨削单元；400：旋转轴；404：磨削磨轮；404b：磨具；41：保持工作台；41a：保持面；42：工作台支承台；48：水箱；484：桶部；486：排液口；485a：供液管；12：容器；121：送出泵；1：沉渣干燥装置；2：废液槽；3：取出单元；30：阴极板；33a：壳体；33b：排出部；31：阳极板；310：被卡合部；310a：被卡合孔；32：插拔单元；320：保持部；323：可动部件；34：Y轴方向移动机构；342：铅垂板；36：剥取单元；360：一对开闭气缸；362：一对剥取板；51：搬送带；52：电动机；55：刮板；59：回收箱；6：干燥单元；60：干燥箱；600：通气路；603：顶板；604：吸气口；605：排气口；606：鼓风机；607：分割部；608：返回入口。
具体实施方式
图1所示的本发明的沉渣干燥装置1是在磨削装置4中从一边提供加工水一边利用磨具404b对被加工物W进行磨削而排出的包含被加工物W的粉在内的废液L中回收沉渣并使沉渣干燥的装置。沉渣干燥装置1可以组装至磨削装置4内，也可以与磨削装置4分体。另外，沉渣干燥装置1也可以从利用旋转的切削刀具对被加工物W进行切削加工的切削装置所产生的废液中回收含有大量水分的沉渣。
图1所示的磨削装置4至少具有：保持工作台41，其对固体的被加工物W进行保持；以及磨削单元40，其利用旋转的磨具404b对被加工物W进行磨削。在本实施方式中，被加工物W例如是硅晶片，但也可以是圆柱状的硅锭。
配设在磨削装置4的基台49上的保持工作台41例如具有保持面41a，该保持面41a由多孔部件等构成，与未图示的吸引源连通。保持工作台41能够绕Z轴方向的轴心旋转，并且通过工作台支承台42进行支承。配设在基台49的形成于上表面的开口49a内的工作台支承台42能够通过由电动机和滚珠丝杠机构等构成的未图示的X轴移动机构在X轴方向(纸面前后方向)上往复移动。
在保持工作台41的移动路径两侧配设有箱状的水箱48。水箱48图示在图1的工作台支承台42的左右两处的位置，也形成于图1中纸面前后方向上，形成为俯视时呈矩形的箱状，具有一体的桶部484。即，水箱48为了能够使保持工作台41在X轴方向上往复移动，在箱状的部件的底板480的中央部设置有矩形状的开口部481，水箱48包含由底板480、内侧壁482和外侧壁483构成的接住加工水的桶部484以及形成在底板480的排液口485。在排液口485上连接有延伸至水箱48的外部的供液管485a的一端。水箱48接住利用磨具404b对被加工物W进行磨削而排出的包含粉(例如硅粉)并且从保持工作台41流下的加工水(废液L)，输送至图1所示的容器12中。
图1所示的磨削单元40具有：旋转轴400，其轴向是与保持工作台41的保持面41a垂直的Z轴方向；电动机402，其使旋转轴400旋转；安装座403，其安装于旋转轴400的下端；以及磨削磨轮404，其以能够装卸的方式与安装座403连接。磨削磨轮404具有：圆环状的磨轮基台404a；以及多个磨具404b，它们具有大致长方体形状的外形，呈环状配设在磨轮基台404a的下表面上。磨具404b是利用适当的结合剂粘固金刚石磨粒等而成型的。并且，磨削单元40能够沿Z轴方向上下移动。
例如在旋转轴400的内部沿旋转轴400的轴向(Z轴方向)贯通而设置有与加工水提供源连通的作为加工水的通道的未图示的流路。该流路以能够在磨轮基台404a的底面上朝向磨具404b喷出加工水的方式开口。另外，可以在与下降至对被加工物W进行磨削的位置的状态的磨削单元40的磨削磨轮404相邻的位置配设有加工水喷嘴，从该加工水喷嘴向磨具404b与被加工物W的接触部位提供加工水。
本发明的沉渣干燥装置1具有：废液槽2，其储存废液L；取出单元3，其从废液槽2内的废液L中取出含有大量水分的沉渣P；搬送带51，其载置被取出单元3取出的沉渣P而将沉渣P搬送至回收箱59；以及干燥单元6，其使搬送带51所搬送的沉渣P干燥。
在比水箱48的排液口485低的位置例如配设有对废液L进行收纳的容器12，该容器12具有与供液管485a的另一端连接的提供口120。容器12具有送出泵121，该送出泵121从容器12内把包含沉渣P的废液L汲上来而送出至废液槽2，送出泵121经由送出管121a而朝向废液槽2的流入口20送出包含沉渣P的废液L。
大致长方体的箱状的废液槽2例如由合成树脂等绝缘部件形成，包含俯视矩形的底板21以及从底板21的外周一体地向+Z方向立起的四个侧壁，能够在由底板21和各侧壁包围的空间内储存包含沉渣P的废液L。在图1中，将在X轴方向上对置的两个侧壁(仅图示了纸面里侧的)作为侧壁22a，将在Y轴方向上对置的两个侧壁作为侧壁22b。另外，在废液槽2的上部设置有防止废液L溢出的未图示的溢流管。溢流管与容器12连通，将要从废液槽2溢出的废液L再次导入至容器12。
取出单元3从废液槽2内的废液L中取出含有大量水分的沉渣P，该取出单元3例如具有：阴极板30，其配设在废液槽2中，带有负电；阳极板31，其与阴极板30面对，能够相对于废液槽2进行插拔，带有正电，吸附含有大量水分的沉渣P；插拔单元32，其使对阳极板31进行保持的保持部320在上下方向上移动而将阳极板31从废液槽2拔出或者插入至废液槽2；以及剥取单元36，其夹着利用插拔单元32从废液槽2拔出的阳极板31而剥取所附着的沉渣P。
阳极板31由电化学上贵重的材料构成，平面形状形成为矩形状的平板状。例如阳极板31可以由铜、银、铂或金等材料构成。在本实施方式中，应用不锈钢作为阳极板31。
例如在废液槽2的在X轴方向上对置的两个侧壁22a的内侧面上形成有未图示的多个支承槽，阳极板31按照在X轴方向上隔开规定的间隔而插嵌在该各支承槽的状态配设在废液槽2内。即，多个阳极板31按照其表面与废液槽2的长度方向(Y轴方向)垂直的状态、换言之与废液槽2的宽度方向(X轴方向)平行的状态相互隔开规定的间隔而配置。在阳极板31的上端面上例如设置有从宽度方向(X轴方向)的中央部起相互在X轴方向上隔开间隔而向上方突出的两个被卡合部310(仅图示一个)。被卡合部310形成为矩形状的板状，在中央设置有在X轴方向上贯通的被卡合孔310a。插拔单元32的保持部320的卡合销320a进入被卡合孔310a而进行卡合。
阴极板30设置在相互相邻的阳极板31之间。即，阴极板30与阳极板31在Y轴方向上对置，与阳极板31分开而交替配设有多个，成为与阳极板31平行的状态。
阴极板30例如如图1所示，通过侧视呈矩形状的壳体33a进行支承，在壳体33a形成有排出部33b。排出部33b例如是将已去除了沉渣P而流入至壳体33a内的净水供应至未图示的净水储水容器的配管。并且，阴极板30按照封住壳体33a的两侧开口面的方式相互隔开间隔而配设成平行。
阴极板30与阳极板31同样地由电化学上贵重的材料构成，平面形状形成为矩形的平板状。例如阴极板30可以由铜、银、铂或金等材料构成。在本实施方式中，应用不锈钢作为阴极板30。阴极板30形成为具有网眼的板状，不具有利用网眼钩挂沉渣P的功能，通过带负电而对沉渣P产生排斥力。即，阴极板30通过带负电，仅允许作为废液L的液体的净水通过，在与带负电的沉渣P之间则产生排斥力，限制沉渣P的通过。由此，壳体33a和阴极板30在内侧形成供通过了阴极板30的净水存在的区域，阴极板30与沉渣P之间产生排斥力，从而从废液槽2内的包含沉渣P的废液L中划分出供净水存在的区域。
在对各阴极板30进行支承的壳体33a和各阳极板31的下端与废液槽2的底板21之间设置有规定宽度的间隙，流入至废液槽2的废液L通过该间隙而在各阴极板30与各阳极板31之间上升。
在本实施方式中，在阳极板31与阴极板30之间施加直流电压(参照图2)。即，直流电源DC的正极(+)侧与阳极板31电连接而使阳极板31在废液L中带正电。阳极板31在废液L中带正电而用于吸附在废液L中带负电的沉渣P。另一方面，直流电源DC的负极(-)侧与阴极板30电连接而使阴极板30在废液L中带负电。
插拔单元32将图1所示的阳极板31从废液槽2中拔出或者插入至废液槽2，该插拔单元32能够通过Y轴方向移动机构34在废液槽2的上方水平地沿Y轴方向往复移动。Y轴方向移动机构34具有：基座341，其沿Y轴方向延伸；铅垂板342，其能够沿着基座341在Y轴方向上移动且沿Z轴方向延伸；以及未图示的滚珠丝杠机构，其使铅垂板342移动；等等。
插拔单元32能够通过可动部件323在铅垂板342的侧面上沿Z轴方向往复移动。插拔单元32的对阳极板31进行保持的保持部320例如是配设在可动部件323的侧面上的一对卡盘气缸。一对保持部320在废液槽2的宽度方向(X轴方向)上隔开规定的间隔而对置。一对保持部320具有：气缸主体320b，其安装于可动部件323；以及卡合销320a，其设置成从气缸主体320b沿废液槽2的宽度方向(X轴方向)伸缩自如。在一对保持部320中，例如从气缸主体320b突出的卡合销320a进行在X轴方向上相互靠近的动作。当各卡合销320a在可动部件323下降而将保持部320定位于阳极板31的上方的状态下从气缸主体320b突出时，分别插嵌至阳极板31的各被卡合部310的被卡合孔310a中。由此，成为插拔单元32的保持部320对阳极板31进行保持的状态。
剥取单元36对利用插拔单元32从废液槽2中拔出的阳极板31进行夹持而剥取所附着的沉渣P，该剥取单元36在图1中简化示出，在图3中详细示出。剥取单元36配设在吸气口604的上方附近，该吸气口604设置在干燥单元6的干燥箱60的一端侧(-Y方向侧)。剥取单元36具有：一对开闭气缸360(电动气缸或空气气缸)；对一对开闭气缸360进行支承的一对支承板部361；以及通过一对开闭气缸360在Y轴方向上移动的一对剥取板362。
一对开闭气缸360具有：筒状的缸筒360a，其在内部具有未图示的活塞；以及活塞杆360b，其插入至缸筒360a，外侧端安装于活塞。剥取板362固定于活塞杆360b的内侧端，剥取板362与阳极板31的宽度(X轴方向长度)相比较长地在X轴方向上延伸。
作为这样的结构的剥取单元36能够利用剥取板362夹持阳极板31的表面。在夹持着阳极板31的表面的状态下，将插拔单元32的对阳极板31进行保持的保持部320例如向上方提起，从而剥取板362能够将吸附在阳极板31的含有大量水分的沉渣P剥取。
例如在与废液槽2相邻的位置配设有图1、图3所示的从沉渣P中去除水分的干燥单元6，搬送带51对被取出单元3取出的含有水分的沉渣P进行载置而将沉渣P搬送至回收箱59，该搬送带51配设成在构成干燥单元6的干燥箱60内沿Y轴方向延伸。
使搬送带51所搬送的沉渣P干燥的干燥单元6具有：干燥箱60，其至少包围搬送带51的上表面而沿搬送带51的延伸方向(Y轴方向)延伸；吸气口604，其配设在干燥箱60的一端侧；排气口605，其配设在干燥箱60的另一端侧；鼓风机606，其配设在干燥箱60外，从排气口605吸引干燥箱60内的空气，使外部气体从吸气口604吸入至干燥箱60内；分割部607，其将基于鼓风机606的排气分割成两部分；以及返回入口608，其配设在干燥箱60的吸气口604与排气口605之间，将分割部607所分割的一方的排气返回至干燥箱60中。
干燥箱60例如具有俯视大致长方体状的外形，干燥箱60包含：矩形的底板601；四个侧壁，它们从底板601的外周一体地向+Z方向立起；以及顶板603，其与侧壁的上端连结，在与搬送方向垂直的方向(Z轴方向)上与搬送带51的上表面面对。在图1、图3中，将在X轴方向上对置的两个侧壁(仅图示纸面里侧)作为侧壁602a，将在Y轴方向上对置的两个侧壁作为侧壁602b。干燥箱60的内部成为使气体在沉渣P的搬送方向上流通的通气路600。
在顶板603的一端侧(-Y方向侧)沿厚度方向贯通形成有吸气口604，从阳极板31剥取而落下的含有水分的沉渣P通过吸气口604而进入至干燥箱60内。在吸气口604的上方配设有盖部604d，该盖部604d能够通过铰链进行开闭，在盖部604d中贯通形成有吸气路604c。例如在吸气口604的下方配设有引导板604b，该引导板604b倾斜，以便将被剥取而落下的含有水分的沉渣P引导至搬送带51上。
环状的搬送带51能够通过电动机540进行转动。电动机540例如固定于侧壁602a，在电动机540的轴上安装有驱动辊541，搬送带51卷绕于驱动辊541。在侧壁602a上，在Y轴方向上距离电动机540规定的距离的位置安装有从动辊542，搬送带51也卷绕于该从动辊542。电动机540对驱动辊541进行旋转驱动，从而搬送带51随着驱动辊541和从动辊542的旋转而转动。
沉渣干燥装置1例如具有刮板55，其将载置于搬送带51上的含有水分的沉渣P在搬送带51上拉长成规定的厚度。刮板55的X轴方向的两端例如固定于各侧壁602a。
另外，在顶板603的另一端侧(+Y方向侧)贯通形成有将气体排出至干燥箱60外的排气口605。鼓风机606的吸入口经由排气管605b而与排气口605连通。在鼓风机606的排出口606a连接有配管606b的一端，在配管606b的另一端连接有将基于鼓风机606的排气的流量分割成两部分的分割部607。分割部607例如是能够对排气管607a和导入管607b这两个流路的流量进行调整的三通阀。分割部607可以由能够调整分割管、排气管607a以及导入管607b中的任意一方的流量的调整阀构成。另外，也可以利用排气管607a和导入管607b的配管直径来分割排气的流量。
在分割部607连接有排气管607a和导入管607b的一端，该排气管607a与具有吸引单元的工厂设备的排气装置连通；该导入管607b用于使分割部607所分割的一方的流量的排气返回至干燥箱60内。
在顶板603的吸气口604与排气口605之间形成有返回入口608，连接有导入管607b的另一端。
在底板601的另一端侧(+Y方向侧)沿厚度方向贯通形成有排出口609，搬送带51使干燥后的沉渣P1(参照图1)朝向该排出口609落下。在排出口609的下方配设有能够通过弹簧铰链进行开闭的盖部609d。
在干燥箱60的另一端(+Y方向侧的端)的下方配设有回收箱59。回收箱59例如外形形成为大致长方体状，在干燥箱60的排出口609的正下方开口。在回收箱59的上部例如配设有未图示的传感器(例如透过型光传感器)。干燥后的沉渣P1(参照图1)落入回收箱59内，当沉渣P1在回收箱59内储存至规定的高度时，通过该传感器进行要更换回收箱59的报警。
例如可以在顶板603的下表面上形成有多个凸部603a。凸部603a在图1、图3所示的例子中具有半球体状的外形，但不限于此，也可以具有圆柱状或棱柱状的外形。凸部603a例如在顶板603的下表面上沿X轴方向和Y轴方向隔开规定的等间隔而配设有多个，但也可以在顶板603的下表面上无规地配设有多个。另外，在凸部603a为圆柱状或棱柱状的外形的情况下，可以在X轴方向上延伸而在Y轴方向上隔开规定的等间隔而配设有多个。
在干燥箱60内的通气路600上沿搬送方向流动的气体与干燥箱60的顶板603的下表面的凸部603a碰撞而成为湍流。即，在搬送带51上产生不规则的气体的旋涡，并且气体在搬送方向上流动。其结果是，对搬送带51的上表面的含有大量水分的沉渣P喷送湍流，从而更容易蒸发沉渣P的水分。另外，凸部603a也可以不形成于顶板603的下表面。
以下，对沉渣干燥装置1的动作进行说明，该沉渣干燥装置1从一边提供加工水一边利用磨具404b对图1所示的被加工物W进行磨削而排出的包含被加工物W的粉在内的废液L中回收含有大量水分的沉渣P。
首先，在利用保持工作台41的保持面41a对被加工物W进行吸引保持之后，对工作台支承台42进行驱动而成为在保持工作台41上的被加工物W与磨具404b对置的磨削位置进行定位的状态。
电动机402使旋转轴400绕Z轴方向的轴心进行旋转驱动，与此相伴磨削磨轮404进行旋转。磨削单元40下降，旋转的磨具404b与保持工作台41所保持的被加工物W的上表面抵接而进行磨削。另外，保持工作台41按照规定的旋转速度进行旋转，保持面41a上的被加工物W也进行旋转，因此磨具404b进行被加工物W的整个上表面的磨削加工。磨削中，对磨具404b与被加工物W的上表面的接触部位提供加工水，对接触部位进行冷却、清洗。
通过该磨削加工对被加工物W进行磨削而形成微细的粉(硅粉)，并且硅粉混入加工水而生成废液L。所生成的废液L在经由开口49a流入至水箱48之后，经由供液管485a、容器12以及送出管121a而流入并储存于废液槽2中。被加工物W的粉吸收加工水而成为含有大量水分的沉渣P。
在这样废液L储存于废液槽2的状态下，如图2所示，使阳极板31和阴极板30着液在废液L中，将直流电源DC的正极(+)供电至阳极板31，另一方面将直流电源DC的负极(-)供电至阴极板30。其结果是，在阳极板31与阴极板30之间形成电场。并且，混入至废液L且带负(-)电的沉渣P通过电泳而被带负(-)电的阴极板30排斥，吸附在带正(+)电的阳极板31上。
在阳极板31吸附一定量的沉渣P之后，图1所示的Y轴方向移动机构34将插拔单元32的保持部320定位于一个阳极板31的上方。接着，保持部320下降而对阳极板31进行保持，将阳极板31从废液槽2内的废液L中提起。并且，Y轴方向移动机构34使保持着阳极板31的保持部320移动至干燥箱60的吸气口604上方。
然后，如图3所示，利用剥取单元36的一对开闭气缸360使一对剥取板362水平移动，利用剥取板362夹持阳极板31。从该状态起，可动部件323(参照图1)使保持部320上升而将阳极板31提起。由此，从阳极板31剥取含有大量水分的沉渣P，如图4所示成为块，并从干燥箱60的吸气口604落在箱内部的引导板604b上，进一步移动至搬送带51上。
接着，如图5所示，例如成为吸气口604被盖部604d关闭的状态。另外，通过电动机540、驱动辊541以及从动辊542使搬送带51转动而将含有水分的沉渣P从-Y方向侧向+Y方向侧搬送。如图5所示，在搬送带51的上方配设有刮板55，因此搬送带51上的含有水分的沉渣P在刮板55的下方通过，从而在搬送带51上被拉长成规定的厚度(例如1mm～2mm)。
利用上述搬送带51进行含有大量水分的沉渣P的搬送，并且对配设在干燥箱60外的鼓风机606进行驱动而从排气口605吸引干燥箱60内的空气。由此，将外部气体(空气)从盖部604d的吸气路604c和吸气口604吸入至干燥箱60内，空气在通气路600上沿搬送方向(-Y方向至+Y方向)流动。其结果是，将搬送带51上的沉渣P的水分蒸发而使沉渣P干燥。
如箭头A所示，鼓风机606的风量例如设定为10m3/分钟。并且，从干燥箱60内吸气并从鼓风机606的排出口606a排出到配管606b的排气G被分割部607分割成向工厂设备的排气装置侧流动的另一方的流量(例如风量为5m3/分钟)的排气G2以及返回至干燥箱60内的一方的流量(例如风量为5m3/分钟)的排气G1这两部分。另外，排气G吸收鼓风机606的未图示的电动机所产生的热，因此在鼓风机606内温度上升5度～6度。因此，一方的排气G1的温度也比从吸气口604吸入至干燥箱60的外部气体高5度～6度的温度。并且，一方的排气G1经由导入管607b和返回入口608而返回至干燥箱60内。另外，一方的排气G1的流量与另一方的排气G2的流量之比并不限于上述那样的1：1。
使分割部607所分割的一方的流量的排气G1从返回入口608返回至干燥箱60内，并且继续利用鼓风机606从干燥箱60内吸气。并且，干燥箱60内的气压保持恒定，因此与分割部607所分割的另一方的流量的排气G2相同的量(例如风量为5m3/分钟)的外部气体从吸气口604如箭头B和C所示那样吸入至干燥箱60内。并且，一方的流量的排气G1和从吸气口604吸入的外部气体混合，在通气路600上沿搬送方向(-Y方向至+Y方向)流动，由此将搬送带51上的沉渣P的水分蒸发而使沉渣P干燥。
这样，在本发明的沉渣干燥装置1中，使分割部607所分割的一方的流量的排气G1(被鼓风机606加热的排气)从返回入口608返回至干燥箱60内，并且使与分割部607所分割的另一方的流量的排气G2相同的量的外部气体从吸气口604吸入至干燥箱60内，从而能够将搬送带51所搬送的沉渣P高效地干燥。另外，在使沉渣P干燥时，在干燥箱60内，由于空气与沉渣P的接触而产生氢，但与加热器干燥的情况不同，所产生的氢不会积存在干燥箱60内，即能够抑制干燥箱60内的氢的浓度，因此能够防止氢爆炸。另外，未使用加热器，因此能够抑制沉渣干燥装置1的耗电量，沉渣P能够在不被加热器的热融化的条件下进行干燥，从而不会使沉渣P粘在搬送带51上，并且在进行搬送带51的更换、干燥箱60内的清扫时，不会产生作业者的等待时间。另外，也能够减少流入至工厂设备的排气装置侧的排气量，因此也能减轻工厂设备的排气装置的负担。
如上述那样从含有水分的沉渣P中去除水分，从而仅干燥的沉渣P1残留在搬送带51上。当搬送带51上的干燥的沉渣P1超过从动辊542而被搬送时，沉渣P1朝向回收箱59落下。通过干燥的沉渣P1的重量将盖部609d打开，从而将去除了水分的沉渣P1回收至回收箱59。
本发明的沉渣干燥装置1不限于本实施方式，当然可以在其技术思想的范围内利用各种不同的方式实施。另外，对于附图所示的沉渣干燥装置1、磨削装置4的各结构的形状等，也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内适当变更。

Claims (1)

1.一种沉渣干燥装置，其从一边提供加工水一边利用磨具对被加工物进行磨削而排出的包含被加工物的粉在内的废液中回收含有大量水分的沉渣，并使该沉渣干燥，其中，
该沉渣干燥装置具有：
废液槽，其储存废液；
取出单元，其从该废液槽中取出该沉渣；
搬送带，其载置通过该取出单元取出的该沉渣而将该沉渣搬送至回收箱；以及
干燥单元，其使该搬送带所搬送的该沉渣干燥，
该干燥单元包含：
干燥箱，其至少包围搬送带的上表面而在该搬送带的延伸方向上延伸；
吸气口，其配设在该干燥箱的一端侧；
排气口，其配设在该干燥箱的另一端侧；
鼓风机，其配设在该干燥箱的外部，从该排气口吸引该干燥箱内的空气，将外部气体从该吸气口吸入至该干燥箱内；
分割部，其将基于该鼓风机的来自该干燥箱的排气的流量分割成两部分；以及
返回入口，其配设在该干燥箱的该吸气口与该排气口之间，使该分割部所分割的一方的流量的排气返回至该干燥箱中，
该沉渣干燥装置使该分割部所分割的一方的流量的排气从该返回入口返回至该干燥箱内，并且将与该分割部所分割的另一方的流量的排气相同的量的外部气体从该吸气口吸入至该干燥箱内，从而使利用该搬送带进行搬送的沉渣干燥。
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