CN203663998U - 一种SiC研磨液中铁屑的分离装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种SiC研磨液中铁屑的分离装置。其结构包括第一空腔（1）、弧形凹槽（2）、磁辊（3）和第二空腔（4），所述第一空腔（1）一侧开有进料口（11），另一侧与弧形凹槽（2）一侧连通，磁辊（3）在弧形凹槽（2）上方配合设置，弧形凹槽（2）的另一侧与第二空腔（4）直接连通，第二空腔（4）底部设有出料口（41），所述磁辊（3）远离弧形凹槽（2）的一侧沿转动方向依次设置有胶辊（8）和刮刀（5），胶辊（8）与磁辊（3）挤压接触，刮刀（5）抵触在磁辊（3）上。本实用新型有效地解决了研磨料液因为含有铁屑而影响其重复利用的问题，避免了加工过程中铁屑对加工晶片的损害，同时回收的铁屑可以重新利用，保护了环境。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种分离装置，尤其涉及一种SiC研磨液中铁屑的分离装置。
背景技术
在SiC晶体的加工过程中，对晶体表面进行精细加工，需要用到研磨液。出于成本考虑一般都会循环使用研磨液，但是由于研磨盘的材质为铁质，所以在研磨料液使用后，研磨料液中会残留一些铁屑，这些铁屑会直接影响晶体的研磨效果，在加工过程中极易导致晶片划痕、裂片，达不到后续加工要求，所以对研磨料液中铁屑的过滤非常重要。传统的分离研磨液中铁屑的手段是利用滤网过滤的方式来处理，但是这种方法不能够除去研磨液中粒径接近或者小于研磨液中磨料粒径的铁屑。
发明内容
针对现有技术的不足，本实用新型提出一种能有效过滤研磨液中铁屑的装置。
本实用新型采用的技术方案如下：一种SiC研磨液中铁屑的分离装置，包括第一空腔、弧形凹槽、磁辊和第二空腔，所述第一空腔一侧开有进料口，其内部设置有导流板，第一空腔通过导流板与弧形凹槽一侧相连通，磁辊在弧形凹槽上方配合设置，且两者之间留有弧形通道，弧形凹槽的另一侧与第二空腔直接连接，第二空腔底部设有出料口，所述磁辊远离弧形凹槽的一侧沿转动方向依次设置有胶辊和刮刀，胶辊与磁辊挤压接触，刮刀口抵触在磁辊上。
研磨料液从第一空腔的进料口进入后，经过第一空腔底部设置的导流板，流至弧形凹槽与磁辊配合的弧形通道中，由于磁辊的磁性，料液中的铁屑会吸附在磁辊的表面，磁辊在电机的带动下顺时针转动，使整个磁辊都能接触到研磨液。在吸附铁屑的同时磁辊的表面还会吸附一部分的研磨液，当研磨液经过磁辊与胶辊接触的地方时，由于压力的作用能够把磁辊表面的研磨液除去。吸附在表面的铁屑在经过抵触在磁辊面上的刮刀时被留在刮刀上，使磁辊可以继续吸附新的铁屑，从而能实现连续分离铁屑的效果，最后经过处理的料液流入第二空腔中，从出料口流出，达到分离铁屑的目的，使研磨料液能重复使用，降低了成本，也避免了研磨料液中铁屑对于加工晶片的损害。
在进料口前设置有料泵，为料液在整个分离过程中的流动提供动力。
为了收集留在刮刀上的铁屑，在刮刀下方设置有集渣箱，有利于回收铁屑，保护环境。
所述的磁辊为一个电磁辊，其连接着外部的电机，能够使电磁棍转动。
本实用新型的有益效果为：提供了一种能够自动并连续分离研磨料液中铁屑的分离装置，有效地解决了研磨料液因为含有铁屑而影响其重复利用的问题，节约了资源，避免了加工过程中铁屑对加工晶片的损害，同时回收的铁屑可以重新利用，保护了环境。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
其中，1、第一空腔，2、弧形凹槽，3、磁辊，4、第二空腔，5、刮刀，6、料泵，7、集渣箱，8、胶辊，9、导屑板，11、进料口，12、导流板，41，出料口。
具体实施方式
如图1所示本实施例公开了一种SiC研磨液中铁屑的分离装置，其结构从左至右依次包括料泵6、第一空腔1、弧形凹槽2和第二空腔4，料泵6通过管道与第一空腔1的一侧腔壁上开的进料口11相连，第一空腔1的另一侧为开放式结构，弧形凹槽2在第一空腔1的开放侧，弧形凹槽2开口向上，所以在第一空腔1内部设置弧形导流板12，其尾端与弧形凹槽2的边缘相交，这样料液可以通过导流板12顺利进入弧形凹槽2，所述弧形凹槽2的上方设置有磁辊3，两者配合安装，中间留有一个弧形通道，可供料液流过，当料液流过时，磁辊的磁性会将料液中的铁屑吸附在磁辊3的表面，并且磁辊3 顺时针方向转动，在磁辊3远离弧形凹槽2的一侧沿转动方向依次设置有胶辊8和刮刀5，胶辊8与磁辊3挤压接触，刮刀5口抵触在磁辊3上，刮刀5附有向下的导屑板9，在其下方设置有集渣箱7。在转动过程中，磁辊3上的研磨液会在经过胶辊8与磁辊3的接触部位时由于压力而从磁辊3上被除去，铁屑会在经过刮刀5时被留在刮刀5上，并通过导屑板被收集在集渣箱7中。磁辊3表面得到清理，能够连续地吸附料液中的铁屑，实现自动连续地分离研磨料液中的铁屑的目的。
Claims (4)
1.一种SiC研磨液中铁屑的分离装置，其特征在于：包括第一空腔（1）、弧形凹槽（2）、磁辊（3）和第二空腔（4），所述第一空腔（1）一侧开有进料口（11），其内部设置有导流板（12），第一空腔（1）通过导流板（12）与弧形凹槽（2）一侧连通，磁辊（3）在弧形凹槽（2）上方配合设置，且两者之间留有弧形通道，弧形凹槽（2）的另一侧与第二空腔（4）直接连通，第二空腔（4）底部设有出料口（41），所述磁辊（3）远离弧形凹槽（2）的一侧沿转动方向依次设置有胶辊（8）和刮刀（5），胶辊（8）与磁辊（3）挤压接触，刮刀（5）抵触在磁辊（3）上。
2.根据权利要求1所述的一种SiC研磨液中铁屑的分离装置，其特征在于：在进料口前设置有料泵（6）。
3.根据权利要求1所述的一种SiC研磨液中铁屑的分离装置，其特征在于：在刮刀（5）上附有向下倾斜的导屑板（9），导屑板（9）下方设置有集渣箱（7）。
4.根据权利要求1所述的一种SiC研磨液中铁屑的分离装置，其特征在于：所述的磁辊（3）为电磁铁，电磁铁与外部电机相连。
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