JP5730888B2 - ロータリーマグネトロンマグネットバー、およびこれを含む高いターゲット利用のための装置 - Google Patents
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Description
本出願は、2009年10月26日出願の米国特許仮出願整理番号第61/254,983号の優先権を主張するものであり、その内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
2 レーストラック
3 転回部
5 内側縁(部)
6 スピンドル
7 最大侵食点
10 ターゲット材料
15 ターゲット表面
20 マグネットバー
26 マグネットシャント
27、28 磁石
Claims (18)
- 基材をコーティングするための装置であって、
2つの直線部および前記直線部を接続する少なくとも1つの末端転回部を有するレーストラック型プラズマ源と、
終端部を有し、前記プラズマ源の近位にあるチューブ状のターゲットと、
前記ターゲットがそこに固定される、チューブ状の裏当てカソードであって、前記カソードおよび前記チューブ状のターゲットが中心軸を中心として回転可能である、裏当てカソードと、
前記カソードの内側に配設される複数の磁石であって、前記ターゲットが前記コーティングを前記基材上に堆積するように利用されるのにともない、前記ターゲットの前記終端部に向かう前記少なくとも1つの末端転回部に整列された侵食ゾーンを移動するために配設される複数の磁石と、
を備える装置。 - 前記複数の磁石が、前記ターゲットに隣接する第1の極性の配向をともなって配置された遠位磁石と、前記ターゲットに隣接する反対の極性の配向の少なくとも1つの近位磁石と、前記遠位磁石と前記少なくとも1つの近位磁石との間の中間磁石とを備え、前記中間磁石は前記遠位磁石の極性の配向と異なる極性の配向を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記中間磁石は、近位磁石のN極の配向の10°以内のN極の配向、または前記遠位磁石および前記近位磁石の両方への垂直の10°以内のN極の配向を有する、角度αを確定する、請求項2に記載の装置。
- 前記中間磁石は、角度αを確定し、前記角度αは、前記遠位磁石と前記少なくとも1つの近位磁石の両方への垂直の10°以内の前記中間磁石のN極の配向を有する、請求項2に記載の装置。
- 前記ターゲットは、アルミニウム、またはアルミニウムを含む合金である、前記請求項1に記載の装置。
- 前記中間磁石は、前記遠位磁石および少なくとも1つの近位磁石から離間された、前記請求項2に記載の装置。
- 前記複数の磁石のうちの少なくとも1つが、複数の積み重ねた磁石要素である、請求項1に記載の装置。
- 前記複数の磁石のうちの少なくとも1つが、直線的な直平行6面体以外の形状を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記チューブ状のターゲットが、均一な直径を有し、ドッグボーン型の終端部と無関係である、請求項1に記載の装置。
- 基材をコーティングするための方法であって、
チューブ材料から形成され、チューブ状カソードに取り付けられたチューブ終端部を有するチューブ状のターゲットに、前記基材に対して延在するスパッタリングレーストラック型プラズマを発生する条件の下で、エネルギーを与えるステップと、
前記カソードの内側に、前記ターゲットと整列されたレーストラック型プラズマ源と相互作用する磁場を形成するために、複数の磁石を配設するステップであって、前記ターゲットが前記コーティングを前記基材上に堆積するために利用されるのに従って、前記ターゲットの前記終端部に向かう少なくとも1つの末端転回部と整列された前記チューブ状のターゲット上の浸食ゾーンを移動するために、前記プラズマ源は2つの直線部および前記直線部を接続する少なくとも1つの末端転回部を有する、配設するステップと、
を含む方法。 - 前記ターゲットがスパッタリングされ、前記直線部から離れるのに従い、前記浸食ゾーンが前記終端部に向かってシフトする、請求項10に記載の方法。
- 前記浸食ゾーンが、ターゲットの初期の表面に対する法線から、最高70°の角度Θだけ離れるようにシフトする、請求項10に記載の方法。
- ターゲット材料の70重量%〜87重量%まで前記ターゲットが利用される、請求項10に記載の方法。
- 前記ターゲットの部分が、前記ターゲットに対する動作可能な耐用時間の終了時に、前記浸食ゾーンにおいて70°〜90°の間の角度βで交差するフランジを形成する前記終端部を定義する、請求項10に記載の方法。
- 前記条件が、酸化ガスを含む不完全真空、および前記カソードと遠位アノードとの間に存在する電位を含む、請求項10に記載の方法。
- 消耗されたロータリーマグネトロンターゲットであって、
初期重量のターゲット材料から形成され、前記終端部と前記浸食ゾーンにおいて70°〜90°の角度βで交差する直線部を有し、初期重量の70重量%〜87重量%を失う、チューブ裏当てカソードを包囲するように適合されるターゲット材料シリンダーを備える、請求項10〜15のうちのいずれかの方法により作成される、消耗されたロータリーマグネトロンターゲット。 - チューブ状ターゲットとして形成されたターゲット材料の70総重量%〜87総重量%の利用による、コーティングを基板上にプラズマ堆積するためのロータリーマグネトロンの使用であって、前記チューブ状ターゲットが、均一な直径を有し、ドッグボーン型の終端部と無関係である、ロータリーマグネトロンの使用。
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