JP5744450B2 - 撮像装置及びその制御方法 - Google Patents
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Description
測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置の制御方法であって、
前記補正手段の有効領域を変更する変更工程と、
前記被検査物で発生する収差を測定する測定工程と、
前記測定された収差に基づいて、該収差を補正するための前記変更された有効領域の補正量を演算する演算工程と、
前記補正量に基づいて、前記補正手段の前記有効領域を制御する制御工程と、を有する。
また、別の本発明に係る撮像装置の制御方法は、
被検査物で発生する収差を補正する補正手段の解像度を決定する決定工程と、
前記被検査物で発生する収差を測定する測定工程と、
前記測定された収差と前記決定された解像度とに基づいて、前記補正手段を制御する制御工程と、を有する。
測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置であって、
前記補正手段の有効領域を変更する変更手段と、
前記被検査物で発生する収差を測定する収差測定手段と、
前記測定された収差に基づいて、該収差を補正するための前記変更された有効領域の補正量を演算する演算手段と、
前記補正量に基づいて、前記補正手段の前記有効領域を制御する制御手段と、を有する。
また、別の本発明に係る撮像装置は、
被検査物で発生する収差を補正する補正手段の解像度を決定する決定手段と、
前記被検査物で発生する収差を測定する収差測定手段と、
前記測定された収差と前記決定された解像度とに基づいて、前記補正手段を制御する制御手段と、を有する。
実施例1として、図1を用いて本発明を適用した補償光学系を備えたSLOによる被検査物の光画像を取得する光画像撮像装置および光画像撮像装置の制御方法の構成例について説明する。
光源101の波長は特に制限されるものではないが、眼底撮像用としては被検者の眩しさの軽減と分解能維持のために、800〜1500nm程度が好適に用いられる。
本実施例においてはSLD光源を用いたが、その他にレーザ等も用いられる。本実施例では眼底撮像と波面測定のための光源を共用しているが、それぞれを別光源とし、途中で合波する構成としても良い。
光源101から照射された光は、単一モード光ファイバー102を通って、コリメータ103により、平行な測定光105として照射される。
補償光学系は、光分割部106、波面センサー(実施例において収差測定手段に対応する)115、波面補正デバイス(実施例において波面補正手段に対応する)108および、それらに導光するための反射ミラー107−1〜4から構成される。
ここで、反射ミラー107−1〜4は、少なくとも眼の瞳と波面センサー115、波面補正デバイス108とが光学的に共役関係になるように設置されている。また、光分割部106として、本実施例ではビームスプリッタを用いた。
測定光105は、有効領域設定部120−2を通ることによって所望のビーム径に変更されて波面補正デバイス108に入射する。
波面補正デバイス108で反射された測定光105は、有効領域設定部120−1によって再度ビーム径が変更されて反射ミラー107−3に出射する。
有効領域設定部120−1および120−2はビーム径の変更倍率を変えることが可能で、分解能制御部121と接続(不図示)されている。
図2(a)に反射型液晶光変調器の模式図を示す。
本素子はベース部122とカバー123に挟まれた空間に液晶分子125が封入されている構造となっている。
ベース部122には複数の画素電極124を有し、カバー123には不図示の透明な対向電極を有している。
電極間に電圧を印加していない場合には、液晶分子は125−1のような配向をしており、電圧を印加すると125−2のような配向状態に遷移し、入射光に対する屈折率が変化する。
各画素電極の電圧を制御して各画素の屈折率を変化させることにより、空間的な位相変調が可能となる。例えば入射光126が素子に入射した場合、液晶分子125−2を通過する光は液晶分子125−1を通過する光よりも位相が遅れ、結果として図中127で示すような波面を形成する。
一般的に反射型液晶光変調器は、数万〜数十万個の画素から構成されている。
波面補正デバイス108の他の例としては、可変形状ミラーがある。可変形状ミラーとは、局所的に光の反射方向を変えることができるものであり、様々な方式のものが実用化されている。
例えば、その断面を図2(b)に示すようなデバイスである。
入射光を反射する変形可能な膜状のミラー面129と、ベース部128と、これらに挟まれて配置されたアクチュエータ130と、ミラー面129を周囲から支持する不図示の支持部から構成されている。
アクチュエータ130の動作原理としては、静電力や磁気力、圧電効果を利用したものがあり、動作原理によってアクチュエータ130の構成は異なる。
アクチュエータ130はベース部128上に二次元的に複数配列されていて、それらを選択的に駆動することにより、ミラー面129を自在に変形できるようになっている。一般的に可変形状ミラーは数十〜数百のアクチュエータで構成されている。
ビーム径を7mmから1mm程度の範囲で変更することにより、眼底上の3μmから20μm程度の撮影分解能が可能となる。
分解能設定部117は分解能制御部121から制御され、分解能制御部121は制御部118と協調して動作する。
分解能設定部117としては複数のレンズを用いてその位置関係を調整する構成等が好適に用いられ、分解能を連続的に変更する構成や離散的に変更する構成が可能である。
分解能設定部117から出射した測定光105は、走査光学系109によって、1次元もしくは2次元に走査される。
走査光学系109内の各スキャナーを光学的な共役状態にするために、各スキャナーの間にミラーやレンズといった光学素子を用いる装置構成の場合もある。
走査光学系109で走査された測定光105は、接眼レンズ110−1および110−2を通して眼111に照射される。
眼111に照射された測定光105は眼底で反射もしくは散乱される。
接眼レンズ110−1および110−2の位置を調整することによって、眼111の視度にあわせて最適な照射を行うことが可能となる。
眼111の網膜から反射もしくは散乱された反射散乱光(戻り光)は、入射した時と同様の経路を逆向きに進行し、光分割部106によって一部は波面センサー115に反射され、光線の波面を測定するために用いられる。
本実施例では、波面センサー115としてシャックハルトマンセンサーを用いた。図2(c−1)、(c−2)にシャックハルトマンセンサーの模式図を示す。131が波面を測定する光線であり、マイクロレンズアレイ132を通して、CCDセンサー133上の焦点面134に集光される。
光線131は各マイクロレンズ135を通してCCDセンサー133上に集光されるため、光線131はマイクロレンズ135の個数分のスポットに分割されて集光される。
図2(d)にCCDセンサー133上に集光された状態を示す。各マイクロレンズを通過した光線はスポット136に集光される。
そして、この各スポット136の位置から、入射した光線の波面を計算する。例えば、図2(e−1)、図2(e−2)に球面収差を持つ波面を測定した場合の模式図を示す。光線131は137で示すような波面で形成されている。光線131はマイクロレンズアレイ132によって、波面の局所的な垂線方向の位置に集光される。
この場合のCCDセンサー133の集光状態を図2(e−2)に示す。
本実施例では波面センサーにシャックハルトマンセンサーを用いたが、それに限定されるものではなく、曲率センサーのような他の波面測定手段や、結像させた点像から逆計算で求めるような方法を用いても良い。
光分割部106を透過した反射散乱光は光分割部104によって一部が反射され、コリメータ112、光ファイバー113を通して光強度センサー114に導光される。
光強度センサー114で光は電気信号に変換され、制御部118によって眼底画像として画像に構成されて、ディスプレイ119に表示される。
波面補正デバイス108も補償光学制御部116に接続されており、補償光学制御部116から指示された変調を行う。
補償光学制御部116は波面センサー115の測定結果による取得された波面を基に、収差のない波面へと補正するような変調量(補正量)を計算し、波面補正デバイス108にそのように変調するように指令する。
波面の測定と波面補正デバイス108への指示は繰り返し処理され、常に最適な波面となるようにフィードバック制御が行われる。
一方で、分解能設定部117で低い分解能に設定された場合には、有効領域設定部120によって波面補正デバイス108の有効領域が小さく変更され、有効領域内の少ない画素数の変調量の計算だけが行われて波面補正デバイス108の制御が行われる。
一例として、撮像分解能、ビーム径、補正デバイスの有効領域、使用画素数の対応を以下の表1に示す。
本発明者の試算によると(詳細は省く)、有効画素を600×600画素から200×200画素にすることにより、総処理時間は1/9程度に短縮される。
まず、ステップS101で制御を開始し、ステップS102で分解能を設定する。
具体的には、制御部121が分解能設定部117を制御して測定光のビーム径を変更することにより設定する。
そして、ステップS102で設定された分解能に応じて、ステップS103で有効領域設定部120を制御して補正デバイス108の有効領域を設定する。
ここで、設定する有効領域は上記表のように、3μm分解能の場合には12mm角、5μm分解能の場合には8mm角とする。
そして、測定した結果を元にステップS106で補償光学制御部116により補正量を計算し、ステップS107で補償光学制御部116の制御に基づき波面補正デバイス108を駆動するというものが繰り返し行われる。
ここで、ステップS104で収差を測定した後に、ステップS105で収差量が予め設定された基準値を下回っているかを補償光学制御部116により確認する。基準値は装置固有の値でも良いし、撮像者が設定しても良い。
収差量が基準値を下回っている場合にはステップS108に進んで眼底の撮像を行い、ステップS109で撮像終了を確認する。
ステップS106の補正量の計算や、ステップS107の補正デバイスの駆動は、有効領域設定部120で設定された領域内のみに関して行われる。
ステップS106で補正量を計算する際には、算出された前記Zernike多項式の係数を用いて各画素が担う補正量を計算する。
そのため、設定された分解能に応じてフィッティングするZernikeの次数を変えることによって、より処理が高速化される。
また、有効画素数が適切に設定されることにより、収差補正の処理が高速化されて迅速な高画質の撮像が可能となる。
実施例2として、図4のフローチャートを用いて、本発明を適用した補償光学系を備えたSLOによる実施例1とは異なる形態の光画像撮像装置の制御方法の構成例について説明する。
本実施例は、設定した撮像分解能と実際の収差量に応じて有効領域を設定するようにした点に特徴を有する。
まず、ステップS101で制御を開始し、ステップS102で分解能を設定する。
そして、ステップS102で設定された分解能に応じて、ステップS103で有効領域設定部120を制御して波面補正デバイス108の有効領域を設定する。ここで、設定する有効領域は実施例1と同様に、3μm分解能の場合には12mm角、5μm分解能の場合には7mm角とする。
補償光学系の基本的なフローは、光源101からの測定光を眼111に照射した状態において、ステップS104で波面センサー115により収差を測定する。
ここで、ステップS104で収差を測定した後に、ステップS105で収差量が予め設定された基準値を下回っているかを補償光学制御部116により確認する。基準値は装置固有の値でも良いし、撮影者が設定しても良い。
収差量が基準値を上回っている場合には、ステップS106以降の処理が実行され、収差量が基準値を下回っている場合にはステップS108に進んで眼底の撮像を行ってステップS109で撮像終了を確認する。
終了要求が来ていない場合には、ステップS104に戻り、補償光学系の処理と撮像を繰り返す。
ここで、ステップS105の次にステップS111において収差の変化率を確認する。収差の変化率が大きいということはまだ補正途中であるということであるが、変化率が小さくかつ収差量が基準以下ということは、補正能力が不足していると言うことになる。
そこで、ステップS111で収差変化率が基準以下だった場合にはステップS112に進んで有効領域が最大であるか確認する。
有効領域が最大でない場合には、ステップS113において、補正能力を向上させるために有効領域を拡大する。
ステップS113で有効領域を拡大した後、ステップS106に進んで補正量を計算してステップS107で補正デバイスを駆動する。
ステップS112で有効領域が最大であると判断された場合には、補正デバイスの補正能力を上げることが出来ないので、ステップS114において分解能を低下させる。分解能を低下させると収差量が減少する。
その後、ステップS104に戻り、補償光学系の処理が行われる。
また、有効画素数が適切に設定されることにより、収差補正の処理が高速化されて迅速な高画質の撮像が可能となる。
実施例3においては、図5を用いて本発明を適用した補償光学系を備えたSLOによる光画像撮像装置の実施例1とは異なる形態の構成例について説明する。
本実施例では、実施例1とは異なり、撮影分解能と波面センサーおよび波面補正デバイスの有効領域を変更するように構成されている。
図5において、101は光源であり、本実施例では波長840nmのSLD光源(Super Luminescent Diode)を用いた。
照射された測定光105は光分割部104を透過し、分解能および有効領域設定部138に入射する。
分解能および有効領域設定部138は入射したビーム径を変化させて出射することにより、撮像分解能と波面センサーおよび波面補正デバイスの有効領域を変更する。
ここで、光分割部104としてはビームスプリッタ等を、分解能および有効領域設定部138としては複数のレンズを用いてその位置関係を調整する構成等を用いれば良い。
分解能および有効領域設定部138を透過した測定光105は、補償光系に導光される。補償光学系の光学系は実施例1と同様の構成であるが、補正デバイスの有効領域変更部は分解能および有効領域設定部138が兼ねているために補償光学系には具備していない。
補償光学系を通過した光は、走査光学系109によって、1次元もしくは2次元に走査される。
走査光学系109で走査された測定光は、接眼レンズ110−1および110−2を通して眼111に照射される。
眼111に照射された測定光は眼底で反射もしくは散乱される。
接眼レンズ110−1および110−2の位置を調整することによって、眼111の視度にあわせて最適な照射を行うことが可能となる。
眼111の網膜から反射散乱された反射散乱光は、入射した時と同様の経路を逆向きに進行し、光分割部106によって一部は波面センサー115に反射され、光線の波面を測定するために用いられる。
光分割部106を透過した反射散乱光は光分割部104によって一部が反射され、コリメータ112、光ファイバー113を通して光強度センサー114に導光される。
光強度センサー114で光は電気信号に変換され、制御部118によって眼底画像として画像に構成されて、ディスプレイ119に表示される。
波面センサー115は補償光学制御部116に接続され、受光した光線の波面を補償光学制御部116に伝える。
波面補正デバイス108も補償光学制御部116に接続されており、補償光学制御部116から指示された変調を行う。
波面の測定と波面補正デバイス108への指示は繰り返し処理され、常に最適な波面となるようにフィードバック制御が行われる。
本実施例では波面補正デバイス108として画素数600×600の反射型液晶空間位相変調器を用いた。
分解能および有効領域設定部138で高い分解能が設定された場合には、補正デバイス108の有効領域が補正デバイス108の全領域に設定され、600×600画素全ての変調量を計算して補正デバイス108を制御する。
一例として、撮像分解能、ビーム径、波面センサーの有効領域、補正デバイスの有効領域、使用画素数の対応を以下の表2に示す。
このように撮像分解能に応じて波面センサーや補正デバイスの有効領域を変更し、使用する画素数を変更する。
本実施例においても、実施例1もしくは実施例2と同様の処理を行うことによって、撮像する分解能に応じて補正デバイスの有効領域を適切に設定することが可能となる。
また、分解能設定部と有効領域設定部を共通化することができる。
実施例4においては、図6を用いて本発明を適用した補償光学系を備えたSLOによる光画像撮像装置の実施例3とは異なる形態の構成例について説明する。
本実施例では、実施例3とは異なり、撮像分解能と波面補正デバイスの有効領域を変更するように構成されている。
すなわち、本実施例では、分解能および有効領域設定部138が、波面センサー115への光分割部106よりも補正デバイス側にある以外は、実施例3と同様である。
波面補正デバイス108である空間位相変調器と比較して、波面センサーであるシャックハルトマンセンサーのマイクロレンズアレイ数はそれほど多くない。
そのため、有効領域を小さくすることによる計算速度の向上よりも波面測定の精度を重要視して、このような構成をとる場合もある。
一例として、撮像分解能、ビーム径、波面センサーの有効領域、補正デバイスの有効領域、使用画素数の対応を以下の表3に示す。
本実施例においても、実施例1もしくは実施例2と同様の処理を行うことによって、撮像する分解能に応じて補正デバイスの有効画素数が適切に設定される。
また、有効画素数が適切に設定されることにより、収差補正の処理が高速化されて迅速な高画質の撮像が可能となる。
また、波面測定の精度を落とすことなく、分解能設定部と有効領域設定部を共通化することができる。
実施例5においては、図7を用いて本発明を適用した補償光学系を備えたOCTによる光画像撮像装置の構成例について説明する。
光源101は低干渉性のものであれば良く、波長幅30nm以上のSLD光源が好適に用いられる。また、チタンサファイアレーザなどの超短パルスレーザなどを光源に用いることもできる。
光源101から照射された光は、単一モード光ファイバー102を通って、ファイバーカプラー143まで導光される。
ファイバーカプラー143によって、測定光経路144と参照光経路145に分岐される。ファイバーカプラーは10:90の分岐比のものを使用し、投入光量の10%が測定光経路144に行くように構成する。
コリメータ103以降の構成は実施例4と同様であり、補償光学系や走査光学系を通して眼111に照射し、眼111からの反射散乱光は再度同様の経路をたどって光ファイバー144に導光されてファイバーカプラー143に到達する。
ファイバーカプラー143に到達した測定光と参照光は合波され、光ファイバー148を通して分光器149に導光される。
分光器149によって分光された干渉光情報をもとに、制御部118によって眼底の断層像が構成される。制御部118は光路長可変部147を制御し、所望の深さ位置の画像を取得できる。
実施例1と同様に波面センサー115で波面を測定し、その波面収差をキャンセルするように波面補正デバイス108を駆動する。
OCTでは断層画像が得られるが、入射光のNAを大きくして分解能を高めると被写界深度が浅くなり、一つの断層画像中に合焦している部分と合焦していない部分が出来てしまう。
本実施例においても、撮像する分解能に応じて補正デバイスの有効画素数が適切に設定される。
また、波面測定の精度を落とすことなく、分解能設定部と有効領域設定部を共通化することができる。
実施例6として、図8を用いて本発明を適用した補償光学系を備えたSLOによる被検査物の光画像を取得する光画像撮像装置および光画像撮像装置の制御方法の構成例について説明する。なお、本実施例は、測定対象である被検査物を眼とし、眼で発生する収差を補償光学系で補正し、眼底を撮像するようにした一例について説明する。
光源101の波長は特に制限されるものではないが、眼底撮影用としては被検者の眩しさの軽減と分解能維持のために、800〜1500nm程度が好適に用いられる。
照射された測定光105はビームスプリッタからなる光分割部104を透過し、補償光学の光学系に導光される。
補償光学系は、光分割部106、波面センサー(実施例において収差測定手段に対応する)115、波面補正デバイス(実施例において波面補正手段に対応する)108および、それらに導光するための反射ミラー107−1〜4から構成される。
測定光105は波面補正デバイス108に入射し、波面補正デバイス108で反射された測定光105は反射ミラー107−3に出射する。
眼111の網膜から反射もしくは散乱された反射散乱光は、入射した時と同様の経路を逆向きに進行し、光分割部106によって一部は波面センサー115に反射され、光線の波面を測定するために用いられる。
光強度センサー114で光は電気信号に変換され、制御部118によって眼底画像として画像に構成されて、ディスプレイ119に表示される。
波面センサー115は補償光学制御部116に接続され、受光した波面を補償光学制御部116に伝える。
波面補正デバイス108も補償光学制御部116に接続されており、補償光学制御部116から指示された変調を行う。
波面の測定と波面補正デバイスへの指示は繰り返し処理され、常に最適な波面となるようにフィードバック制御が行われる。
本実施例では上述したように、波面補正デバイス108である空間位相変調器の解像度を任意に指定することが可能であり、波面補正のフィードバック制御の状況に応じて解像度を変更(再設定)する。
補償光学系の基本的なフローは、光源101からの測定光105を眼111に照射した状態において、ステップS104で波面センサー115により収差を測定する。
そして、測定した結果を元にステップS106で補償光学制御部116により、ステップS115で設定された解像度で補正量を計算し、ステップS107で補償光学制御部116の制御に基づき波面補正デバイス108を駆動するというものが繰り返し行われる。ステップS115で低い解像度に設定されているので、ステップS106の処理時間は短く、ステップS104からS107に至る基本的なフローは非常に高速に行われる。
収差変化が基準値を上回っている場合には、ステップS106以降の処理が実行される。
収差変化が基準値を下回っている場合には、ステップS105に進み、収差量が収差量基準を下回っているかを確認する。
収差量が基準値を下回っている場合にはステップS108に進んで眼底の撮像を行い、ステップS109で撮像終了を確認する。
ステップS105で収差量が基準値を上回っている場合には、ステップS116に進み、設定されている解像度が波面補正デバイス108の最大解像度かを確認する。最大解像度でなければ、ステップS117に進み、現時点で設定されている解像度よりも高い解像度に設定する。その後、ステップS104に進み、補償光学の基本フローを繰り返す。
ステップS116で、解像度が最高解像度に設定されていると判断されると、それは収差補正性能の限界と判断し、ステップS108に進み撮像を行う。
上記フローのように、収差補正開始時に低い解像度で収差補正のフィードバックループを実行することで、最高解像度でフィードバックするよりも大幅に処理速度が向上し、眼の収差の大部分を補正する状態に到達する時間が短縮される。この段階で撮像可能な収差状態であった場合には即座に撮像が行われるため、撮像開始までの時間が大幅に短縮される。また、この段階で十分収差が補正されていなくても、残存している収差は高次収差のわずかな部分であるため、数回のフィードバックで十分補正可能であり、撮像開始までの時間は初めから高解像度で制御するよりも短縮化される。
また、以上で説明した各実施例での光画像撮像装置の制御方法において、これらの制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを作製し、このプログラムを記憶媒体に記憶させ、コンピュータに読み取らせるように構成することができる。
102 光ファイバー
103 コリメータ
104 光分割部
105 測定光
106 光分割部
107 反射ミラー
108 波面補正デバイス
109 走査光学系
110 接眼レンズ
111 眼
112 コリメータ
113 光ファイバー
114 光強度センサー
115 波面センサー
116 補償光学制御部
117 分解能設定部
118 制御部
119 ディスプレイ
120 有効領域設定部
121 分解能制御部
Claims (23)
- 測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置の制御方法であって、
前記補正手段の有効領域の大きさを変更する変更工程と、
前記被検査物で発生する収差を測定する測定工程と、
前記測定された収差に基づいて、該収差を補正するための前記変更された有効領域の補正量を演算する演算工程と、
前記補正量に基づいて、前記補正手段の前記有効領域を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 前記変更工程において、前記補正手段に照射される光の径の大きさに基づいて、前記有効領域の大きさを変更することを特徴とする請求項1に記載の制御方法。
- 前記変更工程において、前記補正手段に照射される光の径の大きさを変更することにより、前記有効領域の大きさ及び前記収差を測定する領域の大きさを変更することを特徴とする請求項1または2に記載の制御方法。
- 少なくとも前記測定工程と演算工程と前記制御工程とを繰り返し実行し、繰り返し実行する途中に、前記補正手段の有効領域の大きさを再び変更する再変更工程を更に有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の制御方法。
- 前記有効領域における画素数を決定する決定工程を更に有し、
前記演算工程において、前記測定された収差と前記変更された大きさと前記決定された画素数とに基づいて、前記補正手段の補正量を計算し、
前記制御工程において、前記計算された補正量に基づいて、前記補正手段を制御することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の制御方法。 - 測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置の制御方法であって、
前記補正手段において使用される画素数を決定する決定工程と、
前記被検査物で発生する収差を測定する測定工程と、
前記測定された収差及び前記決定された画素数に基づいて、前記補正手段を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 前記決定工程において、前記補正手段における複数の画素のうち隣り合う複数の画素を1セットとする場合に、前記複数の画素の数を決定することにより、前記画素数を決定することを特徴とする請求項5または6に記載の制御方法。
- 前記被検査物を撮像するときの分解能を設定する分解能設定工程を更に有し、
前記変更工程において、前記分解能設定工程で設定された分解能に基づき、前記補正手段の有効領域の大きさを変更することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の制御方法。 - 前記分解能設定工程での前記分解能の設定が、前記測定光のビーム径の変更により行われる、前記有効領域を設定する有効領域設定手段で行われる、のうち少なくとも一方であることを特徴とする請求項8に記載の制御方法。
- 前記収差が、Zernike多項式で扱われ、
前記分解能に応じて前記Zernike多項式の次数を変更することを特徴とする請求項8または9に記載の制御方法。 - 前記設定された分解能と前記測定された収差とに応じて、前記補正手段の有効領域の大きさを変更することを特徴とする請求項8から10のいずれか1項に記載の制御方法。
- 測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置の制御方法であって、
前記補正手段の有効領域を変更する変更工程と、
前記被検査物で発生する収差を測定する測定工程と、
前記測定された収差に基づいて、該収差を補正するための前記変更された有効領域の補正量を演算する演算工程と、
前記補正量に基づいて、前記補正手段の前記有効領域を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 被検査物で発生する収差を補正する補正手段の解像度を決定する決定工程と、
前記被検査物で発生する収差を測定する測定工程と、
前記測定された収差と前記決定された解像度とに基づいて、前記補正手段を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする制御方法。 - 前記被検査物は眼であり、
前記補正手段は、前記眼の前眼部と光学的に共役関係になるように配置されることを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の制御方法。 - 請求項1から14のいずれか1項に記載の制御方法の各工程を、コンピュータに実行させるためのプログラム。
- 測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置であって、
前記補正手段の有効領域の大きさを変更する変更手段と、
前記被検査物で発生する収差を測定する収差測定手段と、
前記測定された収差に基づいて、該収差を補正するための前記変更された有効領域の補正量を演算する演算手段と、
前記補正量に基づいて、前記補正手段の前記有効領域を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記変更手段は、前記補正手段に照射される光の径の大きさを変更することにより、前記有効領域の大きさを変更することを特徴とする請求項16に記載の撮像装置。
- 前記有効領域における画素数を決定する決定手段と、
前記測定された収差と前記変更された大きさと前記決定された画素数とに基づいて、前記補正手段の補正量を計算する計算手段と、を更に有し、
前記制御手段は、前記計算された補正量に基づいて、前記補正手段を制御することを特徴とする請求項16または17に記載の撮像装置。 - 測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置であって、
前記補正手段において使用される画素数を決定する決定手段と、
前記被検査物で発生する収差を測定する収差測定手段と、
前記測定された収差及び前記決定された画素数に基づいて、前記補正手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 測定光を被検査物に照射し、該被検査物で発生する収差を補正手段で補正し、該被検査物を撮像する撮像装置であって、
前記補正手段の有効領域を変更する変更手段と、
前記被検査物で発生する収差を測定する収差測定手段と、
前記測定された収差に基づいて、該収差を補正するための前記変更された有効領域の補正量を演算する演算手段と、
前記補正量に基づいて、前記補正手段の前記有効領域を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記有効領域は、前記補正手段における光の照射領域であることを特徴とする請求項16から18、20のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 被検査物で発生する収差を補正する補正手段の解像度を決定する決定手段と、
前記被検査物で発生する収差を測定する収差測定手段と、
前記測定された収差と前記決定された解像度とに基づいて、前記補正手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。 - 前記被検査物は眼であり、
前記補正手段は、前記眼の前眼部と光学的に共役関係になるように配置されることを特徴とする請求項16から22のいずれか1項に記載の撮像装置。
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