JP5742300B2 - 反射型マスクブランク及びその製造方法、反射型マスク - Google Patents
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Description
図5(a)に示すように基板として低熱膨張ガラス基板111を用意して、後に遮光枠となる領域(チップ外周部を取り囲むように幅2mmの帯状の領域)に、電子線レジスト131(ZEP520、日本ゼオン製)を膜厚20nmでコートする(図5(b)参照)。次に、EB描画機(JBX9000、日本電子製)により、ドーズ100μC/cm2で、パターン線幅15nm、周期30nmのパターンを描画し、有機現像によりレジストドットパターン131aを形成した(図5(c)参照)。
(実施例2)
実施例1にて作製した反射型マスクブランク100から反射型マスク101を作製し、露光テストを図7に示す手順で実施した。即ち、反射型マスクブランク100に電子線リソグラフィとドライエッチング、レジスト剥離洗浄を行い、吸収層151に回路パターン185を形成し、本発明の遮光枠を有する反射型マスク101を作製した。電子線リソグラフィには、化学増幅型ポジレジストFEP171(富士フィルムエレクトニクスマテリアルズ製)を用いて、描画機JBX9000(日本電子製)によってドーズ15μC/cm描画した後に、TMAH2.38%現像液によりレジストパターン184を形成した(図7(c)参照)。吸収層51のエッチングには、Cl2の誘導結合型プラズマを適用した。
11a・・・基板の凹凸領域
21・・・多層反射層
21a・・・多層反射層の凹凸領域
41・・・緩衝層
41a・・・緩衝層の凹凸領域
51・・・吸収層
51a・・・吸収層の凹凸領域
71・・・裏面導電膜
80・・・非遮光枠領域
85・・・回路パターン領域
90・・・遮光枠領域
100、200、300、400・・・反射型マスクブランク
101、201、301、401・・・反射型マスク
111・・・低熱膨張基板
111a・・・低熱膨張基板の凹凸領域
121・・・多層反射層
121a・・・多層反射層の凹凸領域
151・・・吸収層
151a・・・吸収層の凹凸領域
131・・・基板の凹凸パターン形成のためのレジスト
131a・・・基板の凹凸パターン形成のためのレジストパターン
161・・・回路パターン形成のためのレジスト
184・・・回路パターン形成のためのレジストパターン
185・・・吸収枠の回路パターン
Claims (8)
- 低熱膨張基板と、
前記低熱膨張基板の表面に形成された多層反射層と、
前記多層反射層の上に形成された吸収層と、
を具備し、
前記吸収層には転写回路パターンが形成され、ブランク作製時に前記転写回路パターン領域の外側に、前記低熱膨張基板の表面が高さ2.5〜4.5nm、周期30nm以下の凹凸形状を有するEUV光の反射率の低い遮光枠を設け、前記凹凸形状が、多層反射層、吸収層まで引き継がれた構成である、
ことを特徴とする反射型マスクブランク。 - 後に遮光枠となる領域の低熱膨張基板の表面に、多層反射層を形成する工程と、
前記多層反射層を形成する工程に先だって、前記低熱膨張基板の表面が高さ2.5〜4.5nm、周期30nm以下の凹凸形状を形成する工程と、
を具備することを特徴とする反射型マスクブランクの製造方法。 - 前記遮光枠となる領域の低熱膨張基板の表面に前記多層反射層の形成に先立ち凹凸形状を形成する工程は、少なくともリソグラフィとエッチング工程を備えることを特徴とする請求項2記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記遮光枠となる領域の低熱膨張基板の表面に凹凸形状を形成する工程は、少なくとも自己組織化単分子膜による工程を備えることを特徴とする請求項2記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記遮光枠となる領域の低熱膨張基板の表面に凹凸形状を形成する工程は、少なくともプラズマ処理による工程を備えることを特徴とする請求項2記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記遮光枠となる領域の低熱膨張基板の表面に凹凸形状を形成する工程は、少なくともウェット処理による工程を備えることを特徴とする請求項2記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記遮光枠となる領域の低熱膨張基板の表面に凹凸形状を形成する工程は、少なくともサンドブラスト処理による工程を備えることを特徴とする請求項2記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 請求項1に記載の反射型マスクブランクの上面に吸収層領域、遮光枠領域、回路パターン領域を形成したことを特徴とする反射型マスク。
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