JP5757254B2 - 半導体光素子および半導体光装置 - Google Patents
半導体光素子および半導体光装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5757254B2 JP5757254B2 JP2012028679A JP2012028679A JP5757254B2 JP 5757254 B2 JP5757254 B2 JP 5757254B2 JP 2012028679 A JP2012028679 A JP 2012028679A JP 2012028679 A JP2012028679 A JP 2012028679A JP 5757254 B2 JP5757254 B2 JP 5757254B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- absorber
- wavelength
- light
- semiconductor optical
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
表面に波長選択構造部を備え所定の波長の光を選択的に吸収する吸収体と、吸収体の裏面に設けられ光の吸収を防止する吸収防止膜と、吸収体と熱的に接続され温度を検知する温度検知部とを備えるので、吸収体裏面で所定の波長以外の波長の光が吸収されることを防止し、検知波長の選択性を向上させることが可能になる。
最初に本発明の実施の形態1における半導体光装置の構成について説明する。図1は、全体が1000で表される、本発明の実施の形態1にかかる半導体光装置の斜視図である。半導体光装置1000では、基板1の上に複数の半導体光素子100がX軸およびY軸方向にマトリックス状(アレイ状)に配置されており、Z軸に平行な方向から光が入射する。半導体光素子100の周囲には、半導体光素子100により検出した信号を処理して画像を検出する検出回路1010が設けられている。以下、本発明の実施の形態では、半導体光素子100の一例として、熱型の赤外線センサを用いて説明する。
一方、吸収体10は、反射膜8とは熱的に接続されない状態で、反射膜8より上方に保持され、反射膜8の少なくとも一部を覆い隠すように側方に板状に広がっている。そのため、赤外線センサ100は、図2に示すように、上方から見ると吸収体10のみが見える。
他の材料においても、同様に、波長選択構造部11で決定される特定の波長以外の吸収波長が吸収体10に存在する場合、意図した検知波長以外の波長の光が吸収体10で吸収される。
本発明の実施の形態2における赤外線センサの構成について説明する。図7は、本発明の実施の形態2にかかる熱型の赤外線センサの吸収体20を図3のA−A方向に相当する方向から見た場合の断面図である。
この実施の形態においては、吸収体20の表面だけでなく、吸収体20の裏面にも波長選択構造部21bを設けた点が実施の形態1と異なる。本実施の形態のこれ以外の構成は、上述した実施の形態1と同様であるので、同一の要素についてはその説明を繰り返さない。
Claims (3)
- 所定の波長で表面プラズモンが生じる周期構造を有する波長選択構造部を表面に備え前記所定の波長の光を選択的に吸収する吸収体と、
前記吸収体の裏面に設けられ前記光の吸収を防止する吸収防止膜と、
前記吸収体と熱的に接続され温度を検知する温度検知部とを備え、
前記吸収防止膜の前記吸収体側と反対側の面が露出していることを特徴とする半導体光素子。 - 吸収防止膜は、平板状の金属からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- 請求項1から請求項2に記載された半導体光素子のいずれかをアレイ状に配置したことを特徴とする半導体光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012028679A JP5757254B2 (ja) | 2012-02-13 | 2012-02-13 | 半導体光素子および半導体光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012028679A JP5757254B2 (ja) | 2012-02-13 | 2012-02-13 | 半導体光素子および半導体光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013164395A JP2013164395A (ja) | 2013-08-22 |
JP5757254B2 true JP5757254B2 (ja) | 2015-07-29 |
Family
ID=49175809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012028679A Active JP5757254B2 (ja) | 2012-02-13 | 2012-02-13 | 半導体光素子および半導体光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5757254B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01142418A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Toshiba Corp | 赤外線検出素子 |
JPH07120307A (ja) * | 1993-10-26 | 1995-05-12 | Matsushita Electric Works Ltd | 赤外線検出素子 |
JP3730100B2 (ja) * | 1999-09-16 | 2005-12-21 | シャープ株式会社 | 熱型赤外線検出素子およびこれを用いた撮像装置 |
JP2012026861A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Seiko Epson Corp | 熱型検出器、熱型検出装置及び電子機器 |
-
2012
- 2012-02-13 JP JP2012028679A patent/JP5757254B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013164395A (ja) | 2013-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3597069B2 (ja) | 複数の赤外波長帯を検出する熱型赤外アレイセンサ | |
US8642963B2 (en) | Thermal detector, thermal detection device, electronic instrument, and thermal detector manufacturing method | |
JP6093921B1 (ja) | 電磁波検出器、電磁波検出器アレイ、およびガス分析装置 | |
JP3514681B2 (ja) | 赤外線検出器 | |
US7622717B2 (en) | Pixel structure having an umbrella type absorber with one or more recesses or channels sized to increase radiation absorption | |
WO2009039683A1 (fr) | Capteur infrarouge, réseau de plan focal et leur système d'imagerie infrarouge | |
JP6095856B2 (ja) | 電磁波検出器、及びガス分析装置 | |
US8039798B2 (en) | Dual-wavelength thermal infrared sensor | |
JP5283825B2 (ja) | 熱型赤外線検出器 | |
JP6401647B2 (ja) | 赤外線センサおよび赤外線センサアレイ | |
JP5706174B2 (ja) | 赤外線センサおよび赤外線センサアレイ | |
JP5757254B2 (ja) | 半導体光素子および半導体光装置 | |
JP5907011B2 (ja) | 光センサ | |
JP5721597B2 (ja) | 半導体光素子および半導体光装置 | |
CN114739519B (zh) | 探测器的封装盖板及其制备方法、探测器 | |
JP6726087B2 (ja) | 光検出器 | |
JP2002071451A (ja) | 熱型赤外線検出素子及びそれを用いた赤外線撮像素子 | |
JP6206810B2 (ja) | 赤外線式ガスセンサ | |
JP2011123023A (ja) | 光センサ | |
JP6202440B2 (ja) | 赤外線式ガスセンサ | |
JP5861264B2 (ja) | 赤外線検出素子 | |
JP5456810B2 (ja) | 熱型赤外線検出器 | |
JP2013253896A (ja) | 光検出素子、カメラおよび電子機器 | |
JP5877661B2 (ja) | 赤外線シャッター機構および赤外線測定器 | |
KR20100073070A (ko) | 비냉각형 적외선 감지 센서 및 그의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131017 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140312 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20140326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150520 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5757254 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |