JP2009050999A - 平面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨液吸引機構5の液流れ前方に研磨液回収タンク18を設け、該研磨液回収タンク18の槽内底面に沈降したスラリーSを該研磨液回収タンク18の液流れ前方に接続した研磨液容器24に収容する一方、該研磨液容器24の液流れ後方に研磨補充液供給機構8を設け、研磨液容器24内の研磨液を円盤状研磨工具2の加工面に供給する。
【選択図】図1
Description
2 円盤状研磨工具
3 加工面
4 被加工物
5 研磨液供給機構
6 研磨液吸引機構
7 加工屑除去機構
7a 加工屑回収容器
8 研磨補充液供給機構
9 架台
10 モータ
11 加圧保持板
12 水平フレーム
13a、13b 支持ローラ
14 液留溝
15a、15b スパイラル溝
16 研磨液飛散防止壁
17 吸引パイプ
17a 細径パイプ
18 研磨液回収タンク
18A、18B、18C 沈殿槽
19a、19b、19c 仕切壁
20 吸引ポンプ
21 供給ポンプ
22a、22c、22d 配管
23 吸引ポンプ
24 研磨液容器
25 吸引ポンプ
26 連結パイプ
27 連結パイプ
28 研磨液回収タンク
29 撹拌用羽根
30 マグネット板
31 蓋部
32 モータ
33 回転軸
34 ホースガイド
S スラリー
FS 鉄スラッジ
Claims (10)
- 回転駆動される円盤状研磨工具の加工面に被加工物を接触させ、前記研磨工具の回転方向に対して被加工物の後方位置に研磨液を供給する研磨液供給機構を設けると共に、被加工物の前方位置に前記研磨液を吸引する研磨液吸引機構を設けることにより研磨液を加工面に供給しながら平面研磨する装置において、
前記研磨液吸引機構の液流れ前方に研磨液回収タンクを設け、該研磨液回収タンクの槽内底面に沈降したスラリーを該研磨液回収タンクの液流れ前方に接続した研磨液容器に収容する一方、該研磨液容器の液流れ後方に研磨補充液供給機構を設け、前記研磨液容器内の研磨液を前記円盤状研磨工具の加工面に供給することを特徴とする平面研磨装置。 - 前記研磨液回収タンクの液流れ前方に加工屑除去機構を設けたことを特徴とする請求項1記載の平面研磨装置。
- 前記研磨液回収タンクは複数の槽に分割され、各槽の底面に接続した配管にポンプを接続して該ポンプで吸引したスラリーを前記研磨液容器に回収することを特徴とする請求項1又は2記載の平面研磨装置。
- 前記加工屑除去機構の加工屑回収速度に合わせて前記研磨補充液供給機構の補充液供給速度を設定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の平面研磨装置。
- 前記円盤状研磨工具の加工面の外周部に液留溝を設けたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の平面研磨装置。
- 前記液留溝の上方に断面コ字形の円環状研磨液飛散防止壁を被せた状態で前記円盤状研磨工具の外周に装備したことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の平面研磨装置。
- 前記研磨液吸引機構の液流れ後方に接続した吸引パイプを前記研磨液飛散防止壁の内側へ回して、該吸引パイプの先端を前記円盤状研磨工具の外周部に設けた液留溝の間に配置したことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の平面研磨装置。
- 前記研磨液吸引機構の液流れ後方に接続した吸引パイプの先端に吸引パイプより内径が小さい細径パイプが設けられていることを特徴
とすることを請求項1乃至7のいずれかに記載の平面研磨装置。 - 前記円盤状研磨工具の加工面には内周部から外周部へ広がる1つ又は複数のスパイラル溝が設けられ、該スパイラル溝は前記液留溝に連結されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の平面研磨装置。
- 回転駆動される円盤状研磨工具の加工面に被加工物を接触させ、前記研磨工具の回転方向に対して被加工物の後方位置に研磨液を供給する研磨液供給機構を設けると共に、被加工物の前方位置に前記研磨液を吸引する研磨液吸引機構を設けることにより研磨液を加工面に供給しながら平面研磨する装置において、
前記円盤状研磨工具を鋳鉄により形成し、前記研磨液吸引機構の液流れ前方に研磨液回収タンクを設けると共に、該研磨液回収タンク内に沈降したスラリーを撹拌する撹拌用羽根と前記円盤状研磨工具から発生した鉄スラッジを回収する鉄スラッジ回収用マグネット板を設け、該研磨液回収タンク内の研磨液を前記円盤状研磨工具の加工面に供給することを特徴とする平面研磨装置。
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