JP2015107885A - シリコンパウダーの生成方法及びシリコンパウダー生成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】粒子径を均等化したシリコンパウダーを容易に採取できるようにすること。
【解決手段】加工液を供給しつつ砥石（２８）を用いてシリコン板（Ｓ）を研削し、加工液に研削されたシリコンパウダー（Ｐ）を混入させてシリコン混入液（Ｌ）を生成する。
次いで、シリコン混入液（Ｌ）を貯水する貯水槽（５２）に配設される陰極板（６１）とエンドレスベルト（６８）とに通電させる。この通電による電気泳動によって、エンドレスベルトでシリコンパウダーが採取される。その後、採取したシリコンパウダーの水分を除去させる。
【選択図】図２

Description

本発明は、シリコンパウダーの生成方法及びシリコンパウダー生成装置に関し、特に、結晶性シリコンを研削することでシリコンパウダーを採取することができるシリコンパウダーの生成方法及びシリコンパウダー生成装置に関する。

従来、リチウムイオン電池などの蓄電池においては、マイナス電極の材料として炭素系材料が使用されている。一方、リチウムイオン電池を急速充電、或いは、急速放電を行えるようにしたり、大容量化に対応したりするため、マイナス電極の材料として、シリコンを利用することが注目されている（例えば、特許文献１参照）。シリコンにおいては、蓄電容量が炭素系材料に比べて数倍になることが期待され、そのためには、シリコンを微細粉末状にすることが重要とされている。具体的には、リチウムイオン電池のマイナス電極で用いられるシリコン微粒子にあっては、粒径が１０ｕｍ以下、通常は５ｕｍ以下で大きさが揃っていることが必要とされている。

特許文献１におけるシリコン微粒子の生成は、先ず、研削刃を用いてシリコンを表面研削して微細な粉末状としている。そして、粉末状の微細なシリコンを分散液中に分散した状態で保持した後、遠心分離法や湿式サイクロン分離を行うことにより、所定の粒径のシリコン微粒子を分離して取り出している。

特開２０１２−２０６９２３号公報

しかしながら、特許文献１にあっても、均等な粒子径のシリコンパウダーを採取することは困難であった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、シリコンパウダーの粒子径の均等化を図ることができ、シリコンパウダーを容易に採取することができるシリコンパウダーの生成方法及びシリコンパウダー生成装置を提供することを目的とする。

本発明のシリコンパウダーの生成方法は、加工液を供給しつつ砥石を用いて結晶性シリコンを研削し、加工液に研削されたシリコンパウダーを混入させてシリコン混入液を生成するシリコン混入液生成工程と、シリコン混入液生成工程にて生成されるシリコン混入液を貯水する貯水槽に配設されるマイナス電極とプラス電極とに通電させ、プラス電極でシリコンパウダーを採取するシリコンパウダー採取工程と、シリコンパウダー採取工程にて採取したシリコンパウダーの水分を除去させる乾燥工程と、を行うことを特徴とする。

この構成によれば、シリコンパウダーの採取にあたり電気泳動を利用しているので、均等な粒子径のシリコンパウダーのみを容易に採取することが可能となる。しかも、砥石によってシリコン板を研削してシリコンパウダーを形成しているので、砥石の砥粒を変えることで、シリコンパウダーの粒径を調整でき、砥粒を小さくすれば粒子径が小さいシリコンパウダーを容易に生成することができる。

また、本発明のシリコンパウダーの生成方法は、シリコン混入液生成工程およびシリコンパウダー採取工程にて、シリコン混入液を中性から弱酸性に維持するとよい。この構成では、シリコンパウダーの表面に酸化膜が付着することを防止することができる。

また、本発明のシリコンパウダーの生成方法では、加工液は、加工液中の酸素を除去する脱酸素工程を経た純水を用いるとよい。この構成においても、シリコンパウダー表面における酸化膜の付着を防止することができる。

また、本発明のシリコンパウダーの生成方法では、加工液は、二酸化炭素を溶解させ電導率を高めた超純水を用いるとよい。この構成によれば、電気泳動によるシリコンパウダーの採取を効率良く行うことができる。

本発明のシリコンパウダー生成装置は、結晶性シリコンからなるシリコン板を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたシリコン板に対し、加工液を供給しつつ砥石を接触させてシリコンパウダーを生成し、加工液にシリコンパウダーを混入させてシリコン混入液を生成する混入液生成手段と、混入液生成手段で生成されるシリコン混入液を、マイナス電極を備える貯水槽に貯水し、貯水されたシリコン混入液にプラス電極を有する吸着部材を浸水させ、吸着部材にシリコンパウダーを吸着させて採取するシリコンパウダー採取手段と、シリコンパウダー採取手段で採取したシリコンパウダーの水分を除去する乾燥手段と、を備える、ことを特徴とする。この構成では、電気泳動によってシリコンパウダーを採取でき、シリコンパウダーの粒径の均等化を図ることができる。

また、本発明のシリコンパウダー生成装置は、シリコンパウダー採取手段および乾燥手段を包囲して密閉可能な採取室を有し、採取室に脱酸素手段を設けることが好ましい。この構成では、シリコンパウダーに酸化膜が形成されることを抑制することができる。

また、本発明のシリコンパウダー生成装置は、シリコン混入液を中性から弱酸性に維持するｐＨ調整手段を備えているとよい。この構成では、シリコンパウダー表面における酸化膜の付着を防止することができる。

本発明によれば、シリコンパウダーの粒子径の均等化を図ることができ、シリコンパウダーを容易に採取することができる。

実施の形態に係るシリコンパウダー生成装置の全体概略斜視図である。 上記シリコンパウダー生成装置の断面模式図である。 上記シリコンパウダー生成装置が有するシリコンパウダー採取手段の概略斜視図である。

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、実施の形態に係るシリコンパウダー生成装置の全体概略斜視図である。

図１に示すように、シリコンパウダー生成装置１０は、略直方体形状の基台１１の上部に設けられたチャックテーブル１２と、チャックテーブル１２に保持されたシリコン板Ｓを加工して後述するシリコン混入液Ｌ（図２参照）を生成する混入液生成手段１３とを備えて構成されている。シリコン板Ｓは、円板状に形成された結晶性シリコンからなる。

チャックテーブル１２は、円盤形状を有し、図示しないチャック回転手段によって円盤中心を軸に回転可能に設けられている。チャックテーブル１２の上面にはシリコン板Ｓを吸着保持する保持面１２ａが設けられている。保持面１２ａは、たとえば、ポーラスセラミック材により構成されており、ポーラスセラミック材は吸引源（不図示）に接続されている。

チャックテーブル１２は、略正方形状のテーブル支持台１６に支持されている。テーブル支持台１６は、基台１１の上面に形成された開口部１１ａ内に配設され、開口部１１ａは、Ｘ軸方向に延在する矩形状をなす。また、テーブル支持台１６は、図示しない駆動機構に接続されており、この駆動機構から供給される駆動力によって、開口部１１ａ内をＸ軸方向にスライド移動する。これにより、チャックテーブル１２は、加工前のシリコン板Ｓを供給し、また、加工後のシリコン板Ｓを回収する載せ替え位置と、後述する砥石２８とシリコン板Ｓとが対向する研削位置との間をスライド移動する。

開口部１１ａの内側は、テーブル支持台１６に加え、蛇腹状のカバー部材１８で覆われている。カバー部材１８は、テーブル支持台１６の前面および後面に取り付けられるとともに、その移動位置に応じて伸縮可能に設けられている。

基台１１の上面において、開口部１１ａの後方には、垂直方向に延在するコラム１９が配設され、コラム１９の前面には混入液生成手段１３を構成する研削手段２１が設けられている。研削手段２１では、円筒状のスピンドル２２の下端にホイールマウント２３が設けられ、ホイールマウント２３の下面に対し、研削ホイール２４が装着されている。スピンドル２２は、回転手段となる駆動モータ２６の出力軸に固定されている。従って、研削ホイール２４は、駆動モータ２６の駆動によってスピンドル２２を介して回転される。

研削ホイール２４は、ホイール基台の下面に複数の砥石２８を環状に配置して構成されている。砥石２８は、たとえば、ビトリファイドボンド砥石で構成され、スピンドル２２の駆動に伴ってＺ軸まわりに高速回転する。砥石２８は、下面が研削面となってシリコン板Ｓに回転しながら接触し、この接触によってシリコン板Ｓを研削して微粒子状のシリコンパウダーＰ（図２参照）を生成する。また、研削手段２１は、不図示のノズルを備え、砥石２８によってシリコン板Ｓを研削するときに、ノズルからチャックテーブル１２に保持されたシリコン板Ｓに加工液が供給される。供給された加工液には、研削中にシリコンパウダーＰが混入され、このシリコンパウダーＰが混入された加工液がシリコン混入液Ｌ（図２参照）となる。

ここで、シリコンパウダーＰの生成は、砥石２８によるシリコン板Ｓの研削によって行われるので、砥粒の粒子径が異なる砥石２８に交換することで、シリコンパウダーＰの粒子径を調整することができる。シリコンパウダーＰは、砥石２８における砥粒の粒子径が小さくなる程、小さい粒子径に形成される。砥石２８の砥石番手、砥粒径、シリコンパウダーの粒径については、下記表１に示す関係となる。

研削手段２１は、コラム１９に設けられた研削送り手段３０によって駆動されて上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に構成され、研削手段２１とチャックテーブル１２とを相対的に接近および離反させることが可能である。研削送り手段３０は、Ｚ軸テーブル３１を有しており、Ｚ軸テーブル３１の前面側に取り付けられた支持部３２を介して研削手段２１が支持されている。Ｚ軸テーブル３１の背面には、後方に突出したナット部（不図示）が設けられている。Ｚ軸テーブル３１のナット部には、コラム１９の前面に設けられたボールネジ３３が螺合されている。そして、ボールネジ３３の一端部に連結されたサーボモータ３４が回転駆動されることで、研削手段２１が上下方向（Ｚ軸方向）に移動される。

基台１１の内部には、混入液生成手段１３を構成する回収手段３６が配設されている。回収手段３６は、カバー部材１８と、カバー部材１８の外周下方位置に設けられたウォーターケース３７とを備えている。

図２は、回収手段及びその周辺構造を示す断面模式図である。図２に示すように、回収手段３６を構成するウォーターケース３７は、開口部１１ａの形成縁に沿って延びる樋状に形成されて上方を開放している。ウォーターケース３７の内部には、研削手段２１で生成されたシリコン混入液Ｌが流れ込み貯留される。ウォーターケース３７は、貯留されたシリコン混入液Ｌを排出する排水口３７ａを底部に備えている。なお、ウォーターケース３７は、図２の左右２箇所位置に図示しているが、図２中紙面直交方向両側にも形成されており、平面視では矩形の枠状に形成され、一体となる貯水空間を有している。

カバー部材１８は、開口部１１ａの形成縁に隣接する領域に形成された垂下部１８ａを備えている。垂下部１８ａは、ウォーターケース３７に溜まったシリコン混入液Ｌに下端側が浸漬してウォーターシールを形成している。このウォーターシールによってカバー部材１８とウォーターケース３７との間がシールされ、装置内にシリコン混入液Ｌが浸入するのを防止している。

ウォーターケース３７には、シリコン混入液ＬのｐＨを調整するｐＨ調整手段３９が設けられている。ｐＨ調整手段３９は、ｐＨセンサ４０と、酸及び／又はアルカリを添加するための注入装置４１を備えている。酸は塩酸、硫酸、硝酸等を使用でき、アルカリは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等を使用できる。

ｐＨセンサ４０は、注入装置４１と電気的に連動している。注入装置４１は、ｐＨセンサ４０におけるｐＨの測定値に対応して酸またはアルカリの薬品をウォーターケース３７に投入し、シリコン混入液Ｌを中性から弱酸性のｐＨに維持する。なお、ウォーターケース３７には、注入装置４１４から薬品が注入されたシリコン混入液Ｌを撹拌する不図示の撹拌手段が設けられる。

図１に戻り、基台１１の内部には採取室４３が設けられている。採取室４３は、箱状に形成され、後述するシリコンパウダー採取手段５０および乾燥手段８０を包囲して密閉可能に設けられている。採取室４３には、脱酸素手段４４が接続され、この脱酸素手段４４は、後述する乾燥手段８０が回収箱７７に吹き付ける窒素ガスを供給する。

図２に示すように、シリコンパウダー生成装置１０を構成するシリコンパウダー採取手段５０は、採取室４３の内部に配設されている。続いて、図２及び図３を参照して、シリコンパウダー採取手段について説明する。図３は、シリコンパウダー採取手段の斜視図を示している。図３に示すように、シリコンパウダー採取手段５０は、支持ラック５６の下側に配置されたタンク５１と、支持ラック５６の上面に載置された貯水槽５２と、貯水槽５２に組み込まれた分離機構５３と、貯水槽５２の後方であって、分離機構５３の下側に配設された回収機構５４とを備えている。

タンク５１には供給口５１ａが形成され、図２に示すように、供給口５１ａはホース５７によって排水口３７ａと連通している。これにより、ウォーターケース３７内のシリコン混入液Ｌがタンク５１内に流れ込んで収容される。タンク５１は、内部のシリコン混入液Ｌを貯水槽５２に送出するポンプ５８を備えている。貯水槽５２には流入口５２ａが設けられ、この流入口５２ａはポンプ５８の吐出口にホース５９を介して接続されている。

分離機構５３は、貯水槽５２に貯水されたシリコン混入液ＬからシリコンパウダーＰを分離する。分離機構５３は、貯水槽５２内に備えられた複数の陰極板６１と、複数の下部ローラ６２とを有している。陰極板６１は、図２中左右方向に並んで設けられ、隣り合う陰極板６１の間に下部ローラ６２が設けられている。また、各陰極板６１の上方位置には、上部ローラ６３がそれぞれ設けられている。上部ローラ６３より上方であって、図２中左側位置には、電動モータ６５によって回転駆動する駆動ローラ６６が設けられる一方、図２中右側位置には、従動ローラ６７が設けられている。駆動ローラ６６、従動ローラ６７、複数の上部ローラ６３および複数の下部ローラ６２には、吸着部材としてのエンドレスベルト６８が掛け回されている。エンドレスベルト６８は、導電性を有する例えば厚みが５０μｍの可撓性を有するステンレス鋼板によって形成されている。エンドレスベルト６８の下部ローラ６２周辺部と陰極板６１とは、貯水槽５２に貯水されたシリコン混入液Ｌに浸水している。

エンドレスベルト６８と陰極板６１との間には直流電圧が印可される。即ち、エンドレスベルト６８に直流電源７０のプラス（＋）が接続されてプラス電極となり、陰極板６１に直流電源７０のマイナス（−）が接続されてマイナス電極となる。

各下部ローラ６２及び上部ローラ６３は、貯水槽５２の内面側に回転可能に支持されている。また、図３に示すように、駆動ローラ６６及び電動モータ６５は、貯水槽５２の上方に形成されたブラケット７１を介して回転可能に支持され、従動ローラ６７は、後述する回収箱７７の上方に形成されたブラケット７２を介して回転可能に支持されている。

図２に戻り、回収機構５４は、上剥離部７５と、下剥離部７６と、回収箱７７とを備えている。上剥離部７５及び下剥離部７６は、図２中右側の上部ローラ６３と従動ローラ６７との間に位置するエンドレスベルト６８を挟むように設けられている。上剥離部７５及び下剥離部７６は、エンドレスベルト６８に接する先端部が先細形状に形成され、エンドレスベルト６８に吸着したシリコンパウダーＰを掻き取るように構成されている。回収箱７７は、上剥離部７５及び下剥離部７６の下方に設けられ、上剥離部７５及び下剥離部７６によって掻き取られて落下したシリコンパウダーＰを収容可能に設けられている。なお、回収箱７７は、後述する窒素ガスを透過可能な素材によって構成されている。

ここで、採取室４３の内部には、シリコンパウダー採取手段５０に加えて乾燥手段８０が設置されている。乾燥手段８０は、回収箱７７に向かって窒素ガスを吹き付け可能に設けられ、シリコンパウダー採取手段５０で採取したシリコンパウダーＰの水分を除去する。

図１に戻り、基台１１内には、シリコンパウダー生成装置１０の各部を統括制御する制御部８５が設けられている。制御部８５は、各種処理を実行するプロセッサや、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ），ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などの記憶媒体を含んで構成される。制御部８５は、たとえば、直流電源７０からの印加される電圧や、駆動モータ２６や電動モータ６５の駆動等を制御する。

次いで、本実施の形態のシリコンパウダー生成装置１０を用いたシリコンパウダーＰの生成方法について説明する。先ず、図１に示すように、シリコン板Ｓをチャックテーブル１２の保持面１２ａで吸引保持した後、テーブル支持台１６を駆動してチャックテーブル１２をＸ軸方向に移動し、シリコン板Ｓが砥石２８と対向する研削位置で位置決めした状態とする。

この状態から、シリコン混入液Ｌを生成するシリコン混入液生成工程を行う。この工程は、先ず、砥石２８を回転しながら研削手段２１を下降し、不図示のノズルからシリコン板Ｓに加工液を供給しつつ、シリコン板Ｓに砥石２８を接触させて研削加工を行う。この研削加工によってシリコン板Ｓが研削されて微細な粉末状をなすシリコンパウダーＰが形成されるとともに、シリコンパウダーＰが加工液に混入してシリコン混入液Ｌが生成される。生成されたシリコン混入液Ｌは、図２に示すように、カバー部材１８を伝ってウォーターケース３７に流れ込んだ後、タンク５１を経て貯水槽５２に貯水される。

シリコン混入液生成工程において、ウォーターケース３７に流れ込んだシリコン混入液ＬのｐＨを中性から弱酸性に維持する処理を行う。この処理は、ｐＨ調整手段３９のｐＨセンサ４０によってシリコン混入液ＬのｐＨを測定し、その測定値に応じて注入装置４１から酸またはアルカリの薬品をウォーターケース３７に投入する。これにより、シリコン混入液Ｌが貯水槽５２に送出されるまで脱酸素処理することができ、シリコンパウダーＰの表面における酸化膜の付着を防止することができる。

次に、貯水槽５２に貯水されたシリコン混入液ＬからシリコンパウダーＰを採取するシリコン混入液採取工程を行う。この工程では、エンドレスベルト６８に直流電源７０のプラス（＋）を通電するとともに、陰極板６１に直流電源７０のマイナス（−）を通電する。そして、電動モータ６５を駆動してエンドレスベルト６８を図２中矢印Ａ方向に作動する。このように通電すると、シリコン混入液Ｌに混入されてマイナス（−）に帯電されているシリコンパウダーＰは、電気泳動によって、マイナス（−）に帯電された陰極板６１から反発され、プラス（＋）に帯電されたエンドレスベルト６８に吸着される。このとき、直流電源７０の電圧変化に応じ、エンドレスベルト６８に吸着されるシリコンパウダーＰの粒子径も変化する。従って、シリコンパウダーＰの粒子径の均等化を図ることができ、制御部８５を介して直流電源７０の電圧を調整する制御を行うことで、吸着されるシリコンパウダーＰの粒子径を容易に変更することができる。

シリコンパウダーＰを吸着したエンドレスベルト６８は図２中矢印Ａ方向の移動において、上剥離部７５と下剥離部７６との間を通過する。その際に、上剥離部７５及び下剥離部７６の各先端部によってエンドレスベルト６８に吸着されたシリコンパウダーＰが剥離される。剥離されたシリコンパウダーＰは、回収箱７７に落下し、回収箱７７においてシリコンパウダーＰを採取することができる。

続いて、乾燥手段８０から回収箱７７に向かって窒素ガスを吹き付け、回収箱７７で採取したシリコンパウダーＰの水分を除去する乾燥工程を行う。この工程では、窒素ガスを吹き付けるので酸化膜が成長することを防止しつつ、シリコンパウダーＰを乾燥した状態に維持することができる。

なお、加工液は、窒素の微細気泡と気液接触させ、液中の溶存酸素を窒素に移動させて液中の酸素を除去する脱酸素工程を経た純水を用いることが好ましく、これにより、シリコンパウダーＰの表面に酸化膜が付着することを防止することができる。また、加工液は、二酸化炭素を溶解させ電導率を高めた超純水を用いるとよく、これにより、電気泳動によるシリコンパウダーＰの採取を効率良く行うことができる。

以上のように、本実施の形態によれば、シリコンパウダーＰの採取に電気泳動を利用しているので、均等な粒子径のシリコンパウダーＰを容易に採取することが可能となる。しかも、砥石２８による研削によってシリコンパウダーＰを形成するので、砥粒を小さくすることによってシリコンパウダーＰの粒子径を容易に小さくすることができる。これにより、本実施の形態のシリコンパウダーＰをリチウムイオン電池のマイナス電極に利用することで、リチウムイオン電池の急速充電や急速放電、蓄電の大容量化に寄与することができる。

また、採取室４３内にシリコンパウダー採取手段５０が配設されるので、シリコン混入液ＬからシリコンパウダーＰを生成する空間を脱酸素状態とすることができる。これにより、シリコンパウダーＰにおける自然酸化膜の成長を防止することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、直流電源７０に接続されるプラス電極及びマイナス電極の構成は、プラス電極がシリコン混入液Ｌに浸水し、シリコンパウダーＰを吸着して採取する限りにおいて、種々の設計変更が可能である。

また、ｐＨ調整手段３９は、設置位置を貯水槽５２に変更したり、貯水槽５２に追加して設置したりしてもよい。要するに、ｐＨ調整手段３９によってシリコン混入液ＬのｐＨを中性から弱酸性に維持し得るようにすればよい。

また、上記の実施の形態におけるシリコン板Ｓに代えて、板状のセレン化カドミウム（ＣｄＳｅ）や硫化亜鉛（ＺｎＳ）から、それらのパウダーを生成してもよい。上記のパウダーは、発光体で数十ｎｍ以下のナノ発光体にしてシリコン太陽光発電パネルに用いることができる。安価に製造できるシリコン太陽電池にあっては、長波長光だけしか電力に変換出来ないので、ナノ発光体でナノ粒子発光体フィルムを作製し、太陽光がナノ粒子発光体フィルムを透過することで短波長光を長波長光に変換して電力に変換可能となり、発電量をアップさせることができる。また、均一で、より小径の粒径のナノ粒子を用いてナノ粒子発光体フィルムを製作すれば、透過率を向上させて効率の良い波長変換を行うことができる。

以上説明したように、本発明は、結晶性シリコンを研削して形成されたシリコンパウダーを加工液に混入してシリコン混入液を生成し、このシリコン混入液からシリコンパウダーを生成する装置及び方法に有用である。

１０ シリコンパウダー生成装置
１２ チャックテーブル
１３ 混入液生成手段
２８ 砥石
３９ ｐＨ調整手段
４３ 採取室
４４ 脱酸素手段
５０ シリコンパウダー採取手段
５２ 貯水槽
６１ 陰極板（マイナス電極）
６８ エンドレスベルト（吸着部材、プラス電極）
Ｌ シリコン混入液
Ｓ シリコン板
Ｐ シリコンパウダー

Claims (7)

1. シリコンパウダーの生成方法であって、
   加工液を供給しつつ砥石を用いて結晶性シリコンを研削し、該加工液に研削されたシリコンパウダーを混入させてシリコン混入液を生成するシリコン混入液生成工程と、
   該シリコン混入液生成工程にて生成される該シリコン混入液を貯水する貯水槽に配設されるマイナス電極とプラス電極とに通電させ、該プラス電極で該シリコンパウダーを採取するシリコンパウダー採取工程と、
   該シリコンパウダー採取工程にて採取したシリコンパウダーの水分を除去させる乾燥工程と、によるシリコンパウダーの生成方法。
2. 該シリコン混入液生成工程および該シリコンパウダー採取工程にて、該シリコン混入液を中性から弱酸性に維持する請求項１記載のシリコンパウダーの生成方法。
3. 該加工液は、該加工液中の酸素を除去する脱酸素工程を経た純水を用いる請求項１または２記載のシリコンパウダーの生成方法。
4. 該加工液は、二酸化炭素を溶解させ電導率を高めた超純水を用いる請求項１、２または３記載のシリコンパウダーの生成方法。
5. シリコンパウダーを生成するシリコンパウダー生成装置であって、
   結晶性シリコンからなるシリコン板を保持するチャックテーブルと、
   該チャックテーブルに保持されたシリコン板に対し、加工液を供給しつつ砥石を接触させてシリコンパウダーを生成し、該加工液に該シリコンパウダーを混入させてシリコン混入液を生成する混入液生成手段と、
   該混入液生成手段で生成されるシリコン混入液を、マイナス電極を備える貯水槽に貯水し、貯水された該シリコン混入液にプラス電極を有する吸着部材を浸水させ、該吸着部材に該シリコンパウダーを吸着させて採取するシリコンパウダー採取手段と、
   該シリコンパウダー採取手段で採取した該シリコンパウダーの水分を除去する乾燥手段と、を備えるシリコンパウダー生成装置。
6. 該シリコンパウダー採取手段および該乾燥手段を包囲して密閉可能な採取室を有し、該採取室に脱酸素手段を設けた請求項５記載のシリコンパウダー生成装置。
7. 該シリコン混入液を中性から弱酸性に維持するｐＨ調整手段を備えた請求項５または６記載のシリコンパウダー生成装置。

Images