JP6448955B2 - シリコン粉回収方法及びシリコン粉回収装置 - Google Patents
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Description
3 分離処理手段
31 液槽
32 シリコン吸着板
33 シリコン通過規制部
33d シリコン通過規制板
4 回収手段
41 回収部
44 削ぎ取り手段
44a 開閉シリンダ
44b 削ぎ取りプレート
6 乾燥手段
62、63 搬送ローラ
64 搬送ベルト
66 ヒーター部
7 収集ボックス
8 制御手段
100 加工装置(研削装置)
103d 砥石
L 廃液
P シリコン粉
S シリコンウエーハ
SF シリコン溶液
W 浄水
Claims (2)
- 加工液と砥粒とを用いて固体のシリコンを削り、排出されるシリコン粉を含んだ廃液を回収し、該廃液の水分を除去して該シリコン粉を回収するシリコン粉回収方法であって、
該廃液に陽極部と陰極部とを着水させ、該陽極部と該陰極部とに通電させプラスに帯電した該陽極部に該シリコン粉を付着させる付着工程と、
該陽極部を該廃液から引き上げ該陽極部に付着した液分を含む該シリコン粉を該陽極部から削ぎ取り回収する回収工程と、
該回収工程で該陽極部から削ぎ取られた液分を含む該シリコン粉を搬送ベルト上に移動させ、液分を含む該シリコン粉を搬送すると共に、ヒーター部により加熱することで、液分を含む該シリコン粉を乾燥させ、液分が除去された該シリコン粉を収集する乾燥工程と、からなり、
該回収工程及び該乾燥工程を、窒素雰囲気で行うシリコン粉回収方法。 - シリコンウエーハに砥石を当接させ加工する加工装置から排出されるシリコン粉を含む廃液からシリコン粉を回収するシリコン粉回収装置であって、
該加工装置から排出される該廃液に着水させる陽極部と陰極部と、該陽極部に付着した該シリコン粉を該陽極部から削ぎ取る削ぎ取り手段と、該削ぎ取り手段が削ぎ取った液分を含む該シリコン粉を乾燥させる乾燥手段と、該乾燥手段で乾燥した該シリコン粉を収集する収集ボックスと、からなり、
該乾燥手段は、該削ぎ取り手段で削ぎ取られた液分を含む該シリコン粉を搬送する搬送ベルトと、該搬送ベルトを回転させる駆動モータと、該搬送ベルト上の液分を含む該シリコン粉の液分を加熱することで蒸発させ、液分を含む該シリコン粉の液分を除去するヒーター部と、を備え、
該削ぎ取り手段を収容する回収容器と、該回収容器の下方側に配置され、該搬送ベルト、該駆動モータ及び該ヒーター部を収容する乾燥ボックスと、該回収容器、該乾燥ボックス及び該収集ボックスを窒素雰囲気にする窒素供給手段と、を備えるシリコン粉回収装置。
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