JP5756786B2 - 圧電デバイス及びその使用方法 - Google Patents
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Landscapes
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- Gyroscopes (AREA)
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012205691A JP5756786B2 (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 圧電デバイス及びその使用方法 |
| PCT/JP2013/074215 WO2014045914A1 (ja) | 2012-09-19 | 2013-09-09 | 圧電デバイス及びその使用方法 |
| EP13840021.3A EP2899766B1 (en) | 2012-09-19 | 2013-09-09 | Piezoelectric device and method for using same |
| TW102133380A TW201414026A (zh) | 2012-09-19 | 2013-09-14 | 壓電元件及其使用方法 |
| US14/661,114 US9437801B2 (en) | 2012-09-19 | 2015-03-18 | Piezoelectric device and method for using same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012205691A JP5756786B2 (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 圧電デバイス及びその使用方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014060330A JP2014060330A (ja) | 2014-04-03 |
| JP2014060330A5 JP2014060330A5 (enExample) | 2015-04-16 |
| JP5756786B2 true JP5756786B2 (ja) | 2015-07-29 |
Family
ID=50341229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012205691A Expired - Fee Related JP5756786B2 (ja) | 2012-09-19 | 2012-09-19 | 圧電デバイス及びその使用方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9437801B2 (enExample) |
| EP (1) | EP2899766B1 (enExample) |
| JP (1) | JP5756786B2 (enExample) |
| TW (1) | TW201414026A (enExample) |
| WO (1) | WO2014045914A1 (enExample) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012111972A1 (de) * | 2012-12-07 | 2014-06-12 | Epcos Ag | Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils |
| JP6258241B2 (ja) * | 2015-02-27 | 2018-01-10 | 富士フイルム株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| JP6699662B2 (ja) * | 2015-05-25 | 2020-05-27 | コニカミノルタ株式会社 | 圧電薄膜、圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド、インクジェットプリンタおよび圧電アクチュエータの製造方法 |
| JP2017094615A (ja) | 2015-11-25 | 2017-06-01 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 |
| KR101823628B1 (ko) * | 2016-11-17 | 2018-01-31 | 한국과학기술원 | 압전체 편극 장치 및 이를 이용한 편극 방법 |
| EP3367450A1 (en) * | 2017-02-22 | 2018-08-29 | Koninklijke Philips N.V. | Actuator and sensor device based on electroactive polymer |
| JP6972768B2 (ja) * | 2017-08-22 | 2021-11-24 | 株式会社デンソー | 可変焦点ミラーシステム |
| WO2019054336A1 (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-21 | 日本碍子株式会社 | 圧電素子の製造方法 |
| US11730058B2 (en) * | 2018-09-20 | 2023-08-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Integrated heater (and related method) to recover degraded piezoelectric device performance |
| US11456330B2 (en) * | 2019-08-07 | 2022-09-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Fatigue-free bipolar loop treatment to reduce imprint effect in piezoelectric device |
| US11439015B2 (en) * | 2019-10-10 | 2022-09-06 | International Business Machines Corporation | Surface mount device placement to control a signal path in a printed circuit board |
| JP7316926B2 (ja) * | 2019-12-05 | 2023-07-28 | 富士フイルム株式会社 | 圧電memsデバイス、製造方法および駆動方法 |
| JP7316927B2 (ja) * | 2019-12-05 | 2023-07-28 | 富士フイルム株式会社 | 圧電memsデバイス、製造方法および駆動方法 |
| JP2022040711A (ja) | 2020-08-31 | 2022-03-11 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 圧力センサ |
| JP2023038732A (ja) * | 2021-09-07 | 2023-03-17 | 株式会社東芝 | 磁気ディスク装置及びマイクロアクチュエータのバイアス電圧及び駆動電圧の切り替え方法 |
| CN117715498A (zh) * | 2022-09-15 | 2024-03-15 | 乐声电子系统股份有限公司 | 平面压电振动模块的制造方法 |
| JP2025042311A (ja) | 2023-09-14 | 2025-03-27 | 富士フイルム株式会社 | 圧電積層体及び圧電素子 |
| JP2025042312A (ja) | 2023-09-14 | 2025-03-27 | 富士フイルム株式会社 | 圧電積層体及び圧電素子 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0482309A (ja) | 1990-07-24 | 1992-03-16 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電体の分極方法 |
| JPH082309A (ja) | 1994-06-20 | 1996-01-09 | Kyokuto Kaihatsu Kogyo Co Ltd | 貨物自動車における牽引装置 |
| JP3805837B2 (ja) * | 1996-08-12 | 2006-08-09 | トヨタ自動車株式会社 | 角速度検出装置 |
| DE60237587D1 (de) * | 2001-04-06 | 2010-10-21 | Ricoh Printing Sys Ltd | Tintenstrahlausstossvorrichtung |
| US7230597B2 (en) * | 2001-07-13 | 2007-06-12 | Tpo Hong Kong Holding Limited | Active matrix array devices |
| JP3788759B2 (ja) * | 2001-11-02 | 2006-06-21 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェットプリンタ用ライン型記録ヘッド |
| JP4288908B2 (ja) * | 2002-07-26 | 2009-07-01 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェット記録装置 |
| JP4487536B2 (ja) * | 2002-11-15 | 2010-06-23 | パナソニック株式会社 | 圧電体アクチュエータの駆動方法および圧電体アクチュエータ並びにこれを用いたディスク記録再生装置 |
| US7141911B2 (en) * | 2002-11-15 | 2006-11-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Driving method of piezoelectric actuator, piezoelectric actuator, and disk recording and reproducing apparatus using the same |
| JP4403707B2 (ja) * | 2003-03-25 | 2010-01-27 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インク滴吐出状態検知装置及びインクジェット記録装置 |
| JP2004338326A (ja) * | 2003-05-19 | 2004-12-02 | Kyocera Corp | インクジェット記録装置およびその制御方法 |
| JP2005340631A (ja) | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Sony Corp | 圧電素子部品及び電子装置 |
| JP2007040879A (ja) | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Nec Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ用振動子の分極方法 |
| WO2009157189A1 (ja) * | 2008-06-27 | 2009-12-30 | パナソニック株式会社 | 圧電体素子とその製造方法 |
| JP5497394B2 (ja) | 2009-09-30 | 2014-05-21 | 富士フイルム株式会社 | 圧電アクチュエータとその駆動方法、液体吐出装置、圧電型超音波振動子 |
| JP5506031B2 (ja) | 2009-12-28 | 2014-05-28 | 富士フイルム株式会社 | アクチュエータ素子の駆動方法、及びデバイス検査方法 |
| JP5506035B2 (ja) * | 2010-02-23 | 2014-05-28 | 富士フイルム株式会社 | アクチュエータの製造方法 |
| JP4775502B2 (ja) | 2010-10-28 | 2011-09-21 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ素子 |
-
2012
- 2012-09-19 JP JP2012205691A patent/JP5756786B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-09-09 WO PCT/JP2013/074215 patent/WO2014045914A1/ja not_active Ceased
- 2013-09-09 EP EP13840021.3A patent/EP2899766B1/en not_active Not-in-force
- 2013-09-14 TW TW102133380A patent/TW201414026A/zh unknown
-
2015
- 2015-03-18 US US14/661,114 patent/US9437801B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2014045914A1 (ja) | 2014-03-27 |
| EP2899766A1 (en) | 2015-07-29 |
| US20150194591A1 (en) | 2015-07-09 |
| TW201414026A (zh) | 2014-04-01 |
| EP2899766B1 (en) | 2017-04-05 |
| JP2014060330A (ja) | 2014-04-03 |
| US9437801B2 (en) | 2016-09-06 |
| EP2899766A4 (en) | 2016-06-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141114 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150225 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Request for written amendment filed |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150525 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150601 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5756786 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |