JP6258241B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
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Description
圧電素子に強誘電体の分極と逆極性の直流オフセット成分を含む駆動波形を入力して圧電素子を駆動する駆動部とを備えてなり、
2つの抗電界のうち、絶対値が大きい方の抗電界Ec1と、絶対値が小さい方の抗電界Ec2の各値が下記式Iを満足し、
コンデンサのキャパシタンスCsと、強誘電体のキャパシタンスをCpzと、抵抗と強誘電体の有する抵抗との合成抵抗Rpと、駆動波形の基本角周波数ωとが、下記式II及びIIIを満足するものである。
また、強誘電体が、基板上に成膜された薄膜である場合にも好適であり、強誘電体が、プラズマを用いるスパッタリング法により基板上に成膜された薄膜である場合、更に、成膜直後の状態で自発的に分極している薄膜である場合に好適である。
成膜直後の状態で自発的に分極している薄膜とは、成膜直後にある電界17kV/cmで駆動した時の変位が、34kV/cmで駆動した後に再び17kV/cmで駆動したときの変位に対して70%以上であるものを意味するものとする。
(一般式P1において、AはPb,Ba,Sr,Bi,Li,Na,Ca,Cd,Mg,K,及びランタニド元素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含むAサイト元素であり、BはTi,Zr,V,Nb,Ta,Sb, Cr,Mo,W,Mn,Mg,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni,Hf,及びAlからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含むBサイトの元素である。)
(一般式P2において、AはPbを主成分とするAサイト元素であり、Mは、V,Nb,Ta,Sb, Cr,Mo,W,Mn,Mg,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni,Hf,及びAlからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素を含むBサイトの元素であり、0<x<1、且つ、0<y<1である。)
本明細書において、「主成分」とは、含量80モル%以上の成分を意味するものとする。
図面を参照して本発明にかかる一実施形態の圧電アクチュエータについて説明する。図1は、圧電アクチュエータの構成を示す等価回路図である。
圧電素子2に強誘電体11の分極と逆極性の直流オフセット成分を含む駆動波形Vdを入力して圧電素子2を駆動する駆動部3とを備えてなる。
上記式II-0においてα=0.6とした場合が式IIであり、式III-0においてts=15とした場合が式IIIである。
下記一般式P2で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物、特に一般式P2においてMはNbを含み、NbのBサイト元素中のモル比Nb/(Zr+Ti+M)が0.06以上0.40以下であるペロブスカイト型酸化物であり、且つ、基板上に成膜されてなる薄膜、好ましくはプラズマを用いたスパッタリング法により成膜されてなる薄膜である強誘電体は、P−Eヒステリシスが正側に大きく偏っており、成膜直後において自発分極軸がマイナス極性を有して良好に配向してなるものとなるため、圧電アクチュエータ1の強誘電体として好適である(後記実施例を参照)。
(一般式P1において、AはPb,Ba,Sr,Bi,Li,Na,Ca,Cd,Mg,K,及びランタニド元素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含むAサイト元素であり、BはTi,Zr,V,Nb,Ta,Sb, Cr,Mo,W,Mn,Mg,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni,Hf,及びAlからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含むBサイトの元素である。)
(一般式P2において、AはPbを主成分とするAサイト元素であり、Mは、V,Nb,Ta,Sb, Cr,Mo,W,Mn,Mg,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni,Hf,及びAlからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素を含むBサイトの元素であり、0<x<1、且つ、0<y<1である。)
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能である。例えば、上記実施形態では、コンデンサ20を駆動部3と圧電部10との間に接続した態様について説明したが、接地電位と圧電部10との間に挿入しても同じ効果を奏する。
厚み350μmのSi基板上に、スパッタ法で基板温度350℃にてTiを30nm、Ir電極を150nmの膜厚にて形成した。次に、Ir電極上に、RFスパッタ装置において、真空度0.3Pa、Ar/O2混合雰囲気(O2体積分率7%)、成膜温度550℃、投入電力3kW、の条件下で、NbドープPZT膜(Nb−PZT膜)を3μmの厚みで成膜を実施した。このとき、Bサイト中にNbを12モル%ドープしたモルフォトロピック相境界(Morphotropic phase boundary、MPB)組成(すなわち、Zr/Tiモル比率が52/48にほぼ等しい)のPZTターゲットを使用した。
駆動波形として図10に示されるオフセットゼロのバイポーラ正弦波を入力した以外は比較例1と同様にして圧電アクチュエータの作製及びその評価を行った。その結果を表1に示す。バイポーラ正弦波による駆動という点では実施例1と同様であるので、最大変位量は実施例1と同等の変位が得られたが、長期駆動時の変位劣化率は、実施例1に比して10倍以上大きい22%であった。これは、比較例2では、圧電部と直列接続されてなるインピーダンス(実施例1ではコンデンサ)が存在しないため最大変位量を得るには、抗電界近傍の駆動電圧が印加されるために、抗電界近傍において分極反転が徐々に引き起こされたためと考えられる。比較例2の構成において、実施例1と同様にコンデンサと抵抗とを接続して本発明の圧電アクチュエータとすることにより、抗電界近傍において強誘電体にかかる電圧が抑制され脱分極抑制効果を得て長期駆動安定性を得ることができる。
コンデンサのキャパシタンスと合成抵抗の値を、図7に示される組み合わせとした以外は実施例1と同様にして実施例2〜9及び比較例3〜7の圧電アクチュエータの作製及びその評価を行った。各例の評価結果を表1に示す。
強誘電体膜の成膜に用いるターゲットの組成を変更した以外は実施例1と同様にして実施例10,11、比較例8の圧電アクチュエータの作製及びその評価を行った。具体的には、実施例10では、Bサイト中にNbを25モル%ドープしたMPB組成のPZTターゲット、実施例11ではBサイト中にNbを6モル%ドープしたMPB組成のPZTターゲット、比較例8ではNbをドープしていないMPB組成のPZTターゲットを使用した。各例の評価結果を表1に示す。
2 圧電素子
10 圧電部
11 強誘電体
20 コンデンサ
30 抵抗
40 下部電極
50 上部電極
B 基板
3 駆動部
Vd 駆動波形
Claims (11)
- 2つの抗電界点を有し、前記2つの抗電界の絶対値が異なる非対称なバイポーラ分極-電界ヒステリシス特性を有する強誘電体を備えた圧電部と、該圧電部と電気的に直列接続されてなるコンデンサと、該コンデンサと電気的に直列接続され、且つ、前記強誘電体と電気的に並列に接続されてなる抵抗とを備えた圧電素子と、
該圧電素子に前記強誘電体の分極と逆極性の直流オフセット成分を含む駆動波形を入力して前記圧電素子を駆動する駆動部とを備えてなり、
前記2つの抗電界のうち、絶対値が大きい方の抗電界Ec1と、絶対値が小さい方の抗電界Ec2の各値が下記式Iを満足し、
前記コンデンサのキャパシタンスCsと、前記強誘電体のキャパシタンスをCpzと、前記抵抗と前記強誘電体の有する抵抗との合成抵抗Rpと、前記駆動波形の基本角周波数ωとが、下記式II及びIIIを満足する圧電アクチュエータ。
- 前記絶対値が大きい抗電界の極性が正であることを特徴とする請求項1記載の圧電アクチュエータ。
- 前記強誘電体が、基板上に成膜された薄膜である請求項1または2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記強誘電体が、プラズマを用いるスパッタリング法により前記基板上に成膜された薄膜である請求項3記載の圧電アクチュエータ。
- 前記強誘電体が、成膜直後の状態で自発的に分極している請求項1〜4いずれか1項記載の圧電アクチュエータ。
- 前記強誘電体は、下記一般式P1で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物であり、前記一般式P1において、AはPb,Ba,Sr,Bi,Li,Na,Ca,Cd,Mg,K,及びランタニド元素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含むAサイト元素であり、BはTi,Zr,V,Nb,Ta,Sb, Cr,Mo,W,Mn,Mg,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni,Hf,及びAlからなる群より選ばれる少なくとも1種の元素を含むBサイトの元素である請求項1〜5いずれか1項記載の圧電アクチュエータ。
ABO3・・・一般式P1 - 前記強誘電体は、下記一般式P2で表される1種又は2種以上のペロブスカイト型酸化物であり、前記一般式P2において、AはPbを主成分とするAサイト元素であり、Mは、V,Nb,Ta,Sb, Cr,Mo,W,Mn,Mg,Sc,Co,Cu,In,Sn,Ga,Zn,Cd,Fe,Ni,Hf,及びAlからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素を含むBサイトの元素であり、0<x<1、且つ、0<y<1である請求項6記載の圧電アクチュエータ。
A(Zrx,Tiy,M1−x−y)O3・・・一般式P2 - 前記一般式P2において、前記MはNbを含み、NbのBサイト元素中のモル比が0.06以上0.40以下である請求項7記載の圧電アクチュエータ。
- 前記コンデンサは、前記強誘電体上に成膜された薄膜である請求項1〜8いずか1項記載の圧電アクチュエータ。
- 前記抵抗は、前記強誘電体上に成膜された薄膜であり、かつ半導体加工技術を用いて式II及び式IIIを満足する抵抗値になるようにパターニング形成されたものであることを特徴とする請求項1〜9いずれか1項記載の圧電アクチュエータ。
- 前記強誘電体の前記バイポーラ分極-電界ヒステリシスにおいて、前記抗電界Ec1における傾き∂P/∂EE=Ec1と0V/cmにおける傾き∂P/∂EE=0が下記式IVを満足する請求項1〜10いずれか1項記載の圧電アクチュエータ。
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