JP2003307690A

JP2003307690A - 光走査装置のビーム位置調整方法及びビーム位置調整装置

Info

Publication number: JP2003307690A
Application number: JP2002116211A
Authority: JP
Inventors: Tatsuyuki Miura; 三浦　　達幸
Original assignee: Toshiba TEC Corp
Current assignee: Toshiba TEC Corp
Priority date: 2002-04-18
Filing date: 2002-04-18
Publication date: 2003-10-31
Also published as: US20030197777A1; US20050146595A1

Abstract

(57)【要約】【課題】電源を再投入したときの、ガルバノミラーの
ミラー面の角度調整をスムーズに行い、光ビームの位置
調整を迅速にする。【解決手段】マルチビーム露光装置の電源がオンされ
てビーム制御の開始を判断すると、不揮発性メモリから
ガルバノ指示値を読み出し、その指示値に従ってガルバ
ノミラー駆動回路を制御し、各ガルバノミラーのコイル
にそれぞれ所定の電流量の通電を行う。続いて、半導体
レーザ素子を駆動してビーム位置の制御を行う。その
後、マルチビーム露光装置の電源がオフされると、その
ときＣＰＵからガルバノミラー駆動回路に対して供給し
ているそれぞれの指示値を不揮発性メモリに記憶させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビーム等の
光ビームを使用した光走査装置のビーム位置調整方法及
びビーム位置調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、高速デジタル複写装置や高速プ
リント装置などの画像形成装置において、光走査装置と
して、２以上の光ビームを同時に走査して感光体ドラム
の帯電領域を露光するマルチビーム露光装置を使用した
ものが知られている。

【０００３】マルチビーム露光装置は、例えば、レーザ
ビームを放射する複数の半導体レーザ素子と、各半導体
レーザ素子から放射されたレーザビームの断面ビーム径
を、要求された解像度に対応するように整え、各レーザ
ビームの副走査方向（感光体ドラムの軸線方向と直交す
る方向）の間隔を所定の間隔に設定する光学部材と、各
レーザビームを主走査方向（感光体ドラムの軸線方向）
に沿って一括して偏向走査する偏向装置と、この偏向装
置により偏向された各レーザビームを感光体ドラムの帯
電領域に導き、結像させる結像レンズ系等を有する。

【０００４】このようなマルチビーム露光装置に使用さ
れる光学部材として、電磁コイルへの通電制御によりミ
ラー面の角度を微小変化させることができるガルバノミ
ラーを使用している。そして、ガルバノミラーのミラー
面の角度を微調整することで各レーザビームの副走査方
向の間隔を、例えば、６００ｄｐｉの解像度においては
４２．３μｍに設定するようにしている。

【０００５】この間隔の調整は、フォトダイオードなど
のセンサを使用して行っている。すなわち、レーザビー
ムをセンサの受光面上も走査させてレーザビームが通過
する受光面上の位置を検出し、これをレーザビーム個々
について行うことでレーザビーム相互間の間隔を検出
し、この検出結果に基づいて間隔を調整するようにして
いる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このようにセンサを使
用して各レーザビームがセンサの所定の位置を通過する
ように調整することで各レーザビームが感光体ドラムの
帯電領域に対して、副走査方向に所定の間隔で走査され
るようになるが、このときガルバノミラーにおいては電
磁コイルに対してある値の電流が流れ、それによりミラ
ー面の傾きが所定の傾きに決められ保持されている。

【０００７】この状態で露光装置の電源がオフされると
ガルバノミラーの電源もオフされ電磁コイルへの通電が
断たれる。これにより、ガルバノミラーは自重でバラン
スされる位置に復帰し固定される。その後、露光動作の
ために露光装置の電源が再度オンされたときには、ガル
バノミラーは自重でバランスされる位置に復帰している
ので、ミラー面の傾きは画像形成のために露光した時の
ミラー面の傾きとは大きく異なり、ミラー面の傾きを画
像形成のために露光した時のミラー面の傾きに合わせる
ための調整に時間がかかるという問題があった。場合に
よってはミラー面に反射したレーザビームがセンサの受
光面上を通過できなくなることもあり、このような場合
にはレーザビームの位置を検出できなくなるため、レー
ザビームがセンサの受光面上を通過できるようにする調
整が必要となり、さらに時間がかかるという問題があっ
た。

【０００８】本発明は、電源を再投入したときの、ガル
バノミラーのミラー面の角度調整がスムーズにでき、光
ビームの位置調整が迅速にできる光走査装置のビーム位
置調整方法及びビーム位置調整装置を提供する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、駆動制御によ
ってミラー面の角度を可変できるガルバノミラーを使用
するとともに走査される光ビーム（例えば、レーザビー
ムなど）の通過位置を検出するセンサ（例えば、フォト
ダイオードやフォトトランジスタなど）を使用し、この
センサを通過する光ビームの位置をガルバノミラーのミ
ラー面の角度を可変して調整する場合に、ガルバノミラ
ーの電源オフ時にそのガルバノミラーを駆動制御してい
た制御信号値を記憶し、ガルバノミラーの電源オン時に
記憶した制御信号値に基づいてガルバノミラーを駆動制
御することにある。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。図１は、光走査装置としてマル
チビーム露光装置を使用した画像形成装置、すなわち、
デジタル複写装置の構成を概略的に示す図である。デジ
タル複写装置１は、スキャナ部１０とプリンタ部２０を
有する。

【００１１】前記スキャナ部１０は、矢印方向に移動可
能に形成された第１キャリッジ１１、この第１キャリッ
ジ１１に従動して移動する第２キャリッジ１２、この第
２キャリッジ１２からの光に所定の結像特性を与える光
学レンズ１３、この光学レンズ１３により所定の結像特
性が与えられた光を光電変換して電気信号を出力するＣ
ＣＤセンサなどの光電変換素子１４、原稿１５を保持す
る原稿テーブル１６、この原稿テーブル１６に原稿１５
を押し付ける原稿固定カバー１７等を有している。

【００１２】前記第１キャリッジ１１には、原稿１５を
照明する光源１８、この光源１８が放射する光で照明さ
れて原稿１５から反射された反射光を前記第２キャリッ
ジ１２に向けて反射するミラー１１ａが設けられてい
る。前記第２キャリッジ１２には、第１キャリッジ１１
のミラー１１ａから伝達された光を９０°折り曲げるミ
ラー１２ａ及びこのミラー１２ａで折り曲げられた光を
さらに９０°折り曲げるミラー１２ｂが設けられてい
る。

【００１３】前記原稿テーブル１６に載置された原稿１
５は、光源１８によって照明され、画像の有無に対応す
る光の明暗が分布する反射光を反射する。原稿１５から
の反射光は画像情報としてミラー１１ａ、１２ａ及び１
２ｂを経由して、光学レンズ１３に入射される。前記光
学レンズ１３に入射された原稿１５からの反射光は、こ
の光学レンズ１３によって光電変換素子１４の受光面に
集光される。そして、第１キャリッジ１１と第２キャリ
ッジ１２が相対速度２対１で原稿テーブル１６に沿って
移動することで原稿１５の画像情報が光電変換素子１４
によって読み取られ、画像の濃淡を示すデジタル信号に
変換される。

【００１４】前記プリンタ部２０は、マルチビーム露光
装置２１と記録用紙Ｐに電子写真方式で画像形成する画
像形成部２２を有する。前記画像形成部２２は、表面を
感光層で形成したドラム状の感光体、すなわち、感光体
ドラム２３と、この感光体ドラム２３の表面に帯電によ
り所定極性の電位を与える帯電装置２４と、前記マルチ
ビーム露光装置２１により感光体ドラム２３の表面に形
成された静電潜像にトナーを供給して現像する現像装置
２５と、この現像装置２５による現像により形成された
トナー像に所定の電界を与えてそのトナー像を記録用紙
Ｐに転写する転写装置２６と、転写後の記録用紙Ｐを感
光体ドラム２３から分離する分離装置２７と、転写後に
感光体ドラム２３の表面に残った転写残りトナーを除去
し、感光体ドラム２３の電位分布を帯電前の状態に戻す
クリーニング装置２８等を備えている。

【００１５】なお、帯電装置２４、現像装置２５、転写
装置２６、分離装置２７及びクリーニング装置２８は、
感光体ドラム２３が回転する矢印方向に沿って順に配列
されている。また、前記マルチビーム露光装置２１から
のレーザビームは帯電装置２４と現像装置２５との間の
所定位置Ｘに照射されるようになっている。

【００１６】前記スキャナ部１０で原稿１５から読み取
られた画像信号は、画像処理部（図示せず）において例
えば輪郭補正や中間調表示のための階調処理等が行われ
て印字信号に変換される。そして、この印字信号がマル
チビーム露光装置２１の半導体レーザ素子から放射され
るレーザビームの光強度を変化するレーザ変調信号に変
換される。

【００１７】マルチビーム露光装置２１からのレーザビ
ームによって感光体ドラム２３の所定位置Ｘに画像信号
に応じた静電潜像が形成される。感光体ドラム２３の回
転により静電潜像は現像装置２５によりトナーが供給さ
れて現像され、さらに、転写装置２６と対向する位置に
搬送される。一方、用紙カセット２９から、給紙ローラ
３０及び分離ローラ３１により１枚の記録用紙Ｐが取り
出され、アライニングローラ３２でタイミングが整合さ
れて転写装置２６と感光体ドラム２３との対向位置に搬
送される。そして、転写装置２６からの電界によって感
光体ドラム２３に形成されたトナー像は記録用紙Ｐ上に
転写される。

【００１８】トナー像が転写された記録用紙Ｐは、分離
装置２７により感光体ドラム２３から分離され、搬送装
置３３により定着装置３４に案内される。定着装置３４
に案内された記録用紙Ｐは、加熱、加圧によってトナー
が定着され、排紙ローラ３５によりトレイ３６に排出さ
れる。

【００１９】一方、転写装置２６によりトナー像を転写
した後の感光体ドラム２３は、引き続く回転によりクリ
ーニング装置２８の位置に移動し、表面に残っている転
写残りトナーが除去され、さらに、表面電位が帯電前の
初期状態に戻され、次の画像形成に対処するようにな
る。以上のプロセスが繰り返されることで、連続した画
像形成が可能になる。

【００２０】前記マルチビーム露光装置２１は、図２に
示すように光ビーム発生源として半導体レーザ素子４１
ａ，４１ｂを設けている。なお、図２は、マルチビーム
露光装置２１を、ハウジング（本体フレーム）を取り除
き、又、一部ミラーを省略して、レーザビームの光路を
同一平面上に展開した状態を示している。

【００２１】前記半導体レーザ素子４１ａ，４１ｂは、
所定波長のレーザビームＬａ，Ｌｂを放射する。レーザ
ビームＬａ，Ｌｂは、それぞれ偏向前光学系４２ａ，４
２ｂを通過してポリゴンミラー４３ａを有する偏向装置
４３に案内される。すなわち、レーザビームＬａは、偏
向前光学系４２ａを通過し、さらにハーフミラー４２ｃ
及び副走査方向に関して収束性を与えるシリンダレンズ
４２ｄを通過してポリゴンミラー４３ａを有する偏向装
置４３に案内され、レーザビームＬｂは、偏向前光学系
４２ｂを通過し、さらに前記ハーフミラー４２ｃで反射
した後、前記シリンダレンズ４２ｄを通過してポリゴン
ミラー４３ａを有する偏向装置４３に案内される。

【００２２】前記偏向前光学系４２ａ，４２ｂは、半導
体レーザ素子４１ａ，４１ｂからのレーザビームＬａ，
Ｌｂの断面スポット形状を所定の形状に整えるもので、
半導体レーザ素子４１ａ，４１ｂからの発散性のレーザ
ビームに所定の収束性を与える有限焦点レンズ４４ａ，
４４ｂ、この有限焦点レンズ４４ａ，４４ｂを通過した
レーザビームの断面ビーム形状を所定の形状に整える絞
り４５ａ，４５ｂ、及びこの絞り４５ａ，４５ｂを通過
したレーザビームを折り曲げて前記ハーフミラー４２ｃ
に案内するとともに２つのレーザビームＬａ，Ｌｂの副
走査方向の間隔が所定の間隔となるようにビーム位置を
調整するガルバノミラー４６ａ，４６ｂを備えている。

【００２３】なお、有限焦点レンズ４４ａ，４４ｂとし
ては、例えば、非球面ガラスレンズ、または球面ガラス
レンズに紫外線硬化プラスチック非球面レンズを貼り合
わせた単レンズを使用している。また、ガルバノミラー
４６ａ，４６ｂは、レーザビームを反射する方向を任意
の方向に微小量変更可能な光路変更装置付きのミラーで
ある。

【００２４】前記ガルバノミラー４６ａ，４６ｂで反射
したレーザビームＬａ，Ｌｂはハーフミラー４２ｃ上に
おいて副走査方向に所定の間隔を開けた２本のレーザビ
ームＬ（Ｌａ＋Ｌｂ）となり、シリンダレンズ４２ｄを
通過して偏向装置４３に案内される。偏向装置４３は、
例えば外周に８面の平面反射鏡を備えた正多角形のポリ
ゴンミラー４３ａをモータ４３ｂによって所定の速度で
回転するようになっている。

【００２５】偏向装置４３と像面（感光体ドラム２３の
所定位置Ｘに対向する位置であって設計上の焦平面）と
の間には、偏向装置４３からのレーザビームＬに所定の
光学特性を与える第１、第２の結像レンズ４７ａ，４７
ｂからなる偏向後光学系４７が配置されている。また、
第２の結像レンズ４７ｂを通過したレーザビームＬが感
光体ドラム２３の所定位置Ｘにおける画像形成領域を走
査する手前でそのレーザビームＬの通過タイミング及び
その通過位置を検出するビーム位置検出センサ４８、第
２の結像レンズ４７ｂを通過したレーザビームＬを反射
して前記ビーム位置検出センサ４８に案内する反射ミラ
ー４９が配置されている。なお、前記ビーム位置検出セ
ンサ４８は、受光面が感光体ドラム２３の表面の位置と
光学的に同等の距離となるように配置されている。

【００２６】図３は前記マルチビーム露光装置２１の制
御部の構成を示す一部ブロックを含む図で、制御部本体
を構成するＣＰＵ（中央処理装置）５１を設け、このＣ
ＰＵ５１によって不揮発性メモリ５２及び画像メモリ５
３に対するデータの書き込みや読み出しの制御を行うよ
うになっている。また、前記ＣＰＵ５１によって前記偏
向装置４３のモータ４３ｂを駆動制御するモータ駆動回
路５４の制御、前記ビーム位置検出センサ４８から検出
信号を取り込んでビーム位置を検出するビーム位置検出
回路５５の制御及び操作パネル５６の制御を行うように
なっている。さらに、前記ＣＰＵ５１によって前記半導
体レーザ素子４１ａ，４１ｂを駆動するレーザ駆動回路
５７ａ，５７ｂの制御及び前記ガルバノミラー４６ａ，
４６ｂを駆動するＤ／Ａコンバータを備えたガルバノミ
ラー駆動回路５８の制御を行うようになっている。

【００２７】前記半導体レーザ素子４１ａ，４１ｂは、
それぞれレーザ駆動回路５７ａ，５７ｂにより所定のタ
イミングで前記画像メモリ５３に記憶されている画像デ
ータによりレーザビームＬａ，Ｌｂを放射する。この場
合、半導体レーザ素子４１ａ，４１ｂは偏向装置４３の
ポリゴンミラー４３ａが所定の回転数に達するまではレ
ーザビームを放射することはなく、ポリゴンミラー４３
ａが所定の回転数に達してＣＰＵ５１から所定の制御コ
マンドが出力され、レーザ駆動電流が所定の大きさに達
すると、レーザビームＬａ，Ｌｂを放射する。

【００２８】前記ガルバノミラー４６ａ，４６ｂは、図
４に示すように、ミラー１００の角度を変位可能に保持
する板ばね１０１及びこの板ばね１０１を支持するフレ
ーム１０２を有する。なお、板ばね１０１には、ベリリ
ウム銅やばね用ステンレス鋼ＳＵ３０４等が用いられ
る。前記板ばね１０１には、この板ばね１０１を変位さ
せるための力を発生する推力発生部１０３を構成するボ
ビン１０３ａ及びこのボビン１０３ａの内側に収納され
るコイル１０３ｂを設けている。

【００２９】前記板ばね１０１は、前記ミラー１００を
接着支持する支持面１０１ａと、前記フレーム１０２に
対する取り付けに使用される２つの保持面１０１ｂと、
この各保持面１０１ｂと前記支持面１０１ａを連結する
捩れ変形部である２つのトーションバー部１０１ｃとで
形成され、トーションバー１０１ｃが上下方向に捩じれ
ることにより前記ミラー１００を上下方向に回動するよ
うになっている。また、前記板ばね１０１は、フレーム
１０２に設けられているネジ穴１０２ａに、例えば樹脂
により形成されたばね押え１０４とともにネジによって
固定されるようになっている。

【００３０】前記コイル１０３ｂの内側には、このコイ
ル１０３ｂに電流が流れた場合に前記板ばね１０１を所
定量上下方向に回動させる力を生じさせるための磁界発
生を提供するマグネット１０３ｃが収納されるようにな
っている。このマグネット１０３ｃは露光装置本体の所
定の位置に固定するために使用される固定板１０５の中
央部に固定されるようになっている。そして、ミラー１
００を支持した板ばね１０１をフレーム１０２に取り付
け、このフレーム１０２を前記固定板１０５に一体的に
取り付けている。

【００３１】また、マグネット１０３ｃ及びコイル１０
３ｂを収納したボビン１０３ａをフレーム１０２の中空
内に収納し、このフレーム１０２とボビン１０３ａとの
間の間隙に、外乱振動等によりミラー１００が振動しな
いように、例えば、シリコーンゲルのようなダンピング
材を充填している。なお、フレーム１０２は、マグネッ
ト１０３ｃからの磁力線に対する磁気回路を構成するヨ
ークとして機能するようになっている。

【００３２】前記ガルバノミラー４６ａ，４６ｂにおい
ては、ＣＰＵ５１からガルバノミラー駆動回路５８に対
して、例えば、８ビットの指示値が供給され、これによ
りガルバノミラー駆動回路５８がガルバノミラー４６
ａ，４６ｂのコイル１０３ｂに対して所定極性の電流を
通電し、これによりコイル１０３ｂとマグネット１０３
ｃとの間に電磁力が生じ、これにより板ばね１０１の支
持面１０１ａが捩じれ変形しミラー１００が指示値に応
じた分だけ上下方向に回動する。そして、ミラー１００
の回動によってこのミラー面に反射するレーザビームの
上下方向、すなわち、副走査方向の位置が調整される。
そして、コイル１０３ｂに対する通電電流を保持するこ
とでミラー１００の角度が保持される。ミラー１００の
回動する角度はＣＰＵ５１からの指示値によって決ま
る。８ビットの指示値であれば、ミラー１００の角度を
２５６段階に制御することができる。

【００３３】前記ビーム位置検出センサ４８は、図６に
示すように、直角三角形状のセンサ４８Ａとセンサ４８
Ｂの長辺を対向配置した全体で四角形状となる受光面を
有している。そして、受光面に対してレーザビームが図
に示すように通過したときには、センサ４８Ａに対する
レーザビームの受光時間が長く、センサ４８Ｂに対する
レーザビームの受光時間が短く、両センサの出力は異な
る。この両センサ４８Ａ，４８Ｂの出力の違いからレー
ザビームが受光面のどの位置を通過したかを検出するこ
とができる。

【００３４】具体的には、前記ビーム位置検出回路５５
を図５に示すように構成し、センサ４８Ａの電流出力を
電流／電圧変換回路６１に入力して電圧信号に変換する
とともにセンサ４８Ｂの電流出力を電流／電圧変換回路
６２に入力して電圧信号に変換する。そして、前記各電
流／電圧変換回路６１，６２からの電圧信号を差動増幅
器６３に入力して両者の差を求め、これを積分回路６４
で積分し、さらに、ウインドコンパレータ６５によって
設定値と比較し、ドライバ６６を介して２値化し副走査
位置検出データとして前記ＣＰＵ５１に供給するように
している。なお、前記電流／電圧変換回路６１，６２、
差動増幅器６３、積分回路６４及びウインドコンパレー
タ６５は、ＡＳＩＣによって構成されるものである。

【００３５】ガルバノミラー４６ａ，４６ｂは、マルチ
ビーム露光装置２１に電源が投入されたときには、コイ
ル１０３ｂに対して通電が行われていないので板ばね１
０１は自重でバランスした位置に固定されている。従っ
て、この状態でポリゴンミラー４３ａを回転させ、半導
体レーザ素子４１ａ，４１ｂからレーザビームＬａ，Ｌ
ｂを放射させると、このレーザビームＬａ，Ｌｂはガル
バノミラー４６ａ，４６ｂのミラー１００に反射して感
光体ドラム２３の表面を走査するが、その副走査方向の
位置はずれている。このとき、レーザビームＬａ，Ｌｂ
がビーム位置検出センサ４８のセンサ４８Ａ，４８Ｂを
通過すれば、レーザビームＬａ，Ｌｂの位置を検出する
ことができる。

【００３６】しかし、レーザビームＬａ，Ｌｂがビーム
位置検出センサ４８のセンサ４８Ａ，４８Ｂを通過しな
ければレーザビームＬａ，Ｌｂの位置を検出することが
できないため、レーザビームＬａ，Ｌｂをセンサ４８
Ａ，４８Ｂを通過させるように調整する作業が面倒にな
り時間もかかる。また、レーザビームＬａ，Ｌｂがビー
ム位置検出センサ４８のセンサ４８Ａ，４８Ｂを通過し
た場合であっても位置が大きくずれているような場合に
はレーザビームＬａ，Ｌｂを所定の位置に位置決めする
調整作業も面倒になり時間もかかる。

【００３７】なお、レーザビームＬａ，Ｌｂをビーム位
置検出センサ４８のセンサ４８Ａ，４８Ｂ上を通過させ
て位置を検出する調整はレーザビーム１本ずつ行う。す
なわち、半導体レーザ素子４１ａ，４１ｂを同時に動作
させずに片方ずつ動作させてそれぞれのレーザビームの
位置を検出する。

【００３８】そこで、前回においてレーザビームＬａ，
Ｌｂの位置調整を行ったときのＣＰＵ５１からガルバノ
ミラー駆動回路５８に対して供給したそれぞれの指示値
をマルチビーム露光装置２１の電源がオフされるときに
ＣＰＵ５１は不揮発性メモリ５２に記憶させる。そし
て、マルチビーム露光装置２１の電源が再度オンされた
ときに、ＣＰＵ５１は不揮発性メモリ５２から指示値を
読み出し、その指示値に基づいてガルバノミラー駆動回
路５８を制御する。

【００３９】すなわち、ＣＰＵ５１は、図７に示すよう
に、マルチビーム露光装置２１の電源がオンされてビー
ム制御の開始を判断すると、Ｓ１にて、不揮発性メモリ
５２からガルバノ指示値を読み出し、その指示値に従っ
てガルバノミラー駆動回路５８を制御し、各ガルバノミ
ラー４６ａ，４６ｂのコイル１０３ｂにそれぞれ所定の
電流量の通電を行う（駆動制御手段）。

【００４０】続いて、Ｓ２にて半導体レーザ素子４１
ａ，４１ｂを駆動してビーム位置の制御を行う。その
後、マルチビーム露光装置２１の電源がオフされると、
Ｓ３にて、そのときのＣＰＵ５１からガルバノミラー駆
動回路５８に対して供給しているそれぞれの指示値を不
揮発性メモリ５２に記憶させて処理を終了する（記憶制
御手段）。

【００４１】このような構成においては、マルチビーム
露光装置２１への電源が投入されると、ＣＰＵ５１は前
回のガルバノ指示値を不揮発性メモリ５２から読み出
し、その指示値に基づいてガルバノミラー駆動回路５８
を制御する。この場合、各ガルバノミラー４６ａ，４６
ｂに対して個々に指示値があり、ガルバノミラー駆動回
路５８はそれぞれの指示値に従って各ガルバノミラー４
６ａ，４６ｂを駆動制御する。

【００４２】そして、ポリゴンミラー４３ａを回転さ
せ、先ず、半導体レーザ素子４１ａのみをオンさせてレ
ーザビームＬａを放射させ、このレーザビームＬａをガ
ルバノミラー４６ａに反射させて感光体ドラム２３上を
走査させ、そのときのレーザビームＬａの位置をビーム
位置検出センサ４８によって検出する。このとき、ガル
バノミラー４６ａのミラー１００の角度が前回のガルバ
ノ指示値に従って設定されているので、半導体レーザ素
子４１ａからのレーザビームＬａは確実にビーム位置検
出センサ４８の各センサ４８Ａ，４８Ｂ上を通過し、し
かも、設定すべき位置から大きくずれることはない。従
って、ガルバノミラー４６ａを微調整してレーザビーム
Ｌａを設定すべき位置に合わせる調整が時間をかけずに
迅速にできる。

【００４３】レーザビームＬａの調整が終了すると、今
度は、半導体レーザ素子４１ｂのみをオンさせてレーザ
ビームＬｂを放射させ、このレーザビームＬｂをガルバ
ノミラー４６ｂに反射させて感光体ドラム２３上を走査
させ、そのときのレーザビームＬｂの位置をビーム位置
検出センサ４８によって検出する。このとき、ガルバノ
ミラー４６ｂのミラー１００の角度が前回のガルバノ指
示値に従って設定されているので、半導体レーザ素子４
１ｂからのレーザビームＬｂは確実にビーム位置検出セ
ンサ４８の各センサ４８Ａ，４８Ｂ上を通過し、しか
も、設定すべき位置から大きくずれることはない。従っ
て、ガルバノミラー４６ｂを微調整してレーザビームＬ
ｂを設定すべき位置に合わせる調整が時間をかけずに迅
速にできる。レーザビームＬａとＬｂは画像形成時には
各半導体レーザ素子４１ａ，４１ｂから同時に放射され
て感光体ドラム２３の所定位置Ｘ上を同時に走査する
が、その副走査方向の間隔は６００ｄｐｉの場合、４
２．３μｍとなる。

【００４４】なお、この実施の形態においては、光ビー
ムとしてレーザビームを使用した場合を例として述べた
がこれに限定されないのは勿論である。また、この実施
の形態においては、光走査装置として、マルチビーム露
光装置を使用したものについて述べたがこれに限定され
ないのは勿論である。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、電
源を再投入したときの、ガルバノミラーのミラー面の角
度調整がスムーズにでき、光ビームの位置調整が迅速に
できる光走査装置のビーム位置調整方法及びビーム位置
調整装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るマルチビーム露光装
置を有するデジタル複写装置の構成を概略的に示す図。

【図２】同実施の形態に係るマルチビーム露光装置にお
けるレーザビームの光路を同一平面上に展開した状態を
示す平面図。

【図３】同実施の形態に係るマルチビーム露光装置にお
ける制御部の構成を示す一部ブロックを含む図。

【図４】同実施の形態におけるガルバノミラーの構成を
示す分解斜視図。

【図５】同実施の形態のビーム位置を検出する回路部の
構成を示すブロック図。

【図６】同実施の形態におけるビーム位置検出センサの
受光面の構成を示す図。

【図７】同実施の形態のＣＰＵによる要部処理を示す流
れ図。

【符号の説明】

２１…マルチビーム露光装置４１ａ，４１ｂ…半導体レーザ素子４３…偏向装置４６ａ，４６ｂ…ガルバノミラー４８…ビーム位置検出センサ５１…ＣＰＵ（中央処理装置）５２…不揮発性メモリ５５…ビーム位置検出回路５８…ガルバノミラー駆動回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０４Ｎ 1/036 Ｂ４１Ｊ 3/00 Ｄ 1/113 Ｈ０４Ｎ 1/04 １０４ＡＦターム(参考） 2C362 AA07 AA49 BA04 BA48 BA71 BA83 CB72 2H041 AA11 AB14 AC05 AZ02 2H045 BA22 BA33 CA82 CA88 CA95 DA00 DA02 5C051 AA02 CA07 DA02 DB02 DB22 DB24 DB30 DC01 DE09 DE26 FA01 5C072 AA03 BA05 HA02 HA09 HA13 HA14 HB08 XA01 XA05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動制御によってミラー面の角度を可変
できるガルバノミラーを使用するとともに走査される光
ビームの通過位置を検出するセンサを使用し、このセン
サを通過する光ビームの位置を前記ガルバノミラーのミ
ラー面の角度を可変して調整する光走査装置において、前記ガルバノミラーの電源オフ時にそのガルバノミラー
を駆動制御していた制御信号値を記憶し、前記ガルバノ
ミラーの電源オン時に記憶した制御信号値に基づいて前
記ガルバノミラーを駆動制御することを特徴とする光走
査装置のビーム位置調整方法。
【請求項２】駆動制御によってミラー面の角度を可変
できるガルバノミラーと、走査される光ビームの通過位
置を検出するセンサを使用し、このセンサを通過する光
ビームの位置を前記ガルバノミラーのミラー面の角度を
可変して調整する光走査装置において、記憶部と、前記ガルバノミラーの電源オフ時にそのガル
バノミラーを駆動制御していた制御信号値を前記記憶部
に記憶する記憶制御手段と、前記ガルバノミラーの電源
オン時に前記記憶部に記憶した制御信号値を読み出し、
この制御信号値に基づいて前記ガルバノミラーを駆動制
御する駆動制御手段とを備えたことを特徴とする光走査
装置のビーム位置調整装置。