JP2000147398A - 露光装置およびこの露光装置を含む画像形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】２以上の光ビームを一括して露光する露光装置
を用いた画像形成装置において、ミラーのドリフトの影
響を低減する。 【解決手段】この発明の露光装置は、複数のレーザビー
ムを単一の感光体ドラム２３の所定の位置に露光する際
に、それぞれのレーザビームの主走査方向および副走査
方向の間隔を設定するガルバノミラーのミラーの角度
を、ミラー駆動機構に適用されるダンピング剤の粘性の
変化や磁気回路が発生する磁力の大きさの変動により生
じるドリフトの影響を受けることなく、感光体ドラム２
３の所定の位置に、正確に案内できる。なお、ミラーの
角度は、ビーム位置センサ５１の複数の検出領域の所定
の位置に各レーザビームが案内された結果をモニタする
ことによりチェックされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば高速デジ
タル複写装置あるいは高速プリンタ装置等に適用可能
で、２以上の光ビームを一括して露光するマルチビーム
露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】静電写真プロセスが利用されている画像
形成装置は、シート状の原稿あるいは書籍等の読取対象
物を照明して得られる読取対象物からの反射光の明暗パ
ターンを画像情報として取り込み光電変換して画像信号
として出力する画像読取部と、画像読取部で得られた画
像信号に対応する画像を形成する画像形成部等を有して
いる。なお、画像形成部は、画像読取部から供給される
画像信号に加えて、外部から供給される画像信号に対応
する画像も形成可能である。

【０００３】この種の画像形成装置においては、画像形
成速度を高めるために、出力画像に要求される解像度に
対応する断面ビーム径に整えられた複数のレーザビーム
を、感光体に一括して照射（露光）して潜像を形成する
方法が提案されている。

【０００４】複数のレーザビームを感光体一括照射する
方法としては、単一のレーザビームを出射する露光装置
を複数用いる方法と、単一または複数の露光装置に、２
以上の半導体レーザ素子と、それぞれの半導体レーザ素
子からのレーザビームの断面ビーム径を所定の大きさに
整えるとともに、それぞれのレーザビームを一括照射す
るための所定の位置関係を与える光学部材等を配置した
マルチビーム露光装置を用いる方法とが提案されてい
る。なお、複数の露光装置を用いる方法は、露光装置が
複写装置（プリンタ装置）に占める大きさが大きくなり
やすく、コストも増大することから、今日、マルチビー
ム露光装置が広く利用されている。

【０００５】マルチビーム露光装置は、レーザビームを
放射する複数の半導体レーザ素子と、各半導体レーザ素
子から放射されたレーザビームの断面ビーム径を、要求
された解像度に対応する断面ビーム径に整え、それぞれ
のレーザビームの感光体の軸線方向および軸線方向と直
交する方向のそれぞれに関してレーザビーム相互の間隔
を所定の間隔に設定する光学部材と、それぞれのレーザ
ビームを軸線方向に沿って一括して偏向（走査）する偏
向装置と、偏向装置により偏向されたそれぞれのレーザ
ビームを感光体の軸線方向に関し、偏向装置によるレー
ザビームの偏向角と感光体に到達するレーザビームの軸
線方向の距離とが比例するように、結像させる結像レン
ズ等を有している。

【０００６】なお、複数のレーザビームのレーザビーム
相互の間隔を所定間隔に揃える方法としては、例えば特
開平１０−７６７０４号公報（特願平８−２３３１９８
号）等に示されるように、反射面（ミラー）が任意の方
向に回動可能に形成されたガルバノミラー（例えば電磁
コイルによりミラー面が微小移動可能なミラー装置）に
より、複数のレーザビームの間隔を設定する方法があ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平１０
−７６０７４号公報に開示されたガルバノミラーにおい
ては、例えばシリコーンゲルのようなダンピング剤によ
り、外乱振動等で不所望にミラーが振動されることが防
止されている。その一方で、ミラーを所定量傾ける目的
でミラーを支持する支持部材に対して電磁コイル等から
提供される駆動力と磁気回路から提供される磁力との相
互作用により得られるミラー駆動力は、上述したダンピ
ング剤の粘性がコイルの発熱等の影響による温度上昇に
起因して変動したり、温度上昇の影響により磁気回路の
磁力の大きさが変動することにより、コイルに印加する
電流の大きさとミラーの角度の変化分との間の関係に経
時変化（ドリフト）が生じ、ミラーの角度が変化するこ
と知られている。

【０００８】このことは、例えば連続した画像形成にお
いて、電源投入の直後に形成された画像と全ての画像形
成の終了時に形成された画像との間で、画像の大きさが
変化したり、特定の条件で形成された画像に対して不所
望な歪み等を生じさせる問題がある。また、１枚の用紙
に対する画像形成に要求される数秒間の間であっても、
用紙の先端部と後端部との間で、例えば用紙が搬送され
る方向と直交する方向に関して近接した線画の間隔の変
動を引き起こす問題がある。

【０００９】この発明の目的は、複数のレーザビームを
用いて画像を露光するマルチビーム露光装置において、
各レーザビームの主走査方向および副走査方向の間隔を
設定するミラー装置のミラーの傾きを正確に制御するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明は、上述した問
題点に基づきなされたもので、光を放射する第１および
第２の光源と、このそれぞれの光源からの光を第１の方
向および第１の方向と直交する第２の方向のそれぞれに
関して所定の間隔に位置させて１本の光と見なすことの
できる光ビームに合成する光路整合手段と、この光路整
合手段により合成された前記それぞれの光源からの光を
前記第１の方向に沿って偏向する偏向手段と、この偏向
手段により偏向された前記それぞれの光源からの光の少
なくとも一方の光を検出して前記光路整合手段の前記第
１および第２の方向のそれぞれの方向に関する変位を検
出する変位検出手段と、この変位検出手段により検出さ
れた前記光路整合手段の変位に基づいて、前記光路整合
手段の変位を、前記それぞれの光源からの光を１本の光
と見なすことのできる光ビームを提供可能に調整する光
路整合手段駆動手段と、を有することを特徴とする露光
装置を提供するものである。

【００１１】またこの発明は、第１の光を放射する第１
の光源と、第２の光を放射する第２の光源と、前記第１
の光源および第２の光源のそれぞれから放射された前記
第１および第２の光を一括して、潜像を保持する像担持
体の軸線方向に沿う第１の方向に偏向走査する偏向装置
と、前記偏向装置により偏向走査された前記第１および
第２の光の少なくとも一方を検出し、検出した光の位置
に対応する光検出信号を出力する光検出器と、前記それ
ぞれの光源から前記偏向装置に向かう前記第１および第
２の光を前記第１の方向および第１の方向と直交する第
２の方向のそれぞれについて所定間隔に位置させる第１
および第２のミラー装置と、前記第１および第２のミラ
ー装置のそれぞれのミラーの角度を、前記光検出器によ
り検出された前記光検出信号に基づいて所定の方向に変
化させるミラー駆動装置と、を有する露光装置と、この
露光装置により前記像担持体に形成された潜像に現像剤
を供給して可視像を出現させる現像装置と、を有する画
像形成装置を提供するものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態を詳細に説明する。

【００１３】図１は、この発明の実施の形態であるマル
チビーム露光装置を有する画像形成装置すなわちデジタ
ル複写機を概略的に示すものである。

【００１４】図１に示されるように、デジタル複写装置
１は、画像読取手段であるスキャナ部１０と画像形成手
段であるプリンタ部２０を有している。

【００１５】スキャナ部１０は、矢印の方向に移動可能
に形成された第１キャリッジ１１、第１キャリッジ１１
に従動して移動される第２キャリッジ１２、第２キャリ
ッジ１２からの光に所定の結像特性を与える光学レンズ
１３、光学レンズ１３により所定の結像特性が与えられ
た光を光電変換して電気信号を出力する光電変換素子１
４、原稿Ｏを保持する原稿台１５、原稿台１５に原稿Ｏ
を押しつける原稿固定カバー１６等を有している。

【００１６】第１キャリッジ１１には、原稿Ｏを照明す
る光源１７、光源１７が放射する光で照明されて原稿Ｏ
から反射された反射光を、第２キャリッジ１２に向けて
反射するミラー１１ａが設けられている。

【００１７】第２キャリッジ１２には、第１キャリッジ
１１のミラー１１ａから伝達された光を９０゜折り曲げ
るミラー１２ａ、ミラー１２ａで折り曲げられた光をさ
らに９０゜折り曲げるミラー１２ｂを有している。

【００１８】原稿台１５に載置された原稿Ｏは、光源１
７によって照明され、画像の有無に対応する光の明暗が
分布する反射光を反射する。この原稿Ｏの反射光は、原
稿Ｏの画像情報として、ミラー１１ａ，１２ａおよび１
２ｂを経由して、光学レンズ１３に入射される。

【００１９】光学レンズ１３に案内された原稿Ｏからの
反射光は、光学レンズ１３により、光電変換素子（ＣＣ
Ｄセンサ）１４の受光面に集光される。

【００２０】以下、図示しないキャリッジ駆動用モータ
の駆動により第１キャリッジ１１と第２キャリッジ１２
が相対速度２対１で原稿台１５に沿って移動されること
で、原稿Ｏの画像情報すなわち原稿Ｏからの反射光がミ
ラー１１ａが延出される方向に沿った所定の幅で切り出
されるとともにミラー１１ａが延出される方向と直交す
る方向に順次取り出され、原稿Ｏの全ての画像情報がＣ
ＣＤセンサ１４に案内される。

【００２１】以上のようにして、原稿台１５上に載置さ
れた原稿Ｏの画像は、ＣＣＤセンサ１４により、ミラー
１１ａが延出されている第１の方向に沿った１ラインご
とに図示しない画像処理部において画像の濃淡を示す例
えば８ビットのデジタル画像信号に変換される。

【００２２】プリンタ部２０は、図２ないし図３を用い
て後段に説明するマルチビーム露光装置２１および被画
像形成媒体である記録用紙Ｐに画像形成が可能な電子写
真方式の画像形成部２２を有している。

【００２３】画像形成部２２は、マルチビーム露光装置
２１から光ビームが照射されることで画像データすなわ
ち原稿Ｏの画像に対応する静電潜像が形成されるドラム
状の感光体（以下、感光体ドラムと示す）２３、感光体
ドラム２３の表面に所定極性の表面電位を与える帯電装
置２４、感光体ドラム２３にマルチビーム露光装置によ
り形成された静電潜像に可視化材としてのトナーを選択
的に供給して現像する現像装置２５、現像装置２５によ
り感光体ドラム２３の外周に形成されたトナー像に所定
の電界を与えて記録用紙Ｐに転写する転写装置２６、転
写装置でトナー像が転写された記録用紙Ｐおよび記録用
紙Ｐと感光体ドラム２３との間のトナーを、感光体ドラ
ム２３との静電吸着から解放して（感光体ドラム２３か
ら）分離する分離装置２７および感光体ドラム２３の外
周に残った転写残りトナーを除去し感光体ドラム２３の
電位分布を帯電装置２４により表面電位が供給される以
前の状態に戻すクリーニング装置２８等を有している。
なお、帯電装置２４、現像装置２５、転写装置２６、分
離装置２７およびクリーニング装置２８は、感光体ドラ
ム２３が回転される矢印方向に沿って、順に配列されて
いる。また、マルチビーム露光装置２１からの露光ビー
ム（光ビーム）は、帯電装置２４と現像装置２５と間の
感光体ドラム２３上の所定位置Ｘに照射される。

【００２４】スキャナ部１０で原稿Ｏから読み取られた
画像信号は、図示しない画像処理部において、例えば輪
郭補正あるいは中間調表示のための階調処理等の処理に
より印字信号に変換され、さらにマルチビーム露光装置
２１の以下に説明する半導体レーザ素子から放射される
レーザビームの光強度を、帯電装置２４により所定の表
面電位が与えられている感光体ドラム２３の外周に静電
潜像を記録可能な強度と静電潜像を記録しない強度との
いづれかに変化させるためのレーザ変調信号に変換され
る。

【００２５】マルチビーム露光装置２１の以下に示すそ
れぞれの半導本レーザ素子は、上述したレーザ変調信号
に従って強度変調され、所定の画像データに対応して感
光体ドラム２３の所定位置に静電潜像を記録するよう、
発光する。この半導本レーザ素子からの光は、マルチビ
ーム露光装置２１内の以下に説明する偏向装置によりス
キャナ部１０の読み取りラインと同一の方向である第１
の方向に偏向されて、感光体ドラム２３の外周上の所定
位置Ｘに、照射される。

【００２６】以下、感光体ドラム２３が所定速度で矢印
方向に回転されることで、スキャナ部１０の第１キャリ
ッジ１１および第２キャリッジ１２が原稿台７に沿って
移動されると同様に、偏向装置により順次偏向される半
導体レーザ素子からのレーザビームが１ライン毎に、感
光体ドラム２３上の外周に所定間隔で露光される。

【００２７】このようにして、感光体ドラム２３の外周
上に、画像信号に応じた静電潜像が形成される。

【００２８】感光体ドラム２３の外周に形成ざれた静電
潜像は、現像装置２５からのトナーにより現像され、感
光体ドラム２３の回転により転写装置２６と対向する位
置に搬送され、用紙カセット２９から、給紙ローラ３０
および分離ローラ３１により１枚取り出され、アライニ
ングローラ３２でタイミングが整合されて供給される記
録用紙Ｐ上に、転写装置２６からの電界によって転写さ
れる。

【００２９】トナー像が転写された記録用紙Ｐは、分離
装置２７によりトナーとともに分離され、搬送装置３３
により定着装置３４に案内される。

【００３０】定着装置３４に案内された記録用紙Ｐは、
定着装置３４からの熱と圧力によりトナー（トナー像）
が定着されたのち、排紙ローラ３５によりトレイ３６に
排出される。

【００３１】一方、転写装置２６によりトナー像（トナ
ー）を記録用紙Ｐに転写させた後の感光体ドラム２３
は、引き続く回転の結果、クリーニング装置２８と対向
され、外周に残っている転写残りトナー（残留トナー）
が除去されて、さらに帯電装置２４により表面電位が供
給される以前の状態に初期状態に戻され、次の画像形成
が可能となる。

【００３２】以上のプロセスが繰り返されることで、連
続した画像形成動作が可能となる。

【００３３】このように、原稿台１５にセットされた原
稿Ｏは、スキャナ部１０で画像情報が読み取られ、読み
取られた画像情報がプリンタ部２０でトナー像に変換さ
れて記録用紙Ｐに出力されることで、複写される。

【００３４】図２は、図１に示したデジタル複写装置に
利用されるマルチビーム露光装置を、ハウジング（本体
フレーム）を取り除き、装置の大きさを低減するための
ミラーおよび感光体ドラム２３に向けて光ビームを出射
するためのミラーを省略して、光ビームの光路を同一平
面に展開した状態を示す概略平面図である。

【００３５】図２に示されるように、マルチビーム露光
装置２１は、第１ないし第４の４つの光源４１ａ，４１
ｂ，４１ｃおよび４１ｄを有している。

【００３６】第１ないし第４の光源４１ａ，４１ｂ，４
１ｃおよび４１ｄは、それぞれ所定の波長のレーザビー
ムＬａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄを放射する半導体レーザ
素子である。それぞれの半導体レーザ素子４１ａ，４１
ｂ，４１ｃおよび４１ｄから放射されたレーザビームＬ
ａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄは、偏向前光学系４２（４２
ａ，４２ｂ，４２ｃおよび４２ｄ）を通過され、偏向装
置４３に案内される。なお、偏向前光学系４２は、レー
ザビームＬａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄのそれぞれに個別
に設けられる部分と、４本のレーザビームＬａ，Ｌｂ，
ＬｃおよびＬｄのいづれかまたは全てに共通して設けら
れる部分があるため、個別に設けられる部分について
は、添え字ａ，ｂ，ｃおよびｄを付加して、またレーザ
ビームＬａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄのいづれかまたは全
てに共通して設けられる部分については、添え字ｐ，
ｑ，ｒおよびｓを付加して、説明する。

【００３７】偏向前光学系４２（４２ａ，４２ｂ，４２
ｃ，４２ｄ）は、レーザ素子４１ａ，４１ｂ，４１ｃお
よび４１ｄから放射されたレーザビームＬａ，Ｌｂ，Ｌ
ｃおよびＬｄの断面ビームスポット形状を所定の形状に
整えるもので、それぞれ、レーザ素子４１ａ，４１ｂ，
４１ｃおよび４１ｄから放射された発散性のレーザビー
ムＬａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄに所定の収束性を与える
有限焦点レンズ４４ａ，４４ｂ，４４ｃおよび４４ｄ、
有限焦点レンズ４４ａ，４４ｂ，４４ｃおよび４４ｄを
通過されて所定の収束性が与えられたレーザビームＬ
ａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄの断面ビーム形状を所定の形
状に整える絞り４５ａ，４５ｂ，４５ｃおよび４５ｄ、
絞り４５ａ，４５ｂ，４５ｃおよび４５ｄにより断面ビ
ーム形状が所定の形状に整えられたレーザビームＬａ，
Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄを偏向装置４２に向けて折り曲げ
るとともに感光体ドラム２３上で他のレーザビームＬ
ａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄとの副走査方向間隔が所定の
間隔となるよう偏向装置４２に向かうレーザビームＬ
ａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄの第１の方向の位置を変化し
て反射する光路変更機構としてのガルバノミラー４６
ａ，４６ｂ，４６ｃおよび４６ｄを有している。なお、
有限焦点レンズ４４ａ，４４ｂ，４４ｃおよび４４ｄに
は、例えば非球面ガラスレンズまたは球面ガラスレンズ
に図示しないＵＶ（紫外線）硬化プラスチック非球面レ
ンズを貼り合わせた単レンズが利用される。また、ガル
バノミラー４６ａ，４６ｂ，４６ｃおよび４６ｄは、そ
れぞれ、レーザビームを反射する方向を任意の方向に微
少量変更可能な光路変更装置、例えばミラー面回動機構
付きミラーである。このガルバノミラー４６ａ，４６
ｂ，４６ｃおよび４６ｄは、図３を用いて以下に説明す
るガルバノミラー駆動回路すなわちＤ／Ａコンバータ７
２により、独立にミラーの角度が任意の方向に変化され
る。

【００３８】また、偏向前光学系４２の偏向装置４３よ
りの光路上には、ガルバノミラー４６ａにより反射され
た第１のレーザ素子４１ａからのレーザビームＬａとガ
ルバノミラー４６ｂにより反射された第２のレーザ素子
４１ｂからのレーザビームＬｂを、平面方向からみた状
態では１本で副走査方向には所定の間隔を有する合成レ
ーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ）にまとめる第１のハーフミラ
ー４２ｐ、この第１のハーフミラー４２ｐによりまとめ
られたレーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ）にガルバノミラー４
６ｃにより反射された第３のレーザ素子４１ｃからのレ
ーザビームＬｃを、平面方向からみた状態では１本で副
走査方向には所定の間隔を有するレーザビーム（Ｌａ＋
Ｌｂ＋Ｌｃ）となるようさらに合成する第２のハーフミ
ラー４２ｑ、この第２のハーフミラー４２ｑによりまと
められたレーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ）にガルバノ
ミラー４６ｄにより反射された第４のレーザ素子４１ｄ
からのレーザビームＬｄを、平面方向からみた状態では
１本で副走査方向には所定の間隔を有するレーザビーム
（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋Ｌｄ）となるようにまとめる第３
のハーフミラー４２ｒ、および第３のハーフミラー４２
ｒにより合成されたレーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋
Ｌｄ）に、副走査方向に関してさらに収束性を与えるシ
リンダレンズ４２ｓが、順に設けられている。

【００３９】第１のハーフミラー４２ｐ、第２のハーフ
ミラー４２ｑ、第３のハーフミラー４２ｒのそれぞれに
より副走査方向に関してのみ所定の間隔が与えられ、シ
リンダレンズレンズ４２ｓを通過したレーザビームＬ＝
（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋Ｌｄ）は、偏向装置４３の多面鏡
４３ａにより同時に偏向（走査）され、感光体ドラム２
３の所定の位置に結像される。

【００４０】偏向装置４３は、例えば８面の平面反射鏡
（反射面）が正多角形に配置された多面鏡４３ａと、多
面鏡４３ａを主走査方向（第２の方向）に、所定速度で
回転させる図示しないモータとを有している。

【００４１】偏向装置４３と像面すなわち感光体ドラム
２３の外周の露光位置Ｘに対応する位置であって設計上
の焦平面との間には、偏向装置４３の他面鏡４３ａの各
反射面により所定の方向に偏向（走査）されたレーザビ
ームＬ＝（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋Ｌｄ）に、所定の光学特
性を与える第１および第２の結像レンズ５０ａおよび５
０ｂからなる２枚組みレンズ系を含む偏向後光学系５
０、偏向後光学系５０の第２の結像レンズ５０ｂを出射
されたレーザビームＬ＝（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋Ｌｄ）の
それぞれのレーザビームＬａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄ
が、画像が書き込まれる領域より前の所定の位置に到達
したこと（通過タイミング）およびその位置を検出する
ためのビーム位置検出センサ５１、および偏向後光学系
５０とビーム位置検出センサ５１との間に配置され、偏
向後光学系５０を通過された４本のレーザビームＬａ，
Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄすなわちＬ＝（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ
＋Ｌｄ）の一部をビーム位置検出センサ５１に向かっ
て、主走査方向および副走査方向のそれぞれに関して異
なる方向へ反射させる折り返しミラー５２、およびマル
チビーム露光装置２１とプリンタ部２０を気密する防塵
ガラス５３等が配列されている。なお、ビーム位置検出
センサ５１は、詳述しない受光面が感光体ドラム２３の
外周の位置と光学的に同等距離となる等価像面であっ
て、感光体ドラム２３の端部近傍に対応する位置に配置
されている。また、ビーム位置検出センサ５１は、図１
３を用いて後段に詳述するように、主として「粗調」に
利用される第１および第２の検出エリア５１−ａ，５１
−ｂと主として「微調」に利用される第３の検出エリア
５１−ｃを有している。

【００４２】次に、図２に示した露光装置の制御につい
て説明する。

【００４３】図３は、図２に示した露光装置２１の制御
系の一例を説明する概略ブロック図である。

【００４４】図３に示されるように、半導体レーザ素子
４１ａないし４１ｄは、それぞれ、レーザ駆動回路７１
ないし７１ｄにより、以下に説明する所定のタイミング
で画像データに対応して光強度が変化された画像露光ビ
ーム（レーザビーム）Ｌａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄを、
放射する。なお、それぞれの半導体レーザ素子４１ａな
いし４１ｄは、偏向装置（ポリゴンミラー）４３の多面
鏡４３ａの回転が所定の回転数に達するまでの間はレー
ザビームを放射しないが、偏向装置（ポリゴンミラー）
４３の図示しないミラーモータから回転数の安定を示
す、例えばＰＬＬ（Ｐｈｅｓｅ Ｌｏｏｐ Ｌｏｃｋ）
信号が出力されると、ＣＰＵ６０の制御によりレーザ駆
動回路７１ａないし７１ｄのそれぞれに所定の制御コマ
ンドが出力されて付勢され、レーザ駆動電流が所定の大
きさに達した時点で、レーザビームＬａ，Ｌｂ，Ｌｃお
よびＬｄを放射する。このレーザビームＬａ，Ｌｂ，Ｌ
ｃおよびＬｄは、感光体ドラム２３に所定の表面電位Ｓ
Ｐが印加され、現像装置２５の現像ローラに所定の現像
バイアス電圧が印加されている場合、ポリゴンミラー４
３の各多面鏡４３ａの回転角が感光体ドラム２３の所定
位置に各レーザビームＬａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄを偏
向（走査）可能である場合には、感光体ドラム２３に静
電潜像を書き込むことのできる光強度を有している。

【００４５】ガルバノミラー４６（ａ，ｂ，ｃおよび
ｄ）は、詳細には、図４および図５を用いて以下に説明
するように、ミラー１６０の角度を変位可能に保持する
板ばね１６１および板ばね１６１（ミラー１６０）を任
意の方向に移動可能に支持するフレーム１６２を有す
る。

【００４６】板ばね１６１には、ミラー１６０すなわち
板ばね１６１を変位させるための力を発生する推力発生
部１６３を構成するボビン１６３ａおよびボビン１６３
ａの内側に格納されたコイル１６３ｂが設けられてい
る。また、コイル１６３ｂの内側には、フレーム１６２
を露光装置２１の図示しないハウジングの所定の位置に
固定するための固定板１６４に一体的に設けられ、コイ
ル１６３ｂに電流が供給された場合に、ボビン１６３ａ
すなわち板ばね１６１を所定量に移動させるための力を
生じさせるための磁界を提供するマグネット１６３ｃが
コイル１６３ｂに対して所定の間隔を維持して配列され
ている。なお、フレーム１６２は、マグネット１６３ｃ
からの磁力線に対する磁気回路を構成するヨークとして
も機能する。

【００４７】板ばね１６１は、ミラー１６０を支持する
支持面１６１ａとフレーム１６２との接続に利用される
保持面１６１ｂと支持面１６１ａおよび保持面１６１ｂ
のそれぞれを連結する２つのねじれ変形部（捩れ部）す
なわちトーションバー１６１ｃ，１６１ｃを有し、捩れ
部（２カ所）１６１ｃ，１６１ｃが所定の方向に捩れる
ことにより、矢印Ｒ方向に回転可能である。なお、板バ
ネ１６１には、バネ材としてよく知られている、例えば
ベリリウム銅あるいはばね用ステンレス鋼ＳＵＳ３０４
等が用いられる。なお、板バネ１６１は、フレーム１６
２に設けられているネジ穴１６２ａ，１６２ａに、例え
ば樹脂により形成されたばね押さえ１６５，１６５とと
もに図示しないねじ等により固定される。

【００４８】また、フレーム１６２とボビン１６３ａと
の間の間隙には、外乱振動等によりミラー１６０が振動
しないように、例えばシリコーンゲルのようなダンピン
グ剤１７０が充填されている。

【００４９】上述したガルバノミラー４６（ａ，ｂ，ｃ
およびｄ）において、コイル１６３ｂに、ＣＰＵ６０の
制御による指示値（１４ビット）に応じてＤ／Ａコンバ
ータ（ガルバノミラー駆動回路）７２に図示しないし所
定の極性の電流が供給される（指示値に対応する電圧が
コイル１６３ｂに印加される）ことによりマグネット１
６３ｃとの間に電磁力が生じ、ミラー１６０が矢印Ｒ方
向に回転される。このとき、電流の向きすなわち電流の
極性が変化されることにより回転方向が任意の方向に切
り替えられる。また、回転角（変位の大きさ）は、電流
の大きさに比例して任意に変化される。なお、通電電流
を保持することにより、ミラー１６０が位置される角度
を維持することができる。

【００５０】このような各ガルバノミラー４６（ａ，
ｂ，ｃおよびｄ）のミラー１６０は、画像形成時および
電源が入れられた直後のイニシャル時には、ビーム位置
検出センサ５１からの検出信号に基づいて、各レーザ素
子４１ａ，４１ｂ，４１ｃおよび４１ｄのそれぞれから
のレーザビームＬａ，Ｌｂ，ＬｃおよびＬｄが、ビーム
位置検出センサ５１に入射した位置を基準として副走査
方向の位置のずれが補正される。

【００５１】ところで、ガルバノミラー４６（ａ，ｂ，
ｃおよびｄ）においては、コイル１６３ｂに任意の極性
の電流が継続して流されると、既に説明したように、コ
イル１６３ｂの発熱等の影響による温度上昇に起因して
ダンピング剤１７０の粘性が変動したり、同温度上昇の
影響により磁気回路から提供される磁力の大きさが変動
することにより、コイル１６３ｂに印加される電流の大
きさとミラー１６０の角度の変化分との間の関係が変化
することが知られている。なお、ミラー１６０の角度の
変化は、一般に、ドリフトと呼ばれている。

【００５２】詳細には、ドリフトの大きさは、図６に示
すようにコイル１６３ｂに流される電流の大きさに対し
て単純に増加し、その方向は電流の極性に一致する。ま
た、ドリフトの絶対値は、ミラー１６０の重量、板ばね
１６１の厚さと捩れ部１６１ｂの幅、コイル１６３ｂに
流される電流値およびマグネット１６３ｃからの磁力線
の密度などにより、一定の関係に定義される。なお、ミ
ラー１６０のドリフトの大きさは、露光装置２１を構成
するレンズや光学要素の配置により異なる大きさ（範
囲）を示すが、コイル１６３ｂに連続して電流が供給さ
れる時間に起因して変化し、図２に示した構成では、コ
イル１６３ｂに連続して電流が流される時間が５０ｍｓ
ｅｃ（ミリ秒）である場合に、概ね１μｍ程度である
（時間当たりの増加の程度は変化するが、飽和に達する
までは、１日単位の時間を要する）。

【００５３】より詳細には、ガルバノミラー４６（ａ，
ｂ，ｃおよびｄ）のミラー１６０のドリフトの影響は、
図７に示すように、コイル１６３ｂの抵抗値を７８Ω、
感度を０．１９６ｍｒａｄ／ｍＡ（ミリラジアン／ミリ
アンペア）とすると、コイル１６３ｂに供給可能な最大
の電流値が±１３３．３ｍＡでミラー１６０の振り角の
最大値が±２６．１３ｍｒａｄである場合に、像面（感
光体ドラム２３の外周面）上では、コイル１６３ｂに印
加される駆動電圧１ステップ（１４ビット）当たり、
０．７６３μｍである。

【００５４】ところで、ビーム位置検出センサ５１（図
１３参照）が、幅３２．２μｍで５１−ｑ，５１−ｒ，
５１−ｓ，５１−ｔおよび５１−ｕで示される５個の帯
状の検出エリアとギャップ５１−ｄが１０μｍ程度に形
成された２つの矩形の検出領域５１−ａ，５１−ｂを含
み、図３に示したビーム位置検出回路７４によりビーム
の位置が許容範囲内であるか否かを検出するために要求
される時間が概ね１０ｍｓｅｃである場合に、ノイズ等
による誤動作を防止するためにビーム位置の検出動作を
５回繰り返す場合と、図８に示すように、センサ５１の
各検出エリア５１−ａと５１−ｂとの間隔（ギャップ）
が例えば少なくとも６μｍ程度であって、ミラー１６０
により反射され、ポリゴンミラー４３の多面鏡４３ａに
より像面（感光体ドラム２３）に向けられたレーザビー
ムが、検出エリア５１−ａと５１−ｂとの間の中心か
ら、検出エリア５１−ｂの側に２．５μｍの位置すなわ
ち検出エリア５１−ｂから０．５μｍの位置に案内され
（追い込まれ）ている場合に、コイル１６３ｂに供給さ
れる電流の向きが、レーザビームを、検出エリア５１−
ｂの側に向かわせる方向である場合に、５回目の検出動
作時（５０ｍｓｅｃ経過時）には、レーザビームは、検
出エリア５１−ｂの側に１μｍ移動される。この場合、
レーザビームが検出エリア５１−ａの方向に向かうよう
にミラー１６０の傾きを補正するため、コイル１６３ｂ
に、最小補正量（最小移動距離＝０．７６μｍ）の補正
電圧が印加される。しかしながら、引き続く検出動作に
おいて、再び５０ｍｓｅｃを要すると、レーザビーム
は、再び検出エリア５１−ｂ側に移動されることから、
位置検出動作が複数回繰り返されてミラー１６０の角度
の制御に長い時間が要求されたり、同制御動作の繰り返
しが継続されてミラー１６０の位置が定義不能に陥る恐
れがある。

【００５５】なお、ドリフト量（１μｍ／５０ｍｓｅ
ｃ）は、ガルバノミラー４６（ａ，ｂ，ｃおよびｄ）の
動作環境すなわち温度変化や電源電圧の変化に起因して
０．５ないし１．５倍程度変動することからレーザビー
ムの最小移動量も変動することになる。このとき、ガル
バノミラー４６（ａ，ｂ，ｃおよびｄ）の感度も独立に
変動することから、上述したレーザビームの最小移動量
はの大きさは、さまざまな数値を取る。

【００５６】図９は、図８を用いて説明したガルバノミ
ラー４６（ａ，ｂ，ｃおよびｄ）のミラー１６０の位置
（角度）が安定しない場合の例を示すもので、縦軸に、
検出エリア５１−ａと５１−ｂとの間の領域で出力され
るセンサ電流を示している。なお、図１０は、図９に示
したセンサ出力電流を出力したレーザビームの位置を示
す概略図である。

【００５７】図９および図１０に示されるように、レー
ザビームを追い込む範囲、すなわちガルバノミラー４６
（ａ，ｂ，ｃおよびｄ）のミラー１６０の角度を変化さ
せてレーザビームが案内される位置を±３μｍとして、
１０ｍｓｅｃ毎にセンサ出力をモニタした結果、制御開
始時に、例えばレーザビームの位置が検出エリア５１−
ａ端部のＡの位置にあったとすれば、１０ｍｓｅｃ経過
（０．７６μｍ×２０＝１５．２μｍ移動）したことに
よりレーザビームの位置が検出エリア５１−ａの中央部
のＢに移動したことが認められる。

【００５８】次の１０ｍｓｅｃにおいて、追い込み制御
（ミラー１６０の角度変更）の結果、レーザビームの位
置が検出エリア５１−ｂの側のＣに移動したことがわか
る。

【００５９】この時点で、ミラー１６０の角度を逆方向
に制御し、レーザビームの到達位置を検出エリア５１−
ａの側へ移動させる（予測制御）。このとき、レーザビ
ームの位置が±３μｍの「−」側の境界付近のＤに達し
た場合には、しかしながら、例えばドリフト量が増大さ
れる等により、レーザビームの位置が検出エリア５１−
ｂの側のＥへ僅かに移動することにより、追い込み範囲
から外れる問題がある。この場合、引き続いてミラー１
６０の角度をもう一度逆方向に制御することになるが、
予測制御により戻された結果レーザビームが到達した位
置がＤの近傍のＦである場合には、再びわずかなレーザ
ビームの位置の変位（ドリフトの発生）によって、Ｇ→
Ｈ→Ｉで示されるようなループが繰り返される恐れがあ
る（定義不能となる）。

【００６０】図１１は、追い込み結果（ミラー１６０の
角度制御）とドリフトの関係を説明する概略図である。
なお、図１１において、追い込み方向「＋（下）」は、
図８および図１０に示した検出エリアを含むビーム位置
検出センサ５１において、レーザビームが図面の上方に
位置する検出エリア５１−ａ側から図面の下方に位置す
る検出エリア５１−ｂ側に移動して追い込み範囲内に位
置した場合を示す。従って、追い込み方向「−（上）」
は、逆向きを示す。また、Ｄ／Ａコンバータ７２への指
示値は、２０００（１４ｂｉｔ）で±０Ｖ、１ＦＦＦ
（１４ｂｉｔ）以下は、負の電圧、２００１（１４ｂｉ
ｔ）以上は、正の電圧とする。

【００６１】すなわち、既に説明したように、ガルバノ
ミラー４６（ａ，ｂ，ｃおよびｄ）の推力発生部１６３
のコイル１６３ｂ（ミラー１６０の駆動部）に印加され
る電圧（コイル電流）の極性とドリフトの方向は一致し
ているので、コイル１６３ｂに印加される電圧の極性が
「＋（Ｄ／Ａコンバータ７２指示値２００１（１４ｂｉ
ｔ）以上）」である場合、ドリフトの向きは、図１０に
示した検出エリア５１−ｂから５１−ａに向かう方向
に、同様に極性が「−（Ｄ／Ａコンバータ７２指示値１
ＦＦＦ（１４ｂｉｔ）以下）」である場合、ドリフトの
向きは、図１０に示した検出エリア５１−ａから５１−
ｂに向かう方向に、それぞれ定義される。

【００６２】また、図１１において、追い込み結果「上
パターン」は、図１０に示した検出エリア５１−ａと中
央との間の１．５ないし３μｍの間の領域にレーザビー
ムが位置されたことを、同「下パターン」は、図１０に
示した中央と検出エリア５１−ｂとの間の１．５ないし
３μｍの間の領域にレーザビームが位置されたことを、
ドリフト制御「＋追い込み」は、Ｄ／Ａコンバータ７２
への指示値（コイル電流）を「＋」（ミラー１６０によ
るレーザビームの反射位置を検出エリア５１−ａの側か
ら５１−ｂの側）にして最小移動させることを、および
ドリフト制御「−追い込み」は、Ｄ／Ａコンバータ７２
への指示値（コイル電流）を「−」（ミラー１６０によ
るレーザビームの反射位置を検出エリア５１−ｂの側か
ら５１−ａの側）にして最小移動させることを、それぞ
れ示している。なお、制御パターンとしては、ないし
に示した８通りであり、追い込みの結果、レーザビー
ムの位置が中心に対して±１．５μｍに位置した場合に
は、追加の制御（追い込み）を抑止するものとする。

【００６３】ここで、図１０に示したレーザビームの位
置の変位に図１１に示した制御とを対比させると、例え
ば、Ｄ／Ａコンバータ７２への指示値が２４１４（１４
ｂｉｔ）で追い込み方向が「−（上）」（−追い込み）
である場合、図１０に示したレーザビーム位置Ｄは、１
０ｍｓｅｃ後にＥの位置にドリフトする。ここで、Ｅの
位置にドリフトしたレーザビームを追い込むためにＤ／
Ａコンバータ７２への指示値を２４１３（１４ｂｉｔ）
に変更してＦの位置に追い込むが、３０ｍｓｅｃ後に
は、Ｇの位置に再びドリフトしてしまう。以下、同様
に、Ｄ／Ａコンバータ７２への指示値を２４１２（１４
ｂｉｔ）すなわち「−追い込み」に変更してＨの位置に
追い込むが、２０ｍｓｅｃ後には、Ｉの位置に再びドリ
フトしてしまう。すなわち、先に説明したように、レー
ザビームの位置を定義できなくなる問題が残ってしま
う。

【００６４】ところで、上述した例とは別に、レーザビ
ームの位置が定義可能な（追い込みが収束する）場合で
あっても、例えばレーザビームが複数である場合には、
それぞれのレーザビームの発光開始時の位置やガルバノ
ミラー４６のミラー１６０の単位移動量（感度）の個体
差等に起因して、全てのレーザビームの位置を所定の範
囲内に追い込むために必要となる時間がまちまちとな
る。このため、例えば４本のレーザビームＬＡ，ＬＢ，
ＬＣおよびＬＤのそれぞれに対し、レーザビームの位置
の検出（センサ出力取り込み）からガルバノミラー４６
のミラー１６０の角度の変更を１ステップとして、ＬＡ
→ＬＢ→ＬＣ→ＬＤ→ＬＡ→ＬＢ・・・のようにタイム
シェア方式により各レーザビームに対応するミラー１６
０の角度を順に設定する場合、全てのミラーの角度の設
定が終了した時点で、上述した温度変化等によるドリフ
トに起因して、先に終了したミラーの角度が変化する問
題がある。なお、タイムシェア方式によらずに個々のレ
ーザビームに関して、ミラー角度を設定し、順次Ｄ／Ａ
コンバータ７２への設定値を固定する方法も利用可能で
あるが、この場合には、ドリフトの影響は、より顕著に
なる。

【００６５】図１２は、ガルバノミラーのミラー駆動機
構のコイルに供給される電流通電時間とドリフトの大き
さの関係を説明するグラフである。

【００６６】Ｄ／Ａコンバータ７２への設定値を３ＦＦ
Ｆ（１４ｂｉｔ、図７参照）としてコイル１６３ｂに５
Ｖを印加し、５０ｍｓｅｃ毎にドリフト量の大きさを見
ると、通電開始から５０ｍｓｅｃの間で約３８μｍ、次
の５０ｍｓｅｃで約１８μｍ、その次の５０ｍｓｅｃで
約４μｍ、それぞれドリフト量が増加することが認めら
れる。このことは、例えば（朝に）冷えた状態の画像形
成装置に電源を入れた直後と画像形成動作が継続されて
装置が温まった状態で電源をオフした直後に再び電源を
入れて画像を形成した場合とにおいて、ドリフトの影響
により、レーザビームの位置の設定に必要となる時間が
異なることを示している。この場合、装置の電源を入れ
てから同一の時間経過後に画像を形成した場合であって
も、像面（感光体ドラム）に案内されるレーザビームの
間隔が変動する（不均一になる）ことを、示している。
なお、装置への通電、およびレーザビームの位置の制御
を常時継続することによりドリフトの変化の大きさを低
減できるが、この方法では、非画像形成時の消費電力が
増大されることになる。

【００６７】図１３は、ビーム位置センサの検出面の検
出エリアの形状の一例を示す概略図である。

【００６８】図１３に示されるように、ビーム位置セン
サ５１は、第１の検出エリア５１−ａと第２の検出エリ
ア５１−ｂ（粗調用）と、第１および第２の検出エリア
間に帯状に複数個設けられた第３の検出エリア５１−ｃ
（微調用）の３つの領域からなる。それぞれの粗調用の
検出エリア５１−ａ，５１−ｂは、レーザビームがセン
サ５１に到達したことを検出するレーザビーム検出領域
５１−０と、図１１に示した「＋追い込み」および「−
追い込み」に利用される追い込み領域５１−１とを含
み、レーザビームが追い込み領域に案内されている場合
に、レーザビームの位置に応じて異なる大きさの電流を
出力する。なお、第１および第２の検出エリア５１−ａ
と５１−ｂのそれぞれの追い込み領域５１−１の両端部
の相互間の大きさは、例えば５００μｍに定義され、両
検出エリア間のギャップである無感領域５１−ｄの間隔
は、１０μｍである。また、微調用である第３の検出エ
リア５１−ｃは、それぞれの検出領域の幅が３２．２μ
ｍに定義された帯状の検出領域５１−ｑ，５１−ｒ，５
１−ｓ，５１−ｔおよび５１−ｕが、それぞれ、１０μ
ｍ間隔で配列されたもので、検出領域５１−ｓの幅方向
の中央部と第１および第２の検出領域５１−ａ，５１−
ｂ相互間のギャップ５１−ｄの中央とが一致された配列
が与えられている。

【００６９】次に、図１３に示したビーム位置センサを
用いて、レーザビームが案内される位置を調整するステ
ップを詳細に説明する。なお、以下、レーザビームを、
第１および第２の検出エリア間の所定の幅の区間内に追
い込むことを「粗調」、その後、各レーザビーム相互の
間隔が均一になるまでさらに追い込むことを「微調」と
区分して説明する。

【００７０】図１４に示されるように、最初に「粗調」
が開始され、第１にレーザ素子４１（ａ，ｂ，ｃおよび
ｄ）のそれぞれの出力が３００ｍＷに設定される（Ｓ
１）。

【００７１】ここで、ミラー駆動機構１６３のコイル１
６３ｂには、Ｄ／Ａコンバータ７２への指示値として、
例えば１ＦＦＦ（１４ｂｉｔ）すなわち無通電状態ある
いは直前の動作に利用された指示値がＣＰＵ６０から指
示され、ミラー１６０の角度が設定される（Ｓ２）。

【００７２】続いて、ビーム位置検出センサ５１の出力
がモニタされ（Ｓ３）、センサ５１の出力に基づいて検
知されるミラー１６０の角度が所定の範囲内であるとみ
なすことができる場合（Ｓ３−Ｎ）、（ＣＰＵ６０か
ら）Ｄ／Ａコンバータ７２への指示値が３４００（１４
ｂｉｔ）以上もしくは１５３６（１４ｂｉｔ）以下の条
件により制限される指示値の範囲内（Ｓ４，Ｓ５）であ
ることを条件に引き続いて「微調」が開始される。な
お、Ｄ／Ａコンバータ７２への指示値が３４００（１４
ｂｉｔ）以上もしくは１５３６（１４ｂｉｔ）以下の条
件により制限される指示値の範囲内を満たさないこと
は、レーザビームは、図１５に示される曲線から、第１
および第２の検出エリア５１−ａ，５１−ｂの間の無感
部分５１−ｄを挟む１００μｍの領域に位置されている
ことを示している。

【００７３】ステップＳ３において、センサ５１の出力
が所定の範囲を越える場合（Ｓ３−Ｙ）、ガルバノミラ
ー４６のミラー１６０の角度が、駆動コイル１６３ｂに
供給されている電流値すなわちＤ／Ａコンバータ７２へ
の指示値としてコイル１６３ｂに印加されている電圧の
大きさとしてモニタされ、ミラー１６０の角度を補正す
べき方向が特定される。すなわち、ＣＰＵ６０の制御に
よりＤ／Ａコンバータ７２からミラー駆動回路１６３の
コイル１６３ｂに供給されている電圧の指示値の大きさ
が２０００（１４ビット）より大きいか否かが判断され
る（Ｓ１１）。

【００７４】指示値が２０００（１４ビット）より小さ
い場合（Ｓ１１−Ｙ）、同指示値として１９０（１４ビ
ット）がＣＰＵ６０から指示され（Ｓ１２）、ステップ
Ｓ３において説明したと同様にしてミラー１６０の角度
が変更されたことに対応するセンサ５１の出力が参照さ
れて、ミラー１６０の角度が所定の範囲内に入ったか否
かがチェックされる（Ｓ１３）。ステップＳ１３におい
て、センサ５１の出力が所定の範囲に収まらなかった場
合（Ｓ１３−Ｙ）には、再び、ＣＰＵ６０からＤ／Ａコ
ンバータ７２に１９０（１４ビット）が指示され、ミラ
ー１６０の角度がモニタされる。一方、センサ５１の出
力が所定の範囲内である場合（Ｓ１３−Ｎ）には、ステ
ップＳ３において既に説明したと同様に、Ｄ／Ａコンバ
ータ７２への指示値が３４００（１４ｂｉｔ）以上もし
くは１５３６（１４ｂｉｔ）以下の条件により制限され
る指示値の範囲を満足していることを条件に、「微調」
が開始される。

【００７５】ステップＳ１１において、Ｄ／Ａコンバー
タ７２への指示値が２０００（１４ビット）以上である
場合（Ｓ１１−Ｎ）には、同指示値として、−１９０
（１４ビット）がＣＰＵ６０から指示され（Ｓ１４）、
その結果ミラー１６０の角度が変更されたことに対応す
るセンサ５１の出力が参照されて、ミラー１６０の角度
がチェックされる（Ｓ１５）。このとき、センサ５１の
出力に基づいてミラーの角度が所定範囲内以外であるこ
とが検出された場合（Ｓ１５−Ｙ）には、再び、ＣＰＵ
６０からＤ／Ａコンバータ７２に、−１９０（１４ビッ
ト）が指示され、ミラー１６０の角度がチェックされ
る。一方、センサ５１の出力によりミラーの角度が所定
範囲内であることが検出された場合（Ｓ１５−Ｎ）に
は、ステップＳ３において既に説明したと同様に、Ｄ／
Ａコンバータ７２への指示値が３４００（１４ｂｉｔ）
以上または１５３６（１４ｂｉｔ）以下の条件により制
限される指示値の範囲内であることを条件に（Ｓ４，Ｓ
５）、引き続いて「微調」が開始される。なお、ステッ
プＳ１４およびＳ１５が、例えば２０回繰り返された場
合には、センサ５１の誤動作やレーザ素子の発光異常等
に起因してミラー１６０の角度がモニタされていないと
判断され、操作パネル８１の図示しない表示領域に、例
えばサービスマンによる点検を促す表示が表示される。

【００７６】ところで、ステップＳ３において、センサ
５１の出力が所定の範囲内を示した場合であっても、Ｄ
／Ａコンバータ７２への指示値が３４００（１４ビッ
ト）を越える場合がある（Ｓ４−Ｙ）。この場合、ＣＰ
Ｕ６０からＤ／Ａコンバータ７２への指示値として６４
（１４ビット）が指示され（Ｓ１６）、再びミラー１６
０の角度（指示値）がチェックされる（Ｓ４）。また、
同様に、ステップＳ３において、センサ５１の出力が所
定の範囲内を示した場合であっても、指示値が１５３６
（１４ビット）より小さい場合がある（Ｓ５−Ｙ）。こ
の場合、ＣＰＵ６０からＤ／Ａコンバータ７２への指示
値として、−６４（１４ビット）が指示され（Ｓ６）、
再びミラー１６０の角度（指示値）がチェックされる
（Ｓ５）。

【００７７】図１６は、図１４に示した「粗調」に引き
続く「微調」動作を説明するフローチャートである。

【００７８】図１６に示されるように、図１４に示した
「粗調」工程が終了すると、Ｄ／Ａコンバータ７２への
指示値として、ステップＳ３，Ｓ４およびＳ５により特
定された指示値に対して−１（１４ビット）となる指示
値が、ＣＰＵ６０からＤ／Ａコンバータ７２に指示され
る（Ｓ２１）。これにより、ミラー１６０により反射さ
れるレーザビームの位置が０．７６μｍだけ、上方
（「＋」側）へ移動される。

【００７９】以下、微調センサ（検出領域）５１−ｃか
らの出力が、ミラー１６０の角度がＤ／Ａコンバータ７
２への指示値で−３００（１４ビット）ないし３００
（１４ビット）の範囲内であるか否か、すなわち微調セ
ンサ５１−ｃの中央に位置されている検出領域５１−ｓ
にミラー１６０により反射されたレーザビームが位置し
ていること）がチェックされ（Ｓ２２）、出力が所定の
範囲内である場合、ガルバノミラー１６０の角度調整が
終了する（Ｓ２２−Ｙ）。

【００８０】ステップＳ２２において、Ｄ／Ａコンバー
タ７２への指示値が−３００（１４ビット）ないし３０
０（１４ビット）の範囲内をはずれる場合（Ｓ２２−
Ｎ）、−１（１４ビット）、すなわち０．７６μｍずつ
ミラー１６０の角度が上方側へ変更されるように、指示
値が変化され、−３００（１４ビット）になるまで繰り
返される（Ｓ２３）。

【００８１】ステップＳ２３において、ミラー１６０の
角度を上方側へ変更する指示（−１（１４ビット）のく
りかえし）が３００回継続されてもセンサ５１の出力が
所定範囲内に入らない場合（Ｓ２３−Ｙ）、ＣＰＵ６０
の制御により、引き続いて、Ｄ／Ａコンバータ７２への
指示値が３００（１４ビット）に変更され（Ｓ２４）、
今度は、１（１４ビット）、すなわち０．７６μｍずつ
下方側へミラー１６０の角度が変更されるように（Ｄ／
Ａコンバータ７２に指示される）指示値が変化され（Ｓ
２５）、センサ５１−ｃからの出力が、Ｄ／Ａコンバー
タ７２への指示値で−３００（１４ビット）ないし３０
０（１４ビット）の範囲内にあるか否かを満足する指示
値であるか否かがチェックされる（Ｓ２６）。

【００８２】ステップＳ２６において、センサ５１−ｃ
の出力が所定の範囲をはずれる場合（Ｓ２６−Ｎ）、１
（１４ビット）、すなわち０．７６μｍずつミラー１６
０の角度が下方側へ変更されるように、指示値が変化さ
れ、３００（１４ビット）になるまで繰り返される（Ｓ
２７）。

【００８３】なお、図１４および図１６に示したビーム
位置制御、すなわちガルバノミラー４６のミラー１６０
の角度の調整は、例えば画像形成装置１の電源が投入さ
れた時、図示しない外部装置からプリントデータが入力
された時およびプリント動作中の用紙と用紙の間すなわ
ち画像情報の所定の区切りの間のいづれかに、任意のタ
イミングで実施される。また、ミラー１６０の角度の調
整は、操作パネル８１の図示しないモード設定キーによ
り、任意のタイミングに設定される。

【００８４】次に、図１１に示した追い込み制御と図８
ないし図１０に示したドリフトの影響との関係を説明す
る。

【００８５】図１１を用いて既に説明したように、ミラ
ー１６０の角度を設定するためにコイル１６３ｂに所定
の大きさおよび極性の電流を供給するＤ／Ａコンバータ
７２への指示値の指示パターン（ドリフトの方向とＤ／
Ａコンバータの指示値の組み合わせ）は、ミラー１６０
により反射されてビーム位置検出センサ５１の第１およ
び第２の検出エリア５１−ａ，５１−ｂで検出されたレ
ーザビームの位置に応じて、ないしの８通りに分類
可能である。

【００８６】ところで、図１１に示した指示パターンの
，，およびは、いづれも図８に示したようなド
リフトの影響によりミラー１６０の角度が収束しにくい
状況にある。

【００８７】このため、で示されるパターンにおいて
は、レーザビームを１．５ないし３μｍの範囲に追い込
んだ時点で、Ｄ／Ａコンバータ７２への指示値をさらに
１（１４ｂｉｔ）すなわち最小制御ステップだけ加算し
てミラー１６０の角度を変化し、レーザビームの位置を
０．７６μｍ移動させることでセンサ５１の第１および
第２の検出エリア５１−ａ，５１−ｂの間に追い込んだ
のち、センサ５１の出力を、例えば５回読み込んで、ミ
ラー１６０の角度が収束されることを確認するものとす
る。

【００８８】同様に、およびのパターンでは、レー
ザビームを１．５ないし３μｍの範囲に追い込んだ時点
で、Ｄ／Ａコンバータ７２への指示値を−１（１４ｂｉ
ｔ）加算すなわちレーザビームを逆方向に０．７６μｍ
（最小制御ステップ）移動する（１ステップ減算する）
ことによりミラー１６０の角度を収束させることができ
る。なお、のパターンは、上述したのパターンと同
様の方法でミラー１６０の角度を収束できる。

【００８９】なお、ここでは、Ｄ／Ａコンバータ７２へ
の指示値の変化量を、±１（１４ｂｉｔ）の範囲（レー
ザビームの位置の変化量を、１ステップ当たり０．７６
μｍ）とする例を説明したが、ドリフト量の大きさは、
ガルバノミラー４６の個体差に支配されるため、ドリフ
ト量の大きなガルバノミラー４６においては指示値を大
きくし、ドリフト量の小さなガルバノミラー４６におい
ては、指示値を小さくすることが要求される。

【００９０】また、図１１に示した逐次制御に換えてま
たは併用して、例えば装置本体１のウォームアップ中
に、ガルバノミラー４６のミラー１６０のコイル１６３
ｂに、例えば５Ｖを印加して一定の大きさの電流を流
し、単位時間（例えば５０ｍｓｅｃ）にレーザビームの
位置が変化する量を求めてドリフト量を算出し、その大
きさに対応する補正量を補正してもよい。

【００９１】ところで、図１１に示した補正によって
も、４本のレーザビームＬＡ，ＬＢ，ＬＣおよびＬＤの
それぞれに対応するミラー１６０を、ＬＡ→ＬＢ→ＬＣ
→ＬＤ→ＬＡ→ＬＢ・・・のようにタイムシェア方式に
よりまたはタイムシェア方式によらずに個々のレーザビ
ームに関してミラー角度を設定して順次Ｄ／Ａコンバー
タ７２への設定値を固定する例のいづれによっても、そ
の後ドリフトが生じることは、既に説明したとおりであ
るが、この場合、図１７に示すように、任意のレーザビ
ームに関してミラー１６０の角度が定義された場合であ
っても最も最後に角度が定義されるミラー１６０の角度
が定義されるまでの間、既に角度が定義されたミラー１
６０に対する最小制御ステップを用いた上述の制御を繰
り返すことにより、ドリフトの影響を抑止することがで
きる。

【００９２】次に、図１２に示した電流通電時間とドリ
フトの大きさに関し、画像形成時にドリフトの影響を抑
止可能な画像形成装置１の制御の一例を説明する。

【００９３】図１２に示したように、Ｄ／Ａコンバータ
７２への設定値を３ＦＦＦ（１４ｂｉｔ、図７参照）と
してコイル１６３ｂに５Ｖを印加し、５０ｍｓｅｃ毎に
ドリフト量の大きさを見ると、通電開始から５０ｍｓｅ
ｃの間で約３８μｍ、次の５０ｍｓｅｃで約１８μｍ、
その次の５０ｍｓｅｃで約４μｍ、それぞれドリフト量
が増加することが認められる。従って、例えばドリフト
の大きさが画像に影響を与えない条件を、５０ｍｓｅｃ
当たり１０μｍ以下と仮定すれば、図１２のような特性
を有するガルバノミラーを用いる場合には、コイルへの
通電直後から概ね１５０ｍｓｅｃの間、画像形成を抑止
する（レーザビームの位置制御をしない）のみで、ガル
バノミラー４６のミラー１６０の角度が大幅に変動する
条件を回避でき、ミラー１６０の角度の収束（レーザビ
ームの位置の追い込み）に要求される時間を短縮でき
る。なお、図１２に示すコイルへの通電時間とドリフト
の大きさの関係は、ガルバノミラーの個体誤差により個
々のガルバノミラー毎に異なるが、一個いっこのガルバ
ノミラーにおける変動の再現性は高いことから、通電開
始から、例えば５０ｍｓｅｃ毎のドリフトの量を測定し
た結果を、例えばＮＶＭ（不揮発性メモリ）６２に記憶
させ、そのデータに基づいて、通電開始からのミラー１
６０の角度の変動を予測しながらミラー１６０の角度を
制御することにより、レーザビームの位置の追い込みに
必要な時間をさらに短縮できる。

【００９４】また、先に説明したように、例えば（朝
に）冷えた状態の画像形成装置に電源を入れた直後と画
像形成動作が継続されて装置が温まった状態で電源をオ
フした直後に再び電源を入れて画像を形成した場合とに
おいて、ドリフトの影響により、レーザビームの位置の
設定に必要となる時間が異なることは、図１２に示した
ように、コイル１６３ｂに連続して電流が流された時間
に支配されることがわかる。このことから、任意の画像
形成が終了した後も、コイル１６３ｂに継続して所定値
の電流を供給（Ｄ／Ａコンバータ７２による電圧の印
加）を継続することにより、ミラー１６０の角度の変動
の大きさを低減することができる。なお、この場合、例
えばＤ／Ａコンバータ７２によりコイル１６３ｂに印加
される電圧の波形のデューティ比を概ね５０％とするこ
とにより、消費電力および発熱を抑制しつつ、ドリフト
の大きさも低減できる。

【００９５】ところで、図１３に示した検出領域を有す
るビーム位置検出センサを用いて各レーザ素子から所定
のタイミングでセンサに入射されるレーザビームの位置
を特定する場合、偏向装置４３の多面鏡４３ａの回転数
が、画像形成のために予め設定されている回転数に達し
ていない場合には、検出結果としてのレーザビームの位
置に大きな誤差が含まれる。このことは、ビーム位置検
出センサが出力する出力信号は、レーザビームのパワー
（強度）とレーザビームがセンサを通過する通過時間と
の積分値であることに起因する。このため、多くの周知
の画像形成装置においては、偏向装置４３の多面鏡４３
ａの回転が定常回転に達するまでの間は、レーザビーム
の位置を検出できない問題がある。

【００９６】このことから、図１３に示したビーム位置
センサ５１の帯状領域５１−ｑ，５１−ｒ，５１−ｓ，
５１−ｔおよび５１−ｕのそれぞれの出力を、図１８に
示すように、相互に隣り合う検出領域の出力の差信号す
なわち ｜（５１−ｑ）−（５１−ｒ）｜＝Ａ， ｜（５１−ｒ）−（５１−ｓ）｜＝Ｂ， ｜（５１−ｓ）−（５１−ｔ）｜＝Ｃおよび ｜（５１−ｔ）−（５１−ｕ）｜＝Ｄ としてを得ることにより、レーザビームの位置が図１８
の上方（領域５１−ｑ側）から下方（領域５１−ｕ側）
へ移動する際に、例えば最も先行してセンサ５１に入射
されるレーザビームＬＡの位置と第１および第２の検出
領域５１−ｑおよび５１−ｒの出力（差動増幅器Ａの出
力）について説明すると、図１９に示すように、領域５
１−ｑおよび５１−ｒのいづれにもレーザビームＬａが
案内されていない状態を示す（横軸の−１８０μｍ付
近）では、それぞれの領域から出力される出力をディジ
タル信号に変換する図示しないＡ／Ｄコンバータの出力
は、例えば２５６０（１４ｂｉｔ）＝０Ｖを示し、第１
の領域５１−ｑにレーザビームＬａがさしかかった状態
（横軸の−１４０μｍ付近）で、同出力が増大し始め、
第１の領域５１−ｑの中央付近にレーザビームＬａが移
動した状態（横軸の−１２０μｍ付近）で、同出力が最
大となり、レーザビームＬａが第１の領域５１−ｑと第
２の領域５１−ｒとの間にさしかかった状態（横軸の−
９０μｍ付近）で、同出力が低下し始め、レーザビーム
Ｌａが第２の検出領域５１−ｒの概ね中央に位置した状
態（横軸の−７０μｍ付近）で、同出力が最小となり、
レーザビームＬａが第１および第２の領域５１−ｑ，５
１−ｒのそれぞれから完全に離脱した状態（横軸の−２
０μｍ付近）で、同出力が概ね０となる。なお、残りの
レーザビームＬｂ，ＬｃおよびＬｄについても、概ね等
しい周期で、同様の出力が得られる。

【００９７】このことは、図１４を用いて説明した「粗
調」を、「微調」用の検出領域である第３の検出エリア
５１−ｃにより兼用することを可能とする。

【００９８】すなわち、レーザビームＬａ，Ｌｂ，Ｌｃ
およびＬｄの任意のレーザビームを案内するガルバノミ
ラー４６の粗調に関し、差動増幅器ＡないしＤの出力を
順次切り替えながらその出力をモニタし、対応するレー
ザビームのピークがどのどの差動増幅器により検出され
ているかを特定し、例えば図１５に示したと同様ににし
て、センサ出力からレーザビームの位置を逆算すること
ができる。

【００９９】より詳細には、図１９に示したグラフに基
づいて、例えばそれぞれのレーザビームが順に照射され
た検出領域が出力する出力Ａ，Ｂ，ＣおよびＤをディジ
タル信号に変換する図示しないＡ／Ｄコンバータの出力
を、例えば３５８４（１４ｂｉｔ）以上あるいは１５３
６（１４ｂｉｔ）以下でスレショルドすることにより、
第３の検出エリア５１−ｃを構成する帯状の検出領域５
１−ｑ，５１−ｒ，５１−ｓ，５１−ｔおよび５１−ｕ
が設けられている全ての空間（幅２０１．５μｍ）にレ
ーザビームが入射したことを検出できる。

【０１００】より詳細には、図１９に示したグラフにお
いて、図１８で説明したいづれかの差動増幅器の出力Ａ
ないしＤの出力を、図示しないＡ／Ｄコンバータにより
１４ｂｉｔのデジタル信号に変換した出力が、例えば３
５８４（１４ｂｉｔ）以上あるいは１５３６（１４ｂｉ
ｔ）以下の数値を取らない場合には、少なくともセンサ
５１の第３の検出エリア５１−ｃの５つの帯状の検出領
域５１−ｑ，５１−ｒ，５１−ｓ，５１−ｔおよび５１
−ｕのいづれかもしくは互いに近接する２つの検出領域
の相互間に、ミラー１６０により反射されたレーザビー
ムが到達していることに他ならないため、図１３に示し
た「粗調」用の第１および第２の検出エリア５１−ａ，
５１−ｂによる粗調に比較して、遜色のない検出可能領
域が提供されることになる（検出可能幅は、２０１．５
μｍ）。

【０１０１】これにより、ビーム位置検出センサ５１の
構成およびビーム位置検出回路７４の構成を簡素化でき
る。

【０１０２】なお、図１８（および図１９）に示した互
いに平行な複数の帯状の検出領域を用いてレーザビーム
の位置を検出することは、先に説明した偏向装置４３の
多面鏡４３ａの回転数の影響を受けない（第１および第
２の検出エリアにおいては、追い込み領域５１−１の大
きさが無感領域５１−ｄに向けて次第に変化されるた
め、既に説明したように偏向装置４３の多面鏡４３ａの
回転数が出力を変動させる要因である）ため、偏向装置
４３の多面鏡４３ａの回転数が所定値に達したか否かに
拘わらず、レーザビームが到達した位置を特定できる。
また、偏向装置４３の多面鏡４３ａの回転数が所定の回
転数に達するまでの間の回転数の低い状態においては、
各検出領域５１−ｑ，５１−ｒ，５１−ｓ，５１−ｔお
よび５１−ｕに案内されるレーザビームの強度（光量）
が増大することから、レーザビームの位置を検出するた
めには、好都合である。

【０１０３】このため、例えば画像形成装置１に電源が
投入され、露光装置２１の偏向装置４３の多面鏡４３ａ
の速度が所定の速度に達するまでの間のウォームアップ
時間を有効に利用でき、印字開始までに要求される待機
時間を短縮できる。

【０１０４】一例を示すと、偏向装置４３の多面鏡４３
ａを回転するミラーモータ４３ｂの加速性能は、０［ｒ
ｐｍ］から２００００［ｒｐｍ］の範囲で、例えば５秒
で、１５０００［ｒｐｍ］から２００００［ｒｐｍ］の
範囲で、例えば２秒である。

【０１０５】これに対して、任意のガルバノミラー４６
のミラー１６０の角度が、第３の検出領域５１−ｃの帯
状の検出領域のいづれかにレーザビームを案内できる角
度であったとすれば、各検出領域の出力を対応する差動
増幅器ＡないしＤが処理するために要求される時間が１
０ｍｓｅｃである場合には、４セットで合計４０ｍｓｅ
ｃとなる。なお、レーザビームの本数が４本であるか
ら、全てのレーザビームをセンサ５１により検出可能
に、各レーザビームに対応して配置されているガルバノ
ミラー４６のそれぞれのミラー１６０の角度を定義する
ために必要な時間は、最短で、４０×４＝１６０ｍｓｅ
ｃとなる。一方、全てのミラー１６０の角度を設定する
ために要求される時間の最大値は、例えば、図６に示し
たように、レーザビームの移動量を１１．５ｍｍの１／
２とし、一回の制御においてレーザビームを追い込む量
を２００μｍの１／２とすると、 １１．５×（１／０．１）×１０ｍｓｅｃ×４＝１８４
００ｍｓｅｃ（１８．４秒） と予想できる。

【０１０６】これに対して、ガルバノミラー４６に生じ
るドリフトの影響により、全てのレーザビームが２００
μｍずれた位置に案内されたとすれば、各レーザビーム
を所定の位置に案内するためには、 ０．２×（１／０．１）×１０ｍｓｅｃ×４＝３２０ｍ
ｓｅｃ だけ、制御時間が増大されることになる。

【０１０７】ここで、図１８に示した帯状の検出領域を
有するビーム位置センサと４つの差動増幅器ＡないしＤ
を用いて、上述したミラーモータ４３ｂの加速中に、各
ミラー１６０の角度の制御を開始することにより、ドリ
フトの影響で生じる各レーザビームの到達位置のずれあ
るいは最短でミラー１６０の角度を定義可能な条件の下
では、実質的にミラーモータ４３ｂの回転数が安定する
ために要求される時間内で、各レーザビームを所定の位
置に案内できる（各ミラー１６０の角度を所定の範囲内
に定義できる）。

【０１０８】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明の露光装置
によれば、複数のレーザビームを露光する際に、それぞ
れのレーザビームの主走査方向および副走査方向の間隔
を設定するミラー装置のミラーの角度を、ミラー装置に
固有のドリフトの影響を受けることなく、正確に制御で
きる。

【０１０９】また、ミラーの角度の制御を、レーザビー
ムを所定の速度で偏向する偏向装置のミラーモータの加
速時間内に、実質的に終了できる。

【０１１０】これにより、画像形成装置の電源が投入さ
れた直後や、ミラー装置の個体誤差に起因して生じるミ
ラーの角度の変位にともなう画像のずれあるいは画像を
構成する複数の線画の間隔のずれが除去されるととも
に、画像形成の開始から画像が形成されるまでに供給さ
れる時間が低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態である露光装置が組み込
まれるデジタル複写装置の一例を示す概略図。

【図２】図１に示した複写装置に組み込まれる露光装置
を示す概略図。

【図３】図２に示した露光装置の制御系の一例を説明す
る概略ブロック図。

【図４】図２に示した露光装置に組み込まれるガルバノ
ミラーの構成を説明する概略図。

【図５】図４に示したガルバノミラーの分解斜視図。

【図６】図４および図５に示したガルバノミラーに生じ
るドリフトの程度とコイル駆動電流の大きさとの関係を
説明するグラフ。

【図７】図４および図５に示したガルバノミラーのコイ
ルに印加されるコイル端子電圧とＤ／Ａコンバータ出力
との関係を説明する概略図。

【図８】図４および図５に示したガルバノミラーのドリ
フトの影響によりレーザビームが像面に案内される位置
が変動する様子を説明する概略図。

【図９】図４および図５に示したガルバノミラーのドリ
フトの影響によりレーザビームが像面に案内される位置
が定義されない状態を、ガルバノミラーの駆動コイルに
供給されるコイル駆動電流（Ｄ／Ａコンバータ出力電
圧）の変化として説明するグラフ。

【図１０】図９に示したガルバノミラーの駆動コイルに
供給されるコイル駆動電流の変化に起因するレーザビー
ムの像面での変動の状態を説明する概略図。

【図１１】図８ないし図１０に示したレーザビームの像
面への到達位置の変動を制御可能なミラー駆動コイルの
制御方法の一例を示す概略図。

【図１２】図４および図５に示したガルバノミラーのミ
ラー駆動機構の駆動コイルに供給されるコイル駆動電流
の通電時間とドリフトの大きさの関係を説明するグラ
フ。

【図１３】図２に示した露光装置に組み込まれるビーム
位置検出センサの検出面の特徴を説明する概略図。

【図１４】図１３に示した検出面を有するビーム位置検
出センサを用いてガルバノミラーの角度を調整する工程
を説明するフローチャート。

【図１５】図１４に示したガルバノミラーの角度を調整
する工程において、各センサから出力される出力をレー
ザビームが案内される位置に換算するための数値データ
を示すグラフ。

【図１６】図１４に示した「粗調」に引き続く「微調」
動作を説明するフローチャート。

【図１７】図１４および図１６に示したガルバノミラー
の制御の別の例を説明するフローチャート。

【図１８】図１３に示したビーム位置センサの帯状の検
出領域から出力される信号の処理の一例を示す概略図。

【図１９】図１８に示した信号処理系により出力される
センサ出力の一例を示すグラフ。

【符号の説明】

１ ・・・デジタル複写装置、 ２０ ・・・プリンタ部、 ２１ ・・・マルチビーム露光装置、 ２２ ・・・画像形成部、 ２３ ・・・感光体ドラム、 ４１ａ・・・半導体レーザ素子、 ４１ｂ・・・半導体レーザ素子、 ４１ｃ・・・半導体レーザ素子、 ４１ｄ・・・半導体レーザ素子、 ４３ ・・・偏向装置、 ４３ａ・・・多面鏡、 ４６ａ・・・ガルバノミラー、 ４６ｂ・・・ガルバノミラー、 ４６ｃ・・・ガルバノミラー、 ４６ｄ・・・ガルバノミラー、 ５１ ・・・ビーム位置検出センサ、 ６０ ・・・ＣＰＵ、 ６２ ・・・ＮＶＭ、 ７１ａ・・・レーザ駆動回路、 ７１ｂ・・・レーザ駆動回路、 ７１ｃ・・・レーザ駆動回路、 ７１ｄ・・・レーザ駆動回路、 ７２ ・・・ガルバノミラー駆動回路、 ７３ ・・・ポリゴンモータ駆動回路、 ７４ ・・・ビーム位置検出回路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C362 BA17 BA18 BA42 BA68 BA69 BA83 BA89 BB30 BB32 BB34 CB72 2H045 AA01 AB03 AB54 BA22 BA33 CA88 CA95 CB65 DA41 5C072 AA03 BA17 HA02 HA06 HA12 HB08 HB15 WA05 XA01

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光を放射する第１および第２の光源と、 このそれぞれの光源からの光を第１の方向および第１の
   方向と直交する第２の方向のそれぞれに関して所定の間
   隔に位置させて１本の光と見なすことのできる光ビーム
   に合成する光路整合手段と、 この光路整合手段により合成された前記それぞれの光源
   からの光を前記第１の方向に沿って偏向する偏向手段
   と、 この偏向手段により偏向された前記それぞれの光源から
   の光の少なくとも一方の光を検出して前記光路整合手段
   の前記第１および第２の方向のそれぞれの方向に関する
   変位を検出する変位検出手段と、 この変位検出手段により検出された前記光路整合手段の
   変位に基づいて、前記光路整合手段の変位を、前記それ
   ぞれの光源からの光を１本の光と見なすことのできる光
   ビームを提供可能に調整する光路整合手段駆動手段と、
   を有することを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】前記光路整合手段は、前記第１および第２
   の方向のそれぞれに関して可動可能に形成され、前記そ
   れぞれの光源からの光を反射するミラーを含み、このミ
   ラーが前記それぞれの光源からの光を反射する角度は、
   前記光路整合手段駆動手段により上記ミラーの反射面の
   角度が変位されることにより定義されることを特徴とす
   る請求項１記載の露光装置。
3. 【請求項３】前記光路整合手段は、上記ミラーを前記第
   １および第２の方向のそれぞれに関して任意の角度に付
   勢可能な電磁駆動回路を含み、前記光路整合手段駆動手
   段は、この電磁駆動回路を、非画像形成時も付勢するこ
   とを特徴とする請求項２記載の露光装置。
4. 【請求項４】前記光路整合手段駆動手段は、非画像形成
   時には、前記光路整合手段に、画像形成時に比較して少
   ない実効出力を提供することを特徴とする請求項３記載
   の露光装置。
5. 【請求項５】前記光路整合手段駆動手段は、通電開始か
   ら所定時間内である場合、前記変位検出手段により検出
   された前記光路整合手段の前記第１および第２の方向の
   それぞれの方向に関する変位に対して前記電磁駆動回路
   を付勢しないことを特徴とする請求項３記載の露光装
   置。
6. 【請求項６】前記光路整合手段駆動手段は、前記変位検
   出手段により検出された前記光路整合手段の前記第１お
   よび第２の方向のそれぞれの方向に関する変位の大きさ
   および方向を記憶し、上記検出された変位の大きさに基
   づいて前記光路整合手段を付勢する時間および方向を予
   測して前記電磁駆動回路を付勢することを特徴とする請
   求項３記載の露光装置。
7. 【請求項７】前記光路整合手段駆動手段は、前記変位検
   出手段により検出された前記光路整合手段の前記第１お
   よび第２の方向のそれぞれの方向に関する変位の大きさ
   および方向に基づいて、前記光路整合手段を、上記検出
   された変位と逆の方向に所定時間付勢することを特徴と
   する請求項３記載の露光装置。
8. 【請求項８】前記光路整合手段駆動手段は、前記偏向手
   段が所定動作可能にウオームアップされるために要求さ
   れる時間内に、前記変位検出手段により検出された前記
   光路整合手段の前記第１および第２の方向のそれぞれの
   方向の少なくとも一方の方向に関する変位に対して前記
   光路整合手段を付勢することを特徴とする請求項３記載
   の露光装置。
9. 【請求項９】前記光路整合手段駆動手段は、前記第１お
   よび第２の光の全ての光が前記変位検出手段の所定範囲
   内で検出されるまでの間、前記電磁駆動回路を付勢する
   ことを特徴とする請求項３記載の露光装置。
10. 【請求項１０】前記変位検出手段は、前記偏向手段によ
    り第１の方向に偏向されるそれぞれの光に対して画像信
    号が出力される際の出力タイミングを定義する水平同期
    検出器であることを特徴とする請求項１記載の露光装
    置。
11. 【請求項１１】第１の光を放射する第１の光源と、第２
    の光を放射する第２の光源と、前記第１の光源および第
    ２の光源のそれぞれから放射された前記第１および第２
    の光を一括して、潜像を保持する像担持体の軸線方向に
    沿う第１の方向に偏向走査する偏向装置と、前記偏向装
    置により偏向走査された前記第１および第２の光の少な
    くとも一方を検出し、検出した光の位置に対応する光検
    出信号を出力する光検出器と、前記それぞれの光源から
    前記偏向装置に向かう前記第１および第２の光を前記第
    １の方向および第１の方向と直交する第２の方向のそれ
    ぞれについて所定間隔に位置させる第１および第２のミ
    ラー装置と、前記第１および第２のミラー装置のそれぞ
    れのミラーの角度を、前記光検出器により検出された前
    記光検出信号に基づいて所定の方向に変化させるミラー
    駆動装置と、を有する露光装置と、 この露光装置により前記像担持体に形成された潜像に現
    像剤を供給して可視像を出現させる現像装置と、を有す
    る画像形成装置。