JP6093921B1 - 電磁波検出器、電磁波検出器アレイ、およびガス分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
波長λAの電磁波を選択的に検出する電磁波検出器であって、
中空部を有する基板と、
所定の波長λAの電磁波と表面プラズモン共鳴を生じ、これを熱に変換して吸収する波長選択構造と、吸収された熱を検出する検知膜と、を含む温度検知部と、
温度検知部を中空部の上に保持する支持構造と、を含み、
支持構造は、更に、支持構造が有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備えることを特徴とする電磁波検出器である。
図1は、全体が100で表される、本発明の実施の形態1にかかる熱型の電磁波検出器の上面図である。また、図2は、図1の電磁波検出器100をI−I方向に見た場合の断面図(吸収体等を含む)である。なお、図1では、通常は見えない検知膜5や薄膜金属配線6、7が見えるように記載されている。
図2に示すように、電磁波検出器100は、例えばシリコンからなる基板1を含む。基板1には中空部2が設けられ、中空部2の上には、温度検知部10が支持脚3により支持されている。支持脚3は、ここでは2本であり、図1に示すように、上方から見るとL字型に折れ曲がったブリッジ形状となっているが、これに限定されるものではない。支持脚3は薄膜金属配線6とこれを支える誘電体層16を含んでいる。薄膜金属配線6は、例えばチタンから形成され、誘電体層16は、例えば酸化シリコンから形成される。
図11は、本発明の実施の形態2にかかる電磁波検出器に含まれる支持脚3の、図8のVIII−VIIIと同じ方向に見た場合の断面図(薄膜金属配線6は省略)である。支持脚3の構造以外は、実施の形態1にかかる電磁波検出器100と同じである。
図14は、全体が200で表される、本発明の実施の形態3にかかる電磁波検出器の上面図であり、図15は、図14の電磁波検出器200をXIV−XIV方向に見た場合の断面図である。図14、15中、図1、2と同一符合は、同一または相当箇所を示す。
図16は、全体が1000で表される、本発明の実施の形態4にかかる電磁波検出器アレイの上面図である。電磁波検出器アレイ1000では、例えば基板(図示せず)の上に、複数の電磁波検出器100が、2×2のマトリックス状に配置されている。例えば、外部に設けた走査回路(図示せず)により各行、各列の電磁波検出器100が選択され、それぞれの電磁波検出器100で検出した情報が時系列で取り出される。なお、ここでは電磁波検出器100を2×2の配置としたが、かかる配置に限定されるものではない。
図17は、全体が1100で表される、本発明の実施の形態5にかかる電磁波検出器アレイの上面図である。電磁波検出器アレイ1100では、検出波長の異なる複数の電磁波検出器100、200、300、400が、2×2のマトリックス状に配置されている。それ以外は、上述の電磁波検出器アレイ1000と同じ構造である。なお、ここでは全ての電磁波検出器が異なる検出波長を有するものとしたが、例えば同じ検出波長の電磁波検出器100を複数含むものであっても良い。また、ここでは電磁波検出器を2×2の配置としたが、かかる配置に限定されるものではない。
図18は、全体が2000で表される、本発明の実施の形態6にかかるガス分析装置の概略図である。ガス分析装置2000は、電磁波を照射する光源500と、分析の対象となるガスを入れるガス導入機構(容器)600と、電磁波を受光する電磁波検出器アレイ700とを含む。電磁波検出器アレイ700には、例えば実施の形態5に示すような、検出波長の異なる複数の電磁波検出器を含む電磁波検出器アレイが用いられるが、単体の電磁気検出器を用いる場合もある。そして、光源500から照射された電磁波L1は、例えば、ガス導入機構600に設けられた窓(図示せず)を通ってガス導入機構600中のガスに照射される。ガス導入機構600中のガスを透過した電磁波L2は、例えばガス導入機構600に設けられた他の窓(図示せず)を通って、電磁波検出器アレイ700に入射し、検出される。
Claims (14)
- 波長λAの電磁波を選択的に検出する電磁波検出器であって、
中空部を有する基板と、
所定の波長λAの電磁波と表面プラズモン共鳴を生じ、熱に変換して吸収する波長選択構造と、吸収された熱を検出する検知膜と、を含む温度検知部と、
該温度検知部を該中空部の上に保持する支持構造と、を含み、
該支持構造は、更に、該支持構造が有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備え、
該支持構造は、絶縁体層を含む支持脚からなり、該支持脚は、該絶縁体層が有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備え、
該反射構造は、該支持脚の絶縁体層の表側に、該絶縁体層の吸収波長の電磁波が表面プラズモン共鳴するように配置された複数の金属パターンであることを特徴とする電磁波検出器。 - 波長λAの電磁波を選択的に検出する電磁波検出器であって、
中空部を有する基板と、
所定の波長λAの電磁波と表面プラズモン共鳴を生じ、熱に変換して吸収する波長選択構造と、吸収された熱を検出する検知膜と、を含む温度検知部と、
該温度検知部を該中空部の上に保持する支持構造と、を含み、
該支持構造は、更に、該支持構造が有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備え、
該支持構造は、該基板の上に設けられたメンブレンからなり、該メンブレンは、該メンブレンが有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備え、
該メンブレンの上に、絶縁体層を含む支持脚が設けられ、該支持脚は、更に、該絶縁体層が有する吸収波長の電磁波を反射する反射構造を備え、
該反射構造は、該支持脚の絶縁体層の表側に、該絶縁体層の吸収波長の電磁波が表面プラズモン共鳴するように配置された複数の金属パターンであることを特徴とする電磁波検出器。 - 上記反射構造は、上記支持脚の絶縁体層と、該絶縁体層の表側に配置された複数の金属パターンと、該絶縁体層の裏側に配置された金属層とを含むMIM構造であり、該絶縁体層の吸収波長の電磁波が表面プラズモン共鳴することを特徴とする請求項1に記載の電磁波検出器。
- 上記反射構造は、上記メンブレンの表側に、該メンブレンの吸収波長の電磁波が表面プラズモン共鳴するように配置された複数の金属パターンであることを特徴とする請求項2に記載の電磁波検出器。
- 上記反射構造は、上記メンブレンと、該メンブレンの表側に配置された複数の金属パターンと、該メンブレンの裏側に配置された金属層とを含むMIM構造であり、該メンブレンの吸収波長の電磁波が表面プラズモン共鳴することを特徴とする請求項2に記載の電磁波検出器。
- 上記波長選択構造は、表面に周期的な凹部または凸部を有する金属層を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電磁波検出器。
- 上記波長選択構造は、絶縁体、半導体、または誘電体からなる中間層と、該中間層の表側に設けられた周期的な金属パターンと、該中間層の裏側に設けられた金属層と、を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電磁波検出器。
- 上記金属パターンの水平断面は、円形、正方形、長方形、楕円形、および多角形からなる組から選択される形状であることを特徴とする請求項1、2、3、6および7のいずれかに記載の電磁波検出器。
- 上記金属パターンは、金、銀、アルミニウム、およびグラフェンからなる組から選択される材料からなることを特徴とする請求項1、2、3、6および7のいずれかに記載の電磁波検出器。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の電磁波検出器が、1次元または2次元に配置されたことを特徴とする電磁波検出器アレイ。
- 少なくとも2つの上記電磁気検出器は、互いに異なる波長の電磁波を選択的に検出する電磁波検出器であることを特徴とする請求項10に記載の電磁波検出器アレイ。
- ガスにより吸収された波長を検出してガスを特定するガス分析装置であって、
電磁波を照射する光源と、
分析対象のガスを保持する容器と、
電磁波を受光する少なくとも1つの請求項1〜11のいずれかに記載の電磁波検出器を含み、
該光源から照射した電磁波は、該容器中のガスを透過した後に該電磁波検出器で検出されることを特徴とするガス分析装置。 - 上記電磁波検出器は、1次元または2次元に配置された複数の電磁波検出器であることを特徴とする請求項12に記載のガス分析装置。
- 上記分析対象のガスがアルコールを含み、該ガス中のアルコール濃度を検出することを特徴とする請求項12または13に記載のガス分析装置。
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CN109459144B (zh) * | 2018-11-12 | 2020-11-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 基于压电效应及复合等离激元的宽光谱红外传感器 |
CN109283604B (zh) * | 2018-12-07 | 2020-12-04 | 郑州大学 | 一种实现电磁诱导透明的非对称双l型石墨烯结构的光学材料及其应用 |
CN110071354B (zh) * | 2019-04-29 | 2021-06-01 | 南京邮电大学 | 一种采用对称互补螺旋结构的小型化单元结构ssp-tl |
CN110146468B (zh) * | 2019-05-14 | 2022-05-17 | 桂林电子科技大学 | 一种圆形复合孔阵列结构表面等离子体光纤传感器 |
JP7392972B2 (ja) | 2019-10-24 | 2023-12-06 | 国立大学法人東京農工大学 | 熱電変換素子 |
CN112952400B (zh) * | 2021-02-01 | 2022-12-02 | 西安电子科技大学 | 一种具有高透射率透波窗口的宽带吸波结构 |
JP2023023554A (ja) * | 2021-08-05 | 2023-02-16 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | THz検出装置 |
CN114306051A (zh) * | 2022-01-27 | 2022-04-12 | 张彤 | 一种穴位贴 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006214758A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Denso Corp | 赤外線検出器 |
JP2011095137A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体光素子および半導体光装置 |
JP2012052910A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Denso Corp | 気体分析装置 |
JP2014521094A (ja) * | 2011-07-15 | 2014-08-25 | セントレ ナショナル デ ラ ルシェルシェ サイエンティフィック−シーエヌアールエス | 性能が向上したマイクロボロメータアレイ |
WO2014199583A1 (ja) * | 2013-06-10 | 2014-12-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線センサ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4241360B2 (ja) | 2003-12-15 | 2009-03-18 | 株式会社デンソー | 赤外線センサの製造方法 |
JP2009156614A (ja) | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Nissan Motor Co Ltd | 偏光赤外線検出素子およびその製造方法、並びに偏光赤外線検出素子アレイ |
JP2013044703A (ja) | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Konica Minolta Holdings Inc | 光センサー |
JP5943764B2 (ja) | 2012-08-02 | 2016-07-05 | 三菱電機株式会社 | 電磁波センサ及び電磁波センサ装置 |
KR20140045842A (ko) * | 2012-10-09 | 2014-04-17 | 삼성전자주식회사 | 공진 주파수가 다른 복수의 공진 구조체를 포함하는 전자기파 스펙트럼 분석기 및 적외선 열상 분석기 |
KR101902920B1 (ko) * | 2012-12-11 | 2018-10-01 | 삼성전자주식회사 | 광대역 표면 플라즈몬 공진기를 포함하는 적외선 검출기 |
KR101910573B1 (ko) * | 2012-12-20 | 2018-10-22 | 삼성전자주식회사 | 광대역 광 흡수체를 포함하는 적외선 검출기 |
KR102040149B1 (ko) * | 2013-02-01 | 2019-11-04 | 삼성전자주식회사 | 적외선 검출기 |
JP2014190783A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Nec Corp | 電磁波検出器およびそれを備えた撮像装置 |
-
2016
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006214758A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Denso Corp | 赤外線検出器 |
JP2011095137A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体光素子および半導体光装置 |
JP2012052910A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Denso Corp | 気体分析装置 |
JP2014521094A (ja) * | 2011-07-15 | 2014-08-25 | セントレ ナショナル デ ラ ルシェルシェ サイエンティフィック−シーエヌアールエス | 性能が向上したマイクロボロメータアレイ |
WO2014199583A1 (ja) * | 2013-06-10 | 2014-12-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線センサ |
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